• 专利附录
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  • 法律状态
  • 优先权
    • 专利摘要:

    公开号:WO1989001732A1
    申请号:PCT/CH1988/000139
    申请日:1988-08-15
    公开日:1989-02-23
    发明作者:Franz Jutrzenka
    申请人:Asem Gmbh；
    IPC主号:H01L21-00
    专利说明:
    Laserelementfür einen Bondarm und Bondarm zur Verwendungdesselben Die Erfindung betrifft ein Lagerelement für einen Bondarm, insbesondere zum Aufnehmen von Halbleiterelementen, z.B. Chips, durch einen Aufnahmearm von einem Trägerelement und zu deren Uebertragung auf einen Befestigungspunkt auf einem Trägersubstrat, wobei der Aufnahmearm an einer Aufnehmerhalterung und relativ zu dieser auslenkbar befestigt ist, wobei eine Hubeinrichtung zur Anhebung des Aufnahmearms an dessen Aufnahmeende vorgesehen ist; sie bezieht sich ausserdem auf einen Bondarm, insbesondere zur Verwendung eines solchen Lagerelements. Solche Bondarme oder Bondrotoren werden in der Praxis in verschiedenen Ausführungsformen angewendet. Sie werden vor allem dazu eingesetzt, Chips von einer Trägerfolie abzunehmen und auf ein Trägersubstrat zu übertragen. Dort werden sie mittels verschiedener Techniken z.B. verklebt oder angelötet. Bei bekannten Bondarmen sind in der Regel Achsen- oder Buchsenanordnungen zur Lagerung vorgesehen. Zum Auslenken dienen meistens Schrittmotoren, die sowohl zur Ansteuerung der Rotationsbewegung eines Bondarms als auch zum Anheben der Aufnehmerspitze des Bondarms vorgesehen sein können. Nachteilig wirken sich bei bekannten Konstruktionen vor allem die verschiedenen Lagerspiele sowohl beim Antrieb als auch bei den Lagerelementen aus. Die relativ hohen Massenbeschleunigungen - ein Chip wird in weniger als einer Sekunde von der Trägerfolie abgenommen, durch Verdrehung des Bondarms und darauffolgendes Absenken des Bondarms positioniert und übertragen - führen zu hohen Wartungsaufwendungen. Ausserdem ist bei den meisten bekannten Konstruktionen die Geschwindigkeit der Chip-Uebertragung sowohl durch das Lagerelement als auch durch die Antriebs-, insbesondere die Hubeinrichtung begrenzt. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Nachteile des Bekannten zu vermeiden. Erfindungsgemäss wird dies insbesondere dadurch erreicht, dass der Aufnahmearm durch wenigstens ein Federelement mit wenigstens zwei sich unter einem Winkel von weniger als 900kreuzenden Federn mit der Halterung verbunden ist, und dass der Kreuzungspunkt der Federn etwa als Drehpunkt für den Aufnahmearm bei Hubbewegungen vorgesehen ist. Ein solches Lagerelement lässt sich praktisch spielfrei konstruieren, wobei niederes Gewicht und praktisch vollständige Wartungsfreiheit zusätzlich erreichbar ist. Insbesondere wenn die Federelemente Blattfedern aufweisen, lässt sich optimale Torsions- und Biegestabilität quer zur Blattfeder, d.h. quer zum Aufnahmearm und quer zur Rotationsrichtung erreichen. Dies gewährleistet hohe Beschleunigung ohne Spiel und Verschleiss. Auch lässt sich durch die Federelemente ein tiefer Drehpunkt - desBondarmes erreichen, was im Hinblick auf verschiedene Anwendungsgebiete von Vorteil ist. Durch die erfindungsgemäss erreichbare Scherstabilität und und Spielfreiheit wird zudem eine grössere Aufsetzgenauigkeit des Bondarms nur durch Verwendung der neuen Lagerelemente ermöglicht. In bestimmten Anwendungsfällen lassen sich die Federelemente auch als Federstäbe ausbilden. Selbstverständlich können die Federelemente aus verschiedenen metallischen oder nicht metallischen Werkstoffen hergestellt sein. Besonders bewährt hat sich für die meisten Anwendungsfälle Federstahl.Wenn die Federn auf beiden Seiten des "Drehpunktes" in wenigstens je einem Lagerblock eingespannt sind, lässt sich das Lagerelement besonders vorteilhaft als komplettes, ggf. auch auswechselbares Bauteil ausbilden. Die Federn, d.h. also z.B. die sich kreuzenden Blattfedern oder Federstäbe, können formoder kraftschlüssig in den Lager-Blöcken befestigt werden. Bewährt haben sich besonders Schraub-, Weichlot- und Klemmverbindungen. Sofern zur Erreichung niederer Drehpunkte das Lagerelement besonders flach ausgebildet sein soll, können die sich kreuzenden Federn vorteilhaft unter einem Winkel von weniger als 450bzw. sogar unter einem Winkel von 300zueinander angeordnet sein. Durch Unterteilung der Lagerblöcke in einzelne Abschnitte lässt sich erreichen, dass am selben Lagerelement verschiedene Bauteile des Aufnahmearms befestigt und diese ggf. unterschiedlich ausgelenkt werden können. Im Hinblick auf Optimierung von Scherstabilität vor allem bei schnellen Rotationsbewegungen ist es besonders vorteilhaft, wenn dabei die äusseren Lagerblöcke zur Halterung.-des Aufnahmearms selbst vorgesehen sind. In bestimmten Anwendungsfällen kann sich die Biegecharakteristik, vor allem die Biegestabilität und die Dämpfungseigenschaft des Lagerelements verbessern lassen, wenn die Federn wenigstens teilweise von einem elastischen Körper umgeben, insbesondere in diesen eingegossen sind. Dies lässt sich z.B. mit Kautschuk- oder Polyurethanmassen in bekannter Weise einfach verwirklichen. Besonders zuverlässige Spielfreiheit in Verbindung mit besten Verschleisseigenschaften, hoher Steifigkeit gegenüber Trägheitskräften und niederes Gewicht lassen sich erreichen durch die Kombination der Verwendung eines Federelements als Lagerelement und einer in ihrer axialen und parallel zum Aufnahmearm verlaufenden Ebene elastischen, aber schub- und knick steifen Kraftübertragungseinrichtung zur Uebertragung von Hubbewegungen von der Hubeinrichtung auf den Aufnahmearm. In der praktischen Realisierung lässt sich als Kraftübertragungseinrichtung ganz besonders vorteilhaft ein zweites Federelement, vorzugsweise eine Blattfeder, vorsehen. Dadurch lassen sich sowohl beim Lagerelement als auch bei der Kraft übertragungseinrichtung herkömmliche Kugellager oder Büchsenlager eliminieren. Insbesondere wenn die Hubeinrichtung einen Exzenterantrieb aufweist, lässt sich dabei durch die Kraft übertragung mittels einer schub- und knicksteifenFeder, insbesondere einer Blattfeder, quasi eine Zwangskopplung von Hubantrieb und Bondarm erreichen, wobei die Elastizität der Feder die Hubeinrichtung, d.h. den Exzenterantrieb und damit den Antriebsmotor, von äusseren Momenten freihält. Vor allem beim Einsatz von Schrittmotoren gewährleistet dieses Freistellen von äusseren Momenten und sprunghaften Beschleunigungen eine exakte Positionierung. Das Ueberspringenoder "Ueberdrehen" von Positionierungsschritten wird vermieden und zusätzlich ist eine Steigerung der Antriebsgeschwindigkeit möglich. Um den Anpressdruck des Aufnahmearms beim Aufsetzen kontrollieren zu können, ist es vorteilhaft, wenn ein Ausgleichs-Federelement zur Reduzierung von Anpressdrucken vorgesehen ist. Das Ausgleichs-Federelement lässt sich praktisch an jedem Ort der Kraftübertragung zwischen Hubeinrichtung und Bondarm-Spitze vorsehen. Besonders bewährt hat sich eine Anordnung, bei welcher zur Kraft- und Schubübertragung von der Hubeinrichtung auf den Aufnahmearm ein verschwenkbar gelagerter Hebelarm vorgesehen ist, an welchem einerseits die Hubeinrichtung angreift, und der andererseits mit dem Aufnahmearm kraft- und/oder formschlüssig verbunden ist. Die Kraft übertragung zur Erzeugung von Hubbewegungen verläuft also von der Hubeinrichtung über den Hebelarm zum Aufnahmearm. Dies ermöglicht es, den Hebelarm durch das Ausgleichs-Federelement mit dem Aufnahmearm zu verbinden. Zu grosse Anpressdrücke werden durch das Ausgleichs-Federelement übernommen, das entsprechend seiner Federkraft eine Relativbewegung von Hebelarm und Aufnahmearm zulässt. Als kompakte, biegesteife und trotzdem leichte Konstruktion hat es sich bewährt, wenn der Hebelarm und der Aufnahmearm jeweils an verschiedenen Lagerblöcken des Federelements einzel verschwenkbar gelagert sind. Dies lässt sich besonders einfach dadurch erreichen, dass der Aufnahmearm an seinem Lager-Ende gabelartig gespreizt und mit den äusseren Lager-Blöcken des Federelements verbunden ist, und dass der Hebelarm in dem vom Aufnahmearm freigehaltenen Mittelabschnitt mit dem bzw. den mittleren Lagerblöcken des Federelements verbunden ist. Diese Anordnung gewährleistet auf optimal einfache Weise die Verwirklichung der vorstehend geschilderten Vorteile in Kombination der einzelnen Massnahmen und Elemente. Die Erfindung ist nachstehend in Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen: Figur 1 die schematische Anordnung eines erfindungsgemässenBondarms mit dem neuen Lagerelement, Figur 2 eine Draufsicht auf die Anordnung gemäss Figur 1, Figur 3 ein Lagerelement gemäss Figur 1 in vergrössertemMassstab, Figur 3a eine Seitenansicht des Lagerelements gemäss Figur3, Figur 4 ¯die Seitenansicht eines eingegossenenLagerelements, Figur 5 die Seitenansicht eines weiter abgewandeltenLagerelements mit einer einzelnen Blattfeder, Figur 6 die schematische Darstellung eines abgewandeltenAusführungsbeispiels eines Bondarms, Figur 7 eine Draufsicht auf das in Figur 6 verwendeteLagerelement, und Figur 8 die perspektivische Darstellung eines weiter abgewandelten Bondarms mit den Merkmalen der Erfin dung. Gemäss Figur 1 und 2 ist der Aufnahmearm 1 eines schematisch dargestellten Bondarms 2 an seinem Lagerende 3 durch ein Federelement 4 an einer Aufnehmer-Halterung 5 befestigt. Das Federelement 4 besteht aus zwei Lager-Blöcken 6 und 7, welche Blattfedern 8 in Längsschlitzen aufnehmen. Die Blattfedern 8 sind unter einem Winkel ckabwechselnd derart schräg zueinander angeordnet, dass sich ein Kreuzungspunkt 9 ergibt. Zum Anheben oder Absenken des Aufnahmeendes 10muss ersichtlicherweise lediglich mittels einer Hubeinrichtung llein Zug oder Schub auf einen Hebel l2ausgeübt werden, der seinerseits mit dem Aufnahmearm 1 starr verbunden ist. Die Hubeinrichtung 11 ist durch eine Achse 16 mit der Aufnehmerhalterung 5 verbunden. Jede Auslenkung des Hebels 12 führt zu einem Verschwenken des Aufnahmearms 1 um den Kreuzungspunkt 9 des Federelements 4. Durch die kreuzende Anordnung der Blattfedern 8 (auf eine schräg nach rechts geneigte Blattfeder folgt jeweils eine schräg nach links geneigte Blattfeder 8) entsteht bei jedem Verschwenken des Aufnahmearms 1 in den Blattfedern ein Zug, während die Blattfedern 8 der anderen Schräglage auf Druck beansprucht werden. Dies unterstützt den gewünschten Effekt, dass bei kleinen Auslenkungswinkeln des Aufnahmearms 1 der Kreuzungspunkt 9 als Drehpunkt für den Aufnahmearm 1 praktisch stationär bleibt. Derart kleine Auslenkungswinkel des Aufnahmearms 1 sind bei den gebräuchlichen Bondarm-Konstruktionen die Regel. Zur Kraftübertragung zwi schen der Hubeinrichtung 11 und dem Hebel 12 ist eine zweite Blattfeder-Anordnung 13 vorgesehen. Gegenüber Schubkräften und seitliche wirkenden Kräften des Hebels 12 ist die Blattfeder 13 schub- und knicksteif. Bei jeder Auslenkung des Hebelarms 12 zur Anhebung des Aufnahmeendes 10 kann sich die Feder 13 dagegen elastisch durchbiegen. Zum Ausfahren bzw. Einziehen einer Schubstange lla der Hubeinrichtung 11 dient ein nicht näher dargestellter Schrittmotor. Selbstverständlich lassen sich auch andere Antriebseinrichtungen, wie z.B. hydraulischer oder elektromechanischer Art verwenden. Die Halterung 5 ist über eine Achse 15 an einem stationär befestigten Rotationsantrieb 14 befestigt. Dadurch lässt sich die Aufnehmerhalterung 5 und der mittels des Federelements 4 daran befestigte Aufnahmearm 1 drehen und plazieren, wobei durch die gestrichelt bei 16 angedeutete Verbindung von Aufnehmer-Halterung 5 und Hubeinrichtung 11 letztere jeweils mitgedreht wird. Völlig unabhängig von der jeweiligen Dreh Position lässt sich also durch die Hubeinrichtung'11 der Aufnahmearm 1 anheben oder absenken, so dass Drehbewegung und Hubbewegung zur Einsparung von Taktzeiten überlagert werden können. Die etwa senkrecht zur Ebene der Achse 15 angeordnete Blattfeder-Anordnung 13 ist in Drehrichtung biegesteif. Dies gilt in verstärktem Masse für die Blattfedern 8 des Federelements 4, die eine spielfreie und steife Verbindung gewährleisten. In Figur 3 und 3a ist ein Federelement mit den Lagerblöcken 6 und 7 und den Blattfedern 8 dargestellt. Dabei sind Federn einer Schräglage jeweils mit a und Federn der anderen Schräglage jeweils mit b (Figur 3a) gekennzeichnet. Figur 4 zeigt ein abgewandeltes Ausführungsbeispiel eines Federelements 4, bei welchem die sich kreuzenden Federn 8a bzw. 8b in einem Polyurethan-Block 17 vergossen sind, welcher sowohl mit den Federn 8 als auch mit den Lagerblöcken 6 und 7 verbunden ist. Der Polyurethan-Block 17 bewirkt eine Dämpfung der Federcharakteristik und hält ausserdem die Blattfedern 8a und 8b im Kreuzungspunkt 9 zusammen. Figur 5 zeigt anstelle der sich kreuzenden Blattfedern 8 eine die Lagerblöcke 6 und 7 geradlinig verbindende Blattfeder 8c. Eine solche Anordnung ist denkbar, sofern die Hubbewegung des Aufnahmearms 1 äuserst gering ist. Beim Ausführungsbeispiel gemäss Figur 6 und 7 sind gleiche Teile mit denselben Bezugs zeichen wie beim Ausführungsbeispiel gemäss Figur 1 und 2 bezeichnet. Der wesentliche Unterschied besteht ersichtlicherweise darin, dass der Hebel 12 nicht starr mit dem Aufnahmearm 1 verbunden ist. Zu diesem Zweck ist der Aufnahmearm 1 an seinem Lager-Ende gabelartig ausgebildet, wobei der Hebel 12 im so geschaffenen mittleren Freiraum des Aufnahmearms 1 vorgesehen ist. Ausserdem ist der Lagerblock 7 in drei Abschnitte unterteilt, wobei der Aufnahmearm 1 an den Abschnitten7a und der Hebel 12 am Abschnitt 7b befestigt ist. Ersichtlicherweise lassen sich dadurch Hebel 12 und Aufnahmearm 1 relativ zueinander um den Drehpunkt 9 des Federelements 4 verschwenken. Der Hebel 12 liegt einerseits an einer Anschlag-Schraube 19 an, mit welcher die Relativlage von Hebel 12 und Aufnahmearm 1 zueinander eingestellt werden kann. Ausserdem wird der Hebel 12 durch ein als Zugfeder 20 ausgebildetes Ausgleichs Federelement kraftschlüssig gegen die Anschlag-Schraube 19 gepresst. Die Vorspannung der Zugfeder 20 ist mittels einer Justierschraube 20a inbekannter Weise verstellbar. Die separate Verschwenkbarkeit des Hebels 12 am Lagerblock 7b dient¯inVerbindung mit der Zugfeder 20 und der Anschlag Schraube 19 einem mehrfachen Zweck: Wenn im Betriebsablauf beim Aufnehmen eines schematisch dargestellten Chips 21 dieser von einem Trägerelement 22 gelöst und dazu in Richtung des Pfeils 23 (Figur 6) von unten gegen das Aufnahmeende 10 gepresst wird, so kann dieses nach Ueberwinden der voreinstellbaren Kraft der Zugfeder 20 angehoben und um die Lagerblöcke 7a nach oben verschwenkt werden. Dabei löst sich die Anschlag-Schraube 19 vom Hebel 12, so dass keinerlei Verschwenken oder Verlagern des Hebels 12, der Blattfederanordnung 13 oder der Hubeinrichtung 11 erforderlich wird. Einerseits wird dadurch die konstruktive Gestaltung der Hubeinrichtung 11 wesentlich vereinfacht, und andererseits werden die beim Anheben des Aufnahmearms 1 bewegten Massen (und damit das Massenträgheitsmoment) auf ein Minimum reduziert. Zudem lässt sich sowohl die Ruhelage des Aufnahmearms 1 durch die Anschlag-Schraube 19 einfachst einstellen, wobei die Vorspannkraft, mit welcher das Aufnahmeende 10 nach unten gegen die Anpresskraft des Chips 21 gehalten wird, separat durch die Justier-Schraube 20a und/oder die Dimensionierung der Zugfeder 20 einstellbar ist. Nach einem Anheben des Aufnahmearms 1 durch einen von unten hochgepressten Chip 21 gegen die Kraft der Zugfeder 20 kann dann z.B. überlagernd durch Betätigung der Hubeinrichtung 11 der Hebel 12 in der Darstellung gemäss Figur 6 nach links verlagert werden, wodurch der Hebel 12 wieder am Anschlag 19 anliegt und bei fortgesetzter Schwenkbewegung den Aufnahmearm 1 weiter zusammen mit dem aufgenommenen Chip 21 anhebt. (Die Uebernahme von Chips durch Bondarme, z.B. durch Ansaugen, ist bekannt und wird hier nicht näher beschrieben.) Figur 8 zeigt ein konstruktiv gegenüber Figur 6 und 7 etwas abgewandeltes Ausführungsbeispiel, bei welchem im übrigen gleiche Teile mit gleichen Bezugsziffern versehen sind. Wie beim Ausführungsbeispiel gemäss Figur 6 und 7 ist der Aufnahmearm 1 gabelartig ausgebildet, so dass der Hebel 12 im freien Zwischenteil angeordnet und am Lagerblock 7b befestigt werden kann. Der Aufnahmearm 1 selbst ist an den Lagerblöcken 7a befestigt, so dass eine Relativbewegung zum Hebel 12 ermöglicht wird. Die Anschlag-Schraube 19 dient der Justierung der Ruhelage von Hebel 12 und Aufnahmearm 1. Die Zugfeder 20 verbindet Hebel 12 und Aufnahmearm 1 bis zum Erreichen der Ausgleichs-Federkraft formschlüssig. Dadurch ist ein Anheben des Aufnahmeendes 10 bei der Chip-Aufnahme relativ zum Hebel 12 möglich. Ausserdem wird beim Absenken des Aufnahmeendes 10 die durch die Hubeinrichtung 11 ausübbare Kraft durch die Zugfeder 20 beschränkt - das Aufnahmeende POwird beim Erreichen des vorbestimmten Aufsetzdrucks angehalten, während der Hebel 12 weiter ausgelenkt werden kann. Die Antriebseinrichtung für den Rotationsantrieb 14 und die Hubeinrichtung 11 ist jeweils schematisch durch Zahnräder und Zahnriemen-Anordnungen angedeutet. Die Hubeinrichtung 11 ist dabei in besonders vorteilhafter Weise als Exzenter-Antrieb24 ausgebildet. Dabei ist auf einer Antriebsachse 25 eine Scheibe 26 exzentrisch angeordnet. Die Scheibe 26 ist ihrerseits in einem Lager 27 gehalten, welches über eine Spange 28 die zweite Blattfeder 13 hält, welche zur schub- und knicksteifen Uebertragung von Hub-Auslenkungen auf den Hebel 12 dient. Ersichtlicherweise bewirkt die Drehung der Antriebsachse 25 eine exzentrische Verlagerung der Scheibe 26 um den Betrag H. Um den gleichen Betrag wird d i HEUattfeder13 verlagert, die ihrerseits den Hebel 12 mit dem Lagerblock 7b um den Drehpunkt 9 verschwenkt. Beim Anheben des Aufnahmearms 1 liegt der Hebel 12 dabei an der Anschlag-Schraube 19 an, so dass eine entsprechende Verschwenkung des Aufnahmearms 1, insbesondere des Aufnahmeendes 10 um den Drehpunkt 9 bewirkt wird. Wird jedoch die Scheibe 26 um den vollen Betrag H nach rechts ausgelenkt, was einer entsprechenden Absenkung des Aufnahmeendes 10 entsprechen würde, so kann dieses beim Erreichen der Anpresskraft der Zugfeder 20 in der Absenkbewegung angehalten bzw. im Aufsetzpunkt gestoppt werden, obwohl sich der Hebel 12 an sich durch Auslenkung der Blattfeder 13 noch weiter bewegt und dabei vom Anschlag 19 löst. Auf diese Weise wird zuverlässig jede Beschädigung eines aufzunehmenden oder zu positionierenden Chips vermieden. Dies wird bei grösster Wartungs- und Verschleissfreiheit erreicht, da sowohl die Uebertragung von Hubkräften als auch die Lagerung des Aufnahmearms 1 selbst durch Federn übernommen werden. Die Feder 13 garantiert weitestgehende Steifigkeit und hohe Beschleunigung bei der Absetzbewegung, wobei jedoch durch die Zugfeder 20 Beschädigungen des Chips zuverlässig vermieden werden. Die Zwangskopplung von Aufnahmearm 1 und Hubeinrichtung 11 wird dabei ohne Angreifen äusserer Momente erreicht, was vor allem der Wartungs- und Verschleissfreiheit zugute kommt und ein Abbremsen oder Ueberdrehen des Antriebsmotors, besonders eines Schrittmotors, vermeidet. Ausserdem garantiert das Federelement hohe Steifigkeit bei Dreh-Beschleunigung bei gleichzeitiger Wartungs- und Verschleissfreiheit. Dadurch lassen sich die Taktzeiten des Bondarms senken und die Wartungsfreundlichkeit und die Aufsetzgenauigkeit gleichzeitig drastisch erhöhen. Beim Ausführungsbeispiel gemäss Figur 8 ist ausserdem keine starre Verbindung von Hubeinrichtung 11 und Rotationsantrieb 14 vorgesehen, wodurch die mit dem Bondarm 2 rotierenden Massen verringert werden. Wird z.B. im Betriebsablauf der Bondarm 2 durch die Achse 15 verdreht, dann lässt sich durch synchrone Verdrehung der Antriebsachse 25 der Hubeinrichtung 11 der jeweilige Hub-Zustand des Bondarms 2 erhalten. Andererseits lässt sich auch durch entsprechend unterschiedliche Drehbewegung von Antriebsachse 25 und Achse 15 der Bondarm 2 während der Rotation anheben oder absenken, d.h. beliebig steuern. Die derart einfach erreichbare Ueberlagerung von Hub und Rotation führt zu deutlich höheren Taktzeiten.
    权利要求:
    Claims
    Patentansprüche
    1. Lagerelement für einen Bondarm, insbesondere zum Auf nehmen von Halbleiterelementen, z.B. Chips, durch einenAufnahmearm von einem Trägerelement und zu deren Ueber tragung auf einen Befestigungspunkt auf einem Trägersub strat, wobei der Aufnahmearm an einer Aufnehmer-Halterung und relativ zu dieser auslenkbar befestigt ist, wobei eine Hubeinrichtung zur Anhebung des Aufnahmearms an dessen Aufnahmeende vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Aufnahmearm (1)durch wenigstens ein Federelement (4) und wenigstens zwei sich unter einem Winkel (0 < )von weniger als 90kreuzenden Federn (8) mit der Halterung (5) verbunden ist, und dass derKreuzungspunkt (9) der Federn etwa als Drehpunkt für denAufnahmearm bei Hubbewegungen vorgesehen ist.
    2. Lagerelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Federelemente (4) Blattfedern (8) sind.
    3. Lagerelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Federelemente (4) als Mehrzahl sich kreuzenderFederstäbe ausgebildet sind.
    4.Lagerelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Federelemente (4) aus Federstahl sind.
    5. Lagerelement nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Federelemente (8) auf beiden Seiten. desDrehpunkts (9) in wenigstens je einenLager-Block (6 bzw. 7) eingespannt sind.
    6. Lagerelement nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass auf wenigstens einer Seite des Drehpunkts (9) wenig stens zwei und vorzugsweise drei Lagerblöcke (7a, 7b) vorgesehen sind, die jeweils separat zum gegenüberliegen den Lagerblock (6) auslenkbar sind.
    7. Lagerelement nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die äusseren Lagerblöcke (7a) zur Halterung desAufnahmearms (1)vorgesehen sind.
    8. Lagerelement nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Federelemente (8) wenig stens teilweise von einem elastischen Körper (17) umge ben, insbesondere in diesen eingegossen sind.
    9. Bondarm, insbesondere zur Verwendung eines Lagerelements gemäss Anspruch 1 bis 8, zum Aufnehmen von Halbleiterele menten, z.B. Chips, durch einen Aufnahmearm von einemTrägerelement und deren Uebertragung auf den Befesti gungspunkt auf einem Trägersubstrat, wobei der Aufnahme arm durch ein Lagerelement an einer Aufnehmer-Halterung auslenkbar und mittels einer Hubeinrichtung relativ zu dieser am Aufnahmeende anhebbar befestigt ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Lagerelement der Aufnahme-Halte rung (5) als Federelement (4) ausgebildet ist.
    10. Bondarm nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass zurUebertragung von Hubbewegungen von der Hubeinrichtung (11) eine in ihrer axialen und parallel zum Aufnahmearm verlaufenden Ebene elastische, aber schub- und knick steife Kraftübertragungseinrichtung (13) vorgesehen ist, welche Hubeinrichtung und Aufnahmearm miteinander verbindet.
    11. Bondarm nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass ein Ausgleichsfederelement (20) zur Reduzierung vonAnpressdrücken des Aufnahmearms (1) vorgesehen ist.
    12. Bondarm nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Kraftübertragungseinrichtung für den Aufnahmearm (1) ein zweites Federelement (13) ist.
    13. Bondarm nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Federelement (13) eine Blattfeder ist.
    14.Bondarm nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Federelement (13) wenigstens zwei Federstäbe aufweist.
    15. Bondarm nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zur Kraft- und Schubübertragung von der Hubeinrichtung (11) auf den Aufnahmearm (1) ein ver schwenkbar gelagerter Hebelarm (12) vorgesehen ist, an welchem einerseits die Hubeinrichtung angreift, und der andererseits mit dem Aufnahmearm kraft- und/oder form schlüssig verbunden ist.
    16. Bondarm nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Hebelarm (12) durch das Ausgleichsfederelement (20) mit dem Aufnahmearm (1) verbunden ist.
    17. Bondarm nach Anspruch 15 oder 16 und 6 oder .7,dadurch gekennzeichnet, dass der Hebelarm (12) und der Aufnahme arm (1) jeweils an verschiedenen Lager-Blöcken (7b bzw.
    7a) des Federelements (4) jeweils einzeln verschwenkbar gelagert sind.
    18. Bondarm nach einem der Ansprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass der Aufnahmearm (1) an seinem Lager ende gabelartig gespreizt und mit den äusseren Lager blöcken (7a) des Federelements (4) verbunden ist, und dass der Hebelarm (12) in dem vom Aufnahmearm (1) freige haltenen Mittelabschnitt mit dem mittleren Lagerblock (7b) des Federelements (4) verbunden ist.
    19. Bondarm nach einem der Ansprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnehmer-Halterung (5) einenRotationsantrieb (14) zum Verdrehen des Aufnahmearms (1) um eine senkrecht zur Aufnahmeebene stehende Achse (15) aufweist.
    20. Bondarm nach einem der Ansprüche 11 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Federkraft des Ausgleichsfeder elements (20) zur Einstellung des Auflagedrucks des Auf nahmearms (1) auf das Halbleiterelement bzw. das Träger substrat justierbar ist.
    21. Bondarm nach einem der Ansprüche 10 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass die Hubeinrichtung (11) einen Exzen terantrieb (24) zum Auslenken der Kraftübertragungsein richtung (13) aufweist.
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    1989-02-23| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): JP KR US |
    1989-02-23| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AT BE CH DE FR GB IT LU NL SE |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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