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    • 专利摘要:

    公开号:WO1989010641A1
    申请号:PCT/DE1989/000248
    申请日:1989-04-21
    公开日:1989-11-02
    发明作者:Gerd Herziger；Peter Loosen
    申请人:Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewand；
    IPC主号:H01S3-00
    专利说明:
    GaslaserBeschreibungTechnisches GebietDie Erfindung bezieht sich auf einen Gaslaser, insbesondere Kohlendioxidlaser, mit einem zwischen zwei Resonatorspiegeln mehrfach gefalteten Strahlengang, für dessen Faltungen ebene Reflektorflächenvorhanden und dessen zwischen den Reflektoren gelegenen Strahlengangabschnitte räumlich angeordnet sind, nach Patent.... (patentanmeldung P 37 16 873.8). Stand der TechnikBei dem Laser nach der Haupterfindung ist eine Vielzahl von den Laserstrahl retroreflektiv faltenden Reflektoren als Dachkantspiegel ausgebildet und jeweils zwei benachbarte sind zueinander in der Faltungsebene etwa um die Hälfte ihrer Gesamtbreite bzw. etwa um die Breite eines Reflektorspiegels achsparallel versetzt, damit der Strahlengang des Laserstrahls hin- und hergehend und dabei fortschreitend gefaltet werden kann. Die Dachkantspiegel sind also Bauteile eines sogenannten Multipassresonators.Deren Faltungsspiegel bzw. Reflektoren dienen dazu, die Langserstreckung des Lasers zu verringern. Durch die Faltung ergeben sich jedoch im allgemeinen Probleme in der Strahlführung und in der Strahloualität.Die Strahlfuhrung wird dadurch beeinträchtigt, dass der Strahl nicht völlig exakt in die gewünschte Richtung reflektiert wird, weil die Spiegeljustierung nicht exakt ist oder durch die Ausge staltung des Lasers in unerwünschter Weise beeinflusst werden kann. Die Strahlqualitätwird beispielsweise durch Beugungseffekte beim Reflektieren in den Eckbereichen von Dachkantspiegeln verschlechtert. Allgemein gilt, dass die Nachteile mit der Anzahl der Faltungen zunimmt. Es ist auch bereits bekannt, Hochleistungs-Kohlendioxid Laser mit ringförmigen Resonatoren auszubilden, wobei der Strahlengang zwischen den Resonatorspiegeln in einer einzigen Ebene liegt. Ein solcher Laser ist zwar -im Vergleich zu einem langgestreckten Hochleistungslaser kompakt, hat jedoch immer noch erhebliche Aussenabmessungen. Darstellung der ErfindungDer Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Laser der eingangs genannten Art so zu verbessern, dass er einen in allen Richtungen des Raumes äusserst kompakten Resonator aufweist. Diese Aufgabe wird dadurchgelöst, dass die Strahlengangabschnitte schraubenlinienartig gewunden. angeordnet. sind. Die schraubenlinienartig gewundene Anordnung der Strahlengangabschnitte führt zu einer sehr guten Ausnutzung des zur Verfügung stehenden Raumes aktiven Materials. Es ist damit möglich, die Leistung insbesondere solcher Laser zu steigern, die keine Umwalzkühlunghaben; denn diese Laser benötigen grundsätzlich grosse Volumen aktiven Materials, um hinreichend hohe Leistungen zu erreichen. Wenn diese Volumen nunmehr besser ausgenutzt werden können, ist dies fur einen kompakten Laseraufbau von Vorteil und das Faltungskonzepteignet sich also insbesondere zur Ausnutzung verstärkenderaktiver Materialien auf kleinstem Raum.Zugleich ist das Faltungskonzept besonders für diffusionsgekühlte Lasersysteme geeignet, die also keine Gasumwälzkühlunghaben, weil dort die anfallende Verlustwärme ausschliesslich über die Wände abtransportiert werden muss und der erfindungsge mässekompakte Aufbau des Lasers einen solchen schnellen Abtransport der Verlustwärme begunstigt. Darüber hinaus ist von wesentlichem Vorteil, dass ein ver hältnismässiglanger Strahlengang mit einer nur geringen Anzahl von der Strahlumlenkung dienenden Reflexionen ermöglicht wird. Wird die schraubenlinienartig gewundene Anordnung der Strahlengangabschnitte mit Faltungskonzepten verglichen, die Dachkantspiegel zur U-förmigen Faltung in einer Ebene benutzen, so ergibt sich pro Umlenkung des Strahlengangs vom aktiven Medium wieder zuruckin das aktive Medium eine Halbierung der Zahl der Reflexionen und dementsprechend eine Halbierungder Reflexionsverluste, die im allgemeinen pro Reflexion bei 1 bis 2% der Leistung liegen kann. Infolgedessen ist die er'findungsgemässeFaltung ursächlich für einen höheren Gesamtwirkungsgrad des Lasersystems. Letztlich ist noch darauf hinzuweisen, dass eine kompakte Anordnung des Resonators grundsätzlich einen entsprechenden kompakten Aufbau des Lasers ermöglichen, was zu dessen Stabilität beiträgt und insbesondere dazu führt, dass die Justierungsprobleme verringert werden, die sonst bei sich längs erstreckenden Laseraufbauten nicht ohne Bedeutung sind. In derselben Weise bietet der einfache und kompakte Aufbau auch eine Voraussetzung zur Erzielung einer hohen Strahlqualität. Um mit wenig Bauteilen auszukommen, ist der Laser so ausgebildet, dass er mindestens drei Reflektorflächenhat, von denen mindestens eine den Strahlengang mindestens zweimal faltet, und dass mindestens ein Reflektor einen Strahlengangabschnitt im Windungssinn ablenkend gekippt angeordnet ist. Die drei Reflektorflächen können in gleichem Abstand voneinander ange ordnet sein, so dass sich für den vom Strahlengang umschlosssenen Raum die Gestalt eines dreikantig prismatischen Körpers ergibt. Desweaterenist von Bedeutung, dass mindestens eine der drei Reflektorflächenden Strahlengang mindestens zweimal faltet; denn dadurch wird der bauliche Aufwand fur den Reflektor geringer-Auch wird die Justierung vereinfacht, da nur eine einzige Reflektorflächejustiert werden muss. Die Kippung mindestens einer Reflektorflächebewirkt, dass die nachfolgenden Strahlengangabschnitte jeweils einen anderen Bereich des aktiven Mediums einnehmen. Damit wird eine räumliche Überlagerung der Strahlengangabschnitte vermieden, was der Strahl aualit tzugute kommt. Wird nur eine der Reflektorflächengekippt, so liegen die anderen Strahlengangabschnitte in derselben Ebene. Werden hingegen alle drei Reflektorflächen ge ringfügiggekippt angeordnet, vorzugsweise mit demselben KiDp-winkel, so ergibt sich eine gleichmässige schraubenlinienartige Windung des Strahlengangs. Die Reflektoren des Lasers weisen insgesamt'vier, die an einanderstossendenStrahlengangabschnitte rechtwinkelig zueinander ausrichtende Reflektorflächenauf, um einerseits einen mög-lichst langen Strahlengang bei möglichst guter Ausnutzung eines zur Verfugung stehenden Volumens zu erreichen, anaererseits aber einen grossen baulichen Aufwand durch eine unnötige Vielzahl von Reflektoren, Elektroden usw. zu vermeiden.Das vorerwähnte Ziel einer Minimierung der am Aufbau des Lasers beteiligten Bauteile wird insbesondere aadurchgefordert, dass vier Planspiegel oder zwei retroreflektiv wirkende Dachkantspiegel als Reflektoren vorhanden sind. Mit vier Planspiegeln kann also erreicht werden, dass eine Vielzahl von Faltungen des Strahlengangs vorgenommen wird, damit dieser insgesamt möglichst lang ist. Offensichtlich wird auch der Justierungsaufwand verringert, weil insgesamt nur vier Spiegel zu Justieren sind. Da rüberhinaus sind aerartige Planspiegel in der erforderlichen Qualit tpreiswert herzustellen. Die Alternative zweier retroreflektiv wirkender .Dachkantspiegel hat als besonderen Vorteil, dass die Justierungsempfindlichkeit weiter verringert werden kann. Derartige retroreflektive Spiegel haben die Eigenschaft, einen einfallenden Strahl unabhängig vom Einfallswinkel parallel zu sich selbst zu reflektieren. Bei der Justierung eines oder beider Dachkantspiegel braucht also nur derjenige Kippwinkel justiert werden, der zu einer schraubenlinienartigen Windung der Strahlengangabschnitte führt. In Ausgestaltung der Erfindung ist der Laser so aufgebaut, dass im Inneren des gewundenen Strahlengangs eine mit Planflächenversehene zylindrische Elektrode vorhanden ist, und dass ausserhalb des Strahlengangs vor jeder Planfläche eine parallele Plattenelektrode vorgesehen ist. Der Strahlengang wird also zwischen den Elektroden hindurchgeführt, die zur Erzielung von Gasentladungen erforderlich sind, mit deren Hilfe das aktive Material gepumpt bzw. angeregt wird, damit das zu erzeugende Laserlicht entsteht. Die im Inneren des Strahlengangs angeordnete Elektrode erlaubt es, das Volumen des aktiven Materials, also das Gasvolumen, auf einen im übrigen durch die Aussenelektroden bzw. die Reflektoren bestimmtes Volumen zu begrenzen. Infolgedessen sind die zur Kühlung zur Verfügung stehenden Elektrodenflächenbezogen auf das Gesamtvolumen des aktiven Materials vergleichsweise gross, so dass die anfallende verlustwärmegut abtransportiert werden kann bzw. die auf eine Volumeneinheit bezogene Leistung des Lasers vergleichsweise gross ist. Das geht insbesondere dann, wenn die Reflektorflächengegenüber den Ecken der Innenelektrode in den Schnittbereichen der Ebenen der Plattenelektroden angeordnet sind. Der vorbeschriebene Aufbau des Lasers im Resonatorbereich hat aber auch Vorteile fur Umwälzkühlung.In diesem Fall ist der Laseraufbau derart, dass er zwischen den Elektroden strahlengangparallele Gasströmungen mit Eintritten in den Eckbereichen gegenüber der Innenelektrode und Austritten mittig in ihren Planflächen aufweist. Der wesentliche Vorteil ist bei der vor beschriebenen Strömungsführung,dass die Gasströmung parallel zur Ausbreitungsrichtung des Lichts erfolgt. Dadurch werden Temperatur- und Dichtegradienten quer zum Strahl vermieden, was negativen Einfluss auf die Strahlqualitäthätte. Durch die Strömungsführungwird also eine hohe Strahlqualitätbei kontinuierlichem und auch bei gepulstem Betrieb ermöglicht. Es ergeben sich in diesem Zusammenhang also auch bei einem Lasersystem mit einem schnellen Gasaustausch eine verbesserte Leistungs- und Modenstabilität,verbunden mit den bekannten Vorteilen bei der Anwendung der i;aserstrahlung. Besonders kompakt wird der Laseraufbau dann, wenn in die Innenelektrode ein an eine Gasumwälzeinrichtungangeschlossener Gaskühler eingebaut ist. Vorteilhafterweise sind die Reflektoren und/oder die Elektroden in ein rohrförmiges Gehäuse eingebaut. Dieses Gehause ist eine stabile Halterung fur die genannten Bauteile, so dass die Strahlführung dementsprechend stabilisiert ist. Zugleich bildet das rohrförmige Gehäuse ein Vakuumgefäss,in dem die für die Erzeugung des Laserlichts erforderlichen An regungsvorgängebei dem dafuroptimalen Druck stattfinden können. Die beiden Resonatorspiegel sind in Ausgestaltung der Erfindung einen Strahlengangabschnitt zwischen sich einschliessend aufeinander ausgerichtet, wodurch sich ein Ringresonator ergibt, der beispielsweise bei Farbstofflaserneingesetzt wird. Dabei versteht sich, dass einer der Resonatorspiegel wie üblich ein teiltransmittierender Spiegel ist, der also ein Teil des Laserlichts auskoppelt, einen anderen Teil aber über den Strahlengangabschnitt zum zweiten Resonatorspiegel wieder in den Strahlengang einkoppelt. Kurze Beschreibung der ZeichnungenDie Erfindung wird anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert. Es zeigt:Fig. 1 eine schematische Darstellung des Strahlengangs zwischen zwei Resonatorspiegeln,Fig. 2 eine schematische Darstellung eines Strahlengangs zwischen zwei als Reflektoren innerhalb einesStrahlengangs retroreflektiv wirkenden Dachkant spiegeln,Fig. 3 eine Seitenansicht eines Lasers in schematischerDarstellung,Fig. 4 eine der Fig. 3 entsprechende Darstellung mit Gas umwälzung, undFig. 5a bis c drei verschiedene rohrförmige Gehäuse desLasers im Querschnitt. Beste Wege zur Ausführung der ErfindungBei dieser Ausgestaltung des Lasers erfolgt die schraubenlinienartig gewundene Anordnung des Strahlengangs durch nur zwei räumlich zueinander versetzt angeordnete Strahlengangabschnitte. Der in Fig. 1 dargestellte Strahlengang 13 eines Resonatorsystems der in Fig. 3'und4 dargestellten Laser 10 lässteine schraubenlinienartig gewundene Anordnung der S,rahlengangab-schnitte 16 des Strahlengangs 13 erkennen. Dieser erstreckt sich zwischen den Resonatorspiegeln 11, 12, von denen der letztere teiltransmittierend ist, also einen Teil des Laserlichts zu einem externen Laserstrahl 29 auszukoppeln gestattet. Die Fal tung des Strahlengangs 13 erfolgt mit in Fig. 1 nicht dargestellten Reflektoren an den Stellen-30. Die dort befindlichen Reflektoren sind gemäss Fig. 3, 4 Planspiegel, die sich uberdie gesamte Hohe dieser Stellen 30 erstrecken, so dass jeder Reflektor eine Vielzahl von Faltungen des Strahlengangs 13 vornimmt. Bei der dargestellten Anordnung der Resonatorspiegel 11, 12 müssen zumindest die diesen abgewandten Stellen 30 jeweils zweimal falten, damit die Strahlengangabschnitte 16 schraubenlinien artig gewunden angeordnet sind. Im allgemeinen wird der Strahlen gang jedoch gemäss Fig. 1 ausgebildet sein, da dann zwischen denResonatorspiegeln 11, 12 ein langer Strahlengang 13 in einem verhaltnismässig kleinen Volumen vorhanden ist, so dass der Laserdementsprechendeinen sehr kompakten Aufbau haben kann. In Fig. 1 wird ausserdem noch dargestellt, dass derResonator auch zu einem Ringresonator ausgebildet werden kann, wenn der Strahlengang 13 durch entsprechende Anordnung derResonatorspiegel 11, 12 geschlossen wird. Das wird dadurch ermöglicht, dassdie Spiegel 11, 12 in die strichpunktiertenStellungen 11', 12' gebracht werden, in denen sie zwischen sich einen Strahlengangabschnitt 16"einschliessen, da sie einander zugewendet angeordnet sind. Auch ein solcher Ringresonator hat infolge der Länge seines Strahlengangs die beschriebenenVorteile.Die zur Faltung an den Stellen 30 benötigten Reflektoren sind jeweils ein Planspiegel, so dass die gesamte Resonatoran ordnung mit vier Planspiegeln auskommt. Eine ähnlich einfacheAnordnung ergibt sich bei der Verwendung von zwei retroreflektiv wirkenden Dachkantspiegelnals Reflektoren 15 gemäss Fig. 2. Es erfolgt wiederum, wie bei dem Strahlengang 13 der Fig. 1-, eine vielfache Faltung derart, dass die auf eine Reflektorfläche 14 bezogenen Strahlengangabschnitte 16 rechtwinkelig zueinander angeordnet sind. Die schraubenlinienartig gewundene Anordnung dieser Strahlengangabschnitte 16 ist in der perspektivischen Darstellung der Fig. 2 nicht i-m Einzelnen erkennbar, jedoch dadurch angedeutet, dassdie Horizontale 31 eingezeichnet ist, die mit den längeren Strahlengangabschnitten 16 offensichtlich einen Winkel einschliesst, wodurch die Verkippung des einen Re flektors 15 oder beider Reflektoren 15 angedeutet wird. DieseReflektorkippung bewirkt, dass ein Strahlengangabschnitt im Win dungssinn abgelenkt ist. Fig. 2 zeigt, dass die als Dachkantspiegel ausgebildeten Reflektoren 15 eine im wesentlichen rechteckige bzw. auador-förmige Anordnung der Strahlengangabschnitte 16 bedingt, weil die im rechten Winkel zueinander stehenden Reflektorflächen 14 zwischen sich nur kurze Strahlengangabschnitte erlauben, wenn einmal von einer unverhältnismässiggrossen Ausbildung der Dachkantspiegel abgesehen wird. Eine derartige Konfiguration wird daher im allgemeinen nur dann verwendet werden, wenn zwischen den Strahlengangabschnitten 16 keine Elektrode eingebaut wird, also der gesamte von den Strahlengängen eingenommene Raum gasgefüllt ist. Im Vergleich mit herkömmlichen Systemen ist aber auch ein derartiger Aufbau vergleichsweise kompakt und hat vor allen Dingen den Vorteil des Einsatzes nur weniger ebener Reflektorflächenbei vergleichsweise geringer Justierempfindlichkeit. Auch ein solcher Laser ist infolgedessen mit erheblich niedrigeren Herstellungskosten zu produzieren, als bisher bekannte Laser. Bei dem in Fig. 3 dargestellten Laser 10 erstreckt sich der Strahlengang 13 zwischen den Resonatorspiegeln 11, 12 und im wesentlichen innerhalb eines Gehäuses 26. Der Spiegel 11 ist lichtundurchlässigausgebildet, während der Spiegel 12 teildurchlässig ist, so dass ein extern zur Verfügung stehender Laserstrahl 29 ausgekoppelt wird. Im Inneren des Gehäuses 26 sind Reflektoren 15 vorhanden, von denen die den Spiegeln 11, 12 benachbarten Reflektoren 15 so angeordnet sind, dass sie den Strahlengang 13 nicht behindern. So ist der obere rechte Reflektor 15 oberhalb des Strahlengangabschnitts zum Spiegel 11 angeordnet, während der untere rechte Reflektor 15' unterhalb des zum Spiegel 12 führenden Strahlengangabschnitts angeoranet ist Eine derartige Anordnung ist bei senkrecht zur Darstellungsebene versetzter-Anoranung der Spiegel 11r12 ohne weiteres möglich. Im Inneren des Gehäuses 26 sind Elektroden 18, 19 vorhanden. Die Elektrode 18 ist als zylindrisches Rohr ausgebildet und innerhalb des gewundenen Strahlengangs 13 angeordnet. Sie besitzt vier den Strahlengangabschnitten 16 zugewendete Planflächen17, denen gegenüber auf der anderen Seite der Strahlengangabsohnitte16 Plattenelektroden 19 angeordnet sind. Die Elektrode 18 kann gasdicht sein In diesem Fall ist das aktive Medium auf dem Bereich zwischen der inneren Elektrode 18 und dem Gehäuse 26 begrenzt. -An die Elektroden 17, 18 wird Hochspannung angelegt, so dass sich in den aus Fig. 3 ersichtlichen Bereichen 32 Gasentladungen ausbilden, beispielsweise Gleichstrom- oder Hochfrequenzgasentladungen.Das infolgedessen vom aktiven Material emittierte Licht wird von den Reflektoren 15, 15' im Strahlengang 13 geführt. Die schraubenlinienartig gewundene Anordnung der Strahlengangabschnitte 16 wurde zu Fig. 1 erläutert. Die dort erwähnteKippung eines Reflektors betrifft beispielsweise den Reflektor 15', dessen Reflektorfläche 14 den zugehÏrigenStrahlengangabschnitt 16' von der Darstellungsebene abweichend dem rechts oben dargestellten Reflektor 15 zuführt, nämlich aus der Darstellungsebene nach oben heraus geneigt. Aus Fig. 3 ist insbesondere die kompakte Anordnung des Lasers 10 bzw. des gefalteten Strahlengangs 13 in Bezug auf die Querschnittsabmessungen erscntlich.Dazu sind die Reflektoren 15 in den Schnittbereichen21 der Ebenen der Platten-elektroden 19 gegenüber den Ecken 20 der Innenelektrode 18 angeordnet,und zwar innerhalb des Gehäuses 26. Das Gehäuse 26 kann dementsprechendrohrförmig sein, also mit quadratischem Querschnitt gemäss Fig. 5a. Bereits diese Ausbildung des Gehäuses ist sehr stabil, was fur eine Vielfachfaltung von Bedeutung ist. Eine Verbesserung der Stabilität des Gehäuses ergibt sich gemäss Fig. Sb durch das Gehäuse 27, das von seinen Kanten 27' ausgehende Versteifungsrippen 27'' aufweist. Fig. 5czeigt ein'Gehause28 mit kreisringförmigen Querschnitt mit entsprechend hoher mechanischer SteifigkeitDer in Fig. 4 dargestellte Laser entspricht hinsichtlich seines Aufbaus im wesentlichen dem der Fig. 3. In Ergänzung dazu ist eine Gaskühlung vorgesehen, bei der die Zuführung des zugleich das aktive Medium bildenden Kühlgases sowohl stirnseitig in das Gehäuse 26 erfolgen kann, als auch durch seitliche Einströmöffnungen. Fig. 4 zeigt Eintritte 23 vonGasströmungen 22 in den Eckbereichen gegenüber der Innenelek trode 18, also gegenüber deren Ecken 20 und Austritten 24 in den Planflächen17 der Innenelektrode. Diese Austritte sind mittig angeordnet, so dass sich zwischen den Elektroden18, 19 strahlengangparallele Gasströmungen 22 in den Anregungs bereichen 32 des aktiven Mediums ergeben, was den Vorteil hat,ouerzum Strahlengang auftretende Temperatur- und dichteGeradienten weitgehend zu vermeiden, so dass der Strahl 29 eine hohe Qualität hat. Die Umwälzung des Gases erfolgt mit einer nicht darge stellten Gasumwälzeinrichtung, z.B.mittels Rootspumpen oder Turbinenpumpen. Aus dem Bereich zwischen den Elektroden18, 19 strömt das Gas in das Innere 33 der Elektrode 18, aus der es stirnseitig abgeführt wird. Im Inneren der Elek trode 18 ist vorteilhafterweise ein Gaskühler 25 eingebaut, dem das erhitzte Gas zugeführt wird und von dem aus das abgekühlte Gas durch eine Ausströmöffnung34 den Eintritten23 wieder zugeleitet wird.Das Kühlmittel für den im Ein zelnen nicht dargestellten Gaskühler 25 wird zweckmässiger-weise auf einer Stirnseite zugeführt und auf der anderenStirnseite abgeführt, so dass sich eine hohe Durchsatzge schwindigkeit des Kühlmittels und damit ein entsprechend grosser Ruhleffekterzielen lässt. Gewerbliche Verwertbarkeit Das erfindungsgemässe Verfahren dient dazu einen Laser möglichst kompakt zu gestalten.
    权利要求:
    Claims
    Ansprüche
    1. Laser, insbesondere Kohlendioxidlaser, mit einem zwischen zwei Resonatorspiegeln mehrfach gefaltetenStrahlengang, für dessen Faltungen ebene Reflektorflächen vorhanden und dessen zwischen den Reflektoren gelegenenStrahlengangabschnitte räumlich angeordnet sind, nachPatent.... (Patentanmeldung P 37 16 873.8) d a d u r c hg e k e n n z e i c h n e t, dass die Strahlengangabschnitte (16) schraubenlinienartig gewunden angeordnet sind.
    2. Laser nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass er mindestens drei Reflektorflächen (14) hat, von denen mindestens eine den Strahlengang (13) mindestens zweimal faltet, und dass mindestens ein Re flektor (z.B. 15') einen Strahlengangabschnitt (16') im Windungssinn ablenkend gekippt angeordnet ist.
    3. Laser nach Anspruch 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass seine Reflektoren (15) insgesamt vier, die aneinanderstossenden Strahlengangabschnitte (16, 16')rechtwinkelig zueinander ausrichtende Reflektorflächen(14)aufweisen.
    4. Laser nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass vierPlanspiegel oder zwei retroreflektiv wirkende Dach kantspiegel als Reflektoren (15) vorhanden sind.
    5. Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 4, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass im Inneren des gewundenenStrahlengangs (13) eine mit Planflächen(17) versehene zylindrische Elektrode (18) vorhanden ist, und dass ausserhalb des Strahlengangs (13) vor jeder Planfläche (17) eine parallele Plattenelektrode (19) vorgesehen ist.
    6. Laser nach Anspruch 5, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass die Reflektorflächen(14) gegenuberden Ecken (20) der Innenelektrode (18) in den Schnitt bereichen (21) der Ebenen der Plattenelektroden (19) angeordnet sind.
    7. Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass er zwischen denElektroden (18, 19) strahlengangparallele Gasströmungen (22) mit Eintritten (23) in den Eckbereichen gegenüber der Innenelektrode (18) und Austritten (2M)mittig in ihren Planflächen (17) aufweist.
    8. Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 7, d a d u r c h g e ke n n z e i c h n e t, dass in die Innenelektrode (18) ein an eine GasumwälzeinrichtungangeschlossenerGaskühler (25) eingebaut ist.
    9. Laser nach einem der Ansprüche1 bis 8, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass die Reflektoren (25) und/oder die Elektroden (18, 19) in ein rohrförmiges 'Gehäuse (26, 27, 28) eingebaut sind.
    10. Laser nach einem der Ansprüche 1 bis 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass die beiden Resonator spiegel (11, 12) einen Strahlengangabschnitt (16'') zwischen sich einschliessend, aufeinander ausgerichtet sind.
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    同族专利:
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    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    1989-11-02| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): JP US |
    1989-11-02| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AT BE CH DE FR GB IT LU NL SE |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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