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    公开号:WO1988010405A1
    申请号:PCT/EP1988/000527
    申请日:1988-06-14
    公开日:1988-12-29
    发明作者:Ulrich Breitmeier
    申请人:Ulrich Breitmeier；
    IPC主号:G01B11-00
    专利说明:
    [0001] Optischer Abtastkopf
    [0002] Beschreibung
    [0003] Die Erfindung betrifft einen optischen Abtastkopf gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.
    [0004] Derartige optische Abtastköpfe sind zum Einbau in CD-Ab¬ spielgeräte bestimmt und dienen zum Auslesen der auf der CD (cornpact disk) abgespeicherten optischen Information. Dadurch, daß man die Meßlichtquelle nicht auf der Objektiv¬ achse, vielmehr auf einer hierzu unter rechtem Winkel ste¬ henden Achse anordnet und das Meßlicht über einen Umlenk¬ spiegel von der Meßlichtquelle über das Objektiv auf die abzutastende Fläche abbildet, erhält man besonders niedere Bauhöhe des Abtastkopfes, was ermöglicht, CD-Abspielgeräte mit so geringer Bauhöhe zu realisieren, daß sie den Stan¬ dardmaßen von Autoradios entsprechen.
    [0005] Diese Bauart des Abtastkopfes hat als für den Einsatz bei Kra'ftfahrzeug-CD-Abspielgeräten nicht relevanten weiteren Vorteil, daß der Strahlengang zwischen Meßlichtquelle und Objektiv für Manipulationen zugänglich wird, da der Umlenk- spiegel in eine Öffnung des Gehäuses des Abtastkopfes ein¬ gesetzt ist.
    [0006] Es wurde schon vorgeschlagen (DE-0S 35 36 700), derartige Abtastköpfe von CD-Abspielgeräten auch zur hochauflösenden Ausmessung der Profilierung und der Oberflächeπrauheit von Werkstückoberflächen zu verwenden. Hierbei wäre es zu- weilen vorteilhaft, wenn man den gerade ausgemesseneπ Qber- flächeπabschnitt auch visuell kontrollieren könnte'.
    [0007] Es wurde nun erkannt, daß man durch geringfügige Abänderung des Umlenkspiegels an einem optischen Abtastkopf, wie er in Kraftfahrzeug-CD-Abspielgeräten verwendet wird und im Oberbegriff des Anspruches 1 angegeben ist, zu sehr gerin¬ gen Kosten die zusätzliche Möglichkeit einer direkten Be- obachtung der gerade ausgemessenen Stelle der Werkstück¬ oberfläche schaffen kann.
    [0008] Hierzu. wird erfindungsgemäß vorgeschlagen," einen Umlenk- spiegel zu verwenden, der zwar für das Meßlicht undurchläs¬ sig ist, jedoch für mindestens eine Wellenlänge im sichtba¬ ren Bereich des Spektrums durchlässig ist und nicht nur auf der spiegelnden Vorderseite, sondern auch auf seiner Rück¬ seite optische Qualität aufweist. Man kann dann hinter die- sen Umlεnkspiegel direkt eine Beobachtungseinrichtung stel¬ len. Da oft der Umlenkspiegel schon von Hause aus ein di¬ elektrischer Spiegel ist, also einen für sichtbares Licht durchlässigen Grundkörper (in der Regel aus Glas) aufweist, reicht es in vielen Fällen aus, den schon am für CD-Abtast- gerate bestimmten Abtastkopf befindlichen, leicht zugäng¬ lichen Umlenkspiegel abzunehmen, noch zusätzlich auf seiner Rückseite auf optische Qualität -u polieren und dann wieder einzubauen. Die Beobachtungsoptik kann ein handelsübliches Mikroskop-Okular sein.
    [0009] Die erfindungsgemäße Modifizierung des optischen Abtast¬ kopfes erlaubt somit zu sehr geringen Zusatzkosten eine visuelle Betrachtung der jeweils ausgemessenen Stelle der Werkstückoberfläche. Die zusätzlich vorgesehenen optischen Teile brauchen nicht speziell angefertigt zu werden, sie benötigen auch nicht viel Platz und erhöhen das Gewicht des Abtastkopfes nicht stark.
    [0010] Da die in CD-Abtastköpfen verwendeten Objektive sehr kurze Brennweite haben (in der Praxis 4,5 mm) und auch geringen Durchmesser (in der Praxis 6-8 mm) aufweisen, entsprechen diese Objektive in sehr guter Näherung Mikroskop-Objektiven. Zusammen mit einem handelsüblichen Mikroskop-Okular erhält man somit erfindungsgemäß ein in den Abtastkopf integrier- tes Mikroskop.
    [0011] Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in Unter- ansprüchen angegeben.
    [0012] Mit der Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 2 ist eine visuelle Kontrolle der Meßstelle auch dann einfach möglich, wenn das Umgebungslicht sehr schwach ist und/oder durch den Abtastkopf abgeschattet wird. Abtastkopf und Be¬ leuchtungseinrichtung enthaltende Beobachtungseinrichtung bilden eine kompakte, glattflächige Einheit. Außerdem fällt das Beobachtungslicht exakt auf die Meßstelle auf, sodaß die Beleuchtungseinrichtung nur geringe Leistung zu haben braucht .
    [0013] Die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 3 ist im Hinblick auf nur geringe Bauhöhe auch des modifizierten Abtastkopfes von Vorteil.
    [0014] Mit der Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 4 wird erreicht, daß man die visuelle Beobachtung einer Stelle der Werkstückoberfläche und das Ausmessen dieser Stelle gleichzeitig vornehmen kann, ohne daß das Meßergebnis ver¬ fälscht wird, und zwar auch dann, wenn die fotoelektrische Wandleranordnung an sich für sichtbares Licht empfindlich ist, wie meistens der Fall.
    [0015] Oft müssen Werkstückoberflächen auch an nicht gut zugäng¬ lichen Stellen ausgemessen werden, und hier ermöglicht die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 6 die visuelle Kontrolle mit dem in den Abtastkopf integrierten Mikroskop in für die Bedienungsperson nicht anstrengender Art und Weise. Sehr kompaktbauende Festkörper-Bildwandler mit recht guter Auflösung, sind als Vidikon-Ersatz in Fernsehkameras zu verhältnismäßig geringen Preisen erhältlich. Sie können über die für diese Kameras entwickelte Elektronik einfach an einen Monitor angeschlossen werden.
    [0016] Die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 7 ist im Hinblick auf das einfache Aufrüsten solcher Abtastköpfe von Vorteil, die von Haus aus keine Möglichkeit zur Direkt- Beobachtung der Meßstelle bieten.
    [0017] Auch die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 8 er- möglicht ein bequemes Beobachten der Meßstelle aus Abstand,
    [0018] Mit der Weiterbildung gemäß Anspruch 9 wird erreicht, daß die Beobachtungs-Lichtquelle räumlich vom Abtastkopf ge¬ trennt werden kann, was im Hinblick auf das Fernhalten von W>ärme von Vorteil ist, ohne daß zum Hinführen des Be- σbachtungs-Lichtes zur Meßstelle zusätzliche apparative Vorkehrungen getroffen werden müssen.
    [0019] Nachstehend wird die Erfindung anhand zweier Ausführuπgs- beispiele unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläu¬ tert. In dieser zeigen:
    [0020] Fig. 1: Einen schematischen vertikalen Schnitt durch einen optischen Abtastkopf zum hochauflösenden Ausmessen einer Werkstückoberfläche;
    [0021] Fig. 2: Eine schematische Ansicht eines abgewandelten Okular-Einsatzes mit integriertem Bildwandler sowie eines hieran angeschlossenen Monitors, zur Verwendung mit dem Abtastkopf gemäß Fig. 1; und
    [0022] Fig. 3: Eine ähnliche Schnittansicht wie Figur 1 durch einen abgewandelten Abtstkopf.
    [0023] In Fig. 1 ist ein Abtastkopf insgesamt mit 10 bezeichnet, der zum hochgenauen Ausmessen von Oberflächenrauheiten und Oberflächenstrukturen auf der Oberfläche eines Werk¬ stückes 12 dient.
    [0024] Der Abtastkopf 10 hat ein Gehäuse 14, welches im wesent¬ lichen becherförmig ist. In eine untere Öffnung 16 des Ge¬ häuses 14 ist eine Ringspule 18 fest eingesetzt, welche ein axiales Magnetfeld erzeugt. Die Ringspule 18 arbeitet mit einem ringförmigen Permanentmagneten 20 zusammen, der auf die Außenseite eines Objektivringes 22 aufgeklebt ist. Der Objektivring 22 hält ein Objektiv 24. Die durch den Permanentmagneten 20, den Objektivring 22 und das Objektiv 24 gebildete Einheit durchsetzt unter radialem Spiel die Ringspule 18 und ist von zwei parallel zueinander verlau¬ fenden Blattfedern 26, 28 getragen, deren in Fig. 1 links gelegener Abschnitt brillenförmig ausgebildet ist, so daß das Objektiv 24 frei bleibt, während der rechts gelegene Abschnitt streifenförmig ist und an seinem äußersten Ende durch Schrauben 30 an einem Steg 32 des Gehäuses 14 fest¬ gelegt ist. Die Blattfedern 26, 28 bilden so eine elastische Parallelogramm-Aufhängung für das Objektiv 24.
    [0025] Im in Fig. 1 rechts gelegenen Abschnitt der Umfangswand des Gehäuses 14 ist ein im Roten arbeitender Halbleiter- Laser 34 befestigt. Der von diesem abgegebene Laserstrahl durchsetzt einen halbdurchlässigen Meßspiegel 36 und ge- langt auf einen Umlenkspiegel 38. Dieser besteht aus einem Glas-Grundkörper 40 und einer auf dessen Unterseite aufge¬ brachten dielektrischen Schicht 42, die so gewählt ist, daß der Umlenkspiegel 38 den Laserstrahl reflektiert. Dieser durchquert dann das Objektiv 24 und wird von diesem auf die Oberfläche ' des Werkstückes 12 abgebildet.
    [0026] Das von der Werkstückoberfläche reflektierte Laserlicht wird vom Objektiv 24 gesammelt und gelangt über den Umlenk¬ spiegel 38 wieder zum Meßspiegel 36. Dieser spaltet einen Teil des reflektierten Meßlichtes ab und richtet es auf eine fotoelektrische Wandleranordnung 44, deren Mitte bei 46 angedeutet ist. Die fotoelektrische Wandleranordnung 44 erzeugt ein Ausgangssignal, das von der Lage des auftref¬ fenden Lichtes bezüglich der Mittellinie 46 abhängt. Dieses Ausgangssignal gelangt auf einen Eingangsverstärker 48 einer dem Abtastkopf 10 zugeordneten, insgesamt mit 50 bezeich¬ neten Betriebsschaltung. Die Betriebsschaltung 50 enthält nicht näher gezeigte Schaltkreise, welche die Abweichung des momentan erhaltenen Ausgangssignales der Wandleranordnung 44 von demjenigen
    [0027] 05 Signal ermittelt, welches bei Auftreffen des Meßlichtes auf die Mittellinie 46 erhalten wird. Entsprechend der Dif¬ ferenz dieser beiden Signale erzeugt die Betriebsschaltung 50 ein Fehlersignal für einen Leistuπgsverstärker 52, wel¬ cher die Ringspule 18 speist. Der Speisestrom für die Ring-
    [0028] ITΓ spule 18 wird so lange erhöht oder erniedrigt, bis der Meß- 1' c.htfleck auf der Wandleranordnung 44 wieder auf der Mit¬ tellinie 46 liegt. Dies ist dann der Fall, wenn der Abstand zwischen Objektiv 24 und der ausgeleuchteten Stelle der Oberfläche des Werkstückes 12 exakt der Ob ektiv-Brennweite
    [0029] 15 entspricht.
    [0030] Aus der soweit gegebenen Beschreibung ist ersichtlich, daß das Objektiv 24 beim Bewegen des Abtastkopfes 10 über die Oberfläche des Werkstückes 12 so axial wandert, wie dies
    [0031] 20 dem Oberflächenprofil des Werkstückes 12 entspricht. Durch einen mit dem Objektivring 22 zusammenarbeitenden Stellungs¬ messer oder durch Messen des zum Abgleich erforderlichen Speisestromes für die Ringspule 18 läßt sich somit ein sich mit dem Oberflächenprofil änderndes elektrisches Signal
    [0032] 25 erzeugen. Für die Zwecke der vorliegenden Beschreibung sei angenommen, daß dieses Signal (gegebenenfalls nach Korrek¬ tur für Nichtlinearitäten im durch die Ringspule 18, den Permanentmagneten 20 und die Blattfedern 26, 28 gebildeten Antriebssystem) von der Größe des Ringspulen-Speisestromes
    [0033] 30 abgeleitet ist. Dieses Meßsignal wird auf einer Leitung 54 bereitgestellt.
    [0034] Der soweit beschriebene Abtastkαpf entspricht in seinem Aufbau Abtastköpfen, wie sie in CD-Abspielgeräten für Kraft- 35 fahrzeuge Verwendung finden.
    [0035] Bei dem in Fig. 1 gezeigten Abtastkopf ist aber zusätzlich noch eine Einrichtung zur visuellen Betrachtung der ausge¬ messenen Stelle der Werkstückoberfläche vorgesehen. Hierzu ist die Rückseite des Glas-Grundkörpers 40 auf optische Qualität poliert. Dies kann einfach dadurch erfolgen, daß man den beim handelsüblichen CD-Abtastkopf vorhandenen Um¬ lenkspiegel aus dem Gehäuse 14 herausnimmt und auf seiner Rückseite noch auf optische Qualität poliert, wonach der Umlenkspiegel 38 dann wieder ins Gehäuse 14 eingesetzt wird
    [0036] Die insgesamt durch 56 bezeichnete Beobachtungseinrichtung hat ein Gehäuse 58, welches einen Tubus 60 und eine Lampen¬ kammer 62 vorgibt. In der Lampenkammer 62 ist eine Halogen¬ lampe 64 angeordnet, deren Wendel über eine Linse 66 auf das Ende eines abgewinkelten Lichtleiters 68 abgebildet wird. Dieser durchsetzt den Tubus 60 und liegt mit seinem vertikal nach unten verlaufenden Lichtleiterabschnitt auf der Achse des Objektives, damit auch auf der Achse des Tu¬ bus 60.
    [0037] In den Tubus 60 ist eine Tubuslinse 70 eingesetzt, die eine Kunststofflinse sein kann. Um eine möglichst geringe Bau¬ höhe der Gesamtordnung zu erhalten, kann man die Tubuslinse 70 in der Mitte durchbohren und das untere Ende des Licht¬ leiters 68 hindurchführen, wie in der Zeichnung wiederge- geben. In das obere Ende des Tubus 60 ist eine Okularlinse 72 eingesetzt.
    [0038] Das von der Halogenlampe 64 abgegebene Licht gelangt über den Lichtleiter 68, durch den Umlenkspiegel 38 und über das Objektiv 24 auf die Werkstückoberfläche, wird dort ab¬ gebildet. Das von der Werkstückoberfläche reflektierte Beo¬ bachtungslicht durchquert zum Teil wieder den Umlenkspiegel 38 und gelangt durch die Tubuslinse 70 und die Okularlinse 72 ins Auge eines Beobachters. Für diesen bilden das Objek- tiv 24, die Tubuslinse 70 und die Okularlinse 72 ein Mikro¬ skop, durch welches Einzelheiten der Werkstückoberfläche vergrößert betrachtet werden können. Die so beobachtete Stelle der Werkstückoberfläche ist exakt diejenige, die auch unter Verwendung des Laserlichtes ausgemessen wird.
    [0039] Ein Teil des von der Werkstückoberfläche reflektierten Beo- 05 bachtungslichtes gelangt über den Umlenkspiegel 38 und den Meßspiegel 36 auch auf die Wandleranordnung 44. Dieses Licht könnte die Nachführung des Objektives 24 und damit das Aus¬ messen der Werkstückoberfläche stören, wenn die visuelle Beobachtung und das Ausmessen gleichzeitig erfolgen. Um l'CT dies zu verhindern wird der Halbleiter-Laser 34 von einer zrugeordneten Speiseschaltung 74 der Betriebsschaltung 50 impulsförmig erregt, und der Eingangsverstärker 48 ist als phasenempfindlicher Gleichrichter ausgebildet, so daß nicht modulierte Lichtanteile, die ebenfalls auf die Wandleran-. 15 Ordnung 44 fallen, die Nachregelung der Objektivstellung nicht beeinträchtigen.
    [0040] Fig. 2 zeigt ein Okularstück 76, welches anstelle der Oku¬ larlinse 72 in das obere Ende des Tubus 60 eingesetzt wer-
    [0041] 20 den kann. Das Okularstück 76 enthält in solcher axialer Lage einen Festkörper-Bildwandler 78, wie er in Fernseh¬ kameras Verwendung findet, daß das von der Tubuslinse 70 erzeugte reelle Bild der Werkstückoberfläche auf der licht¬ empfindlichen Fläche des Bildwandlers 78 liegt« Der Bild-
    [0042] 25 wandler 78 ist über eine Kameraelektronik 80, die der han¬ delsüblichen Elektronik tragbarer Fernsehkameras vollstän¬ dig entsprechen kann, mit einem Monitor 82 verbunden. Auf diesem kann somit das Mikroskopbild des gerade ausgemesse¬ nen Bereiches der Werkstückoberfläche gleichzeitig mit dem
    [0043] 30 Ausmessen der Werkstückoberfläche beobachtet werden. Diese Beobachtung ist somit bequem möglich, ohne daß die Gefahr besteht, daß der Beobachter beim Hineinblicken in das Oku- lar den Abtastkopf 10 unbeabsichtigt berührt und so den sehr präzise vorgegebenen Weg mechanisch beeinflußt, längs
    [0044] J5 dessen der Abtastkopf 10 über die Werkstückoberfläche ge¬ zogen wird. Außerdem ist auf diese Weise auch ein bequemes visuelles Kontrollieren der Werkstückoberfläche dann mög- lieh, wenn der Abtastkopf an schlecht zugänglichen Stellen arbeitet, z. B. Zylinderlaufflächen ausmißt oder derglei¬ chen.
    [0045] Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 3 sind Teile, die oben¬ stehend schon erläutert wurden, wieder mit denselben Bezugs¬ zeichen versehen; auf sie wird nachstehend nicht mehr im einzelnen eingegangen.
    [0046] Das Gehäuse 58 ist vom Gehäuse 14 getrennt, und an seiner
    [0047] Stelle ist eine Adapterplatte 84 angeschraubt, welche einen Tubus 86 vorgibt. In letzterem ist mittels einer elastischen Klemmhülse 88 das eine Ende eines flexiblen kohärenten Fa¬ serkabels 90 festgelegt. Dieses umfaßt eine Vielzahl geord- net gebündelter Glas- oder Kunststoffasern und kann so ein Bild übertragen. Das andere Ende der Faserkabels 90 ist durch eine elastische Klemmhülse 92 im unteren Ende des Tubus 60 des Gehäuses 58 festgelegt.
    [0048] In den Tubus 60 ist ferner ein für das Beobachtungslicht halbdurchlässiger Spiegel 94 eingesetzt, der das von der Halogenlampe 64 erzeugte und von der Linse 66 nun in ein Parallellstrahlenbündel umgesetzte Beobachtungslicht in das Faserkabel 90 umlenkt und das von der Werkstückober- fläche zurückgeworfene Licht zur Okularlinse 72 weiterlaufen lässt.
    权利要求:
    ClaimsPatentansprüche
    1. Optischer Abtastkopf mit einer Meßlichtquelle, Vorzugs- weise einem Festkörperlaser, mit einem Objektiv zum
    Abbilden der Meßlichtquelle auf eine Werkstückoberfläche, dessen Achse zur Lichtquellenachse geneigt verläuft, diese vorzugsweise unter rechtem Winkel schneidet, mit einem für das Meßlicht undurchlässigen Umlenkspiegel, der beim Schnittpunkt von Objektivachse und Lichtquellenachse ange¬ ordnet ist, mit einem für das Meßlicht halbdurchlässigen Meßspiegel, der zwischen der Meßlichtquelle und dem Objek¬ tiv, vorzugsweise zwischen der Meßlichtquelle und dem Um¬ lenkspiegel angeordnet ist, mit einer fotoelektrischen Wandleranordnung, die mit dem vom Meßspiegel abgelenkten von der Werkstückoberfläche zurücklaufenden Meßlicht beauf¬ schlagt ist und ein vom Auftreffpunkt dieses Meßlichtes abhängiges Ausgangsssignal erzeugt, mit einer Stelleinrich¬ tung zum axialen Bewegen des Objektives, mit einer St'euer- schaltung, durch welche die Stelleinrichtung in Abhängig¬ keit vom Ausgangssignal der Wandleranordnung derart betä¬ tigt wird, daß das Ausgangssignal der Wandleranordnung einen vorgegebenen Wert annimmt, und mit Mitteln zum Erzeu¬ gen eines der Objektivstellung entsprechenden Meßsignales, dadurch gekennzeichnet, daß der Umlenkspiegel (38) für min¬ destens eine nicht im Meßlichtspektrum enthaltene Licht¬ wellenlänge durchlässig ist und auch auf seiner Rückseite optische Qualität aufweist und daß ei,ne Beobachtungsoptik (70, 72) hinter dem Umleπkspiegel (38) angeordnet ist.
    2. Abtastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Beleuchtungseinrichtung (64-78) Beobachtungs- licht mit mindestens einer nicht im Meßlichtspektrum ent¬ haltenen Wellenlänge auf der Achse des Objektives (24) be- reitstellt.
    3. Abtastkopf nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungseinrichtuπg eine seitlich neben der Objektivachse angeordnete Beleuchtungslichtquelle (64) sowie Mittel (68) zum Umlenken des Beobachtungslichtes auf die Objektivachse, insbesondere einen gebogenen Licht- Q5 leiter (68), aufweist.
    4. Abtastkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßlichtquelle (34) modulier¬ tes Meßlicht erzeugt und das Ausgangssignal der Wandler- 0 anordnung (44) durch einen phasenempfindlichen Gleichrich¬ ter (48) verarbeitet wird.
    5. Abtastkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Beobachtungsoptik eine Tubus- 5 linse (70) sowie' eine Okularlinse (72) aufweist.
    6. Abtastkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Beobachtungsoptik eine Tubus¬ linse (70) sowie einen Festkörper-Bildwandler (78) auf- 0 weist.
    7. Abtastkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Beobachtungseinrichtung (70,
    72, 78) und gegebenenfalls die Beleuchtungseinrichtung 5 (64-78) in einem an das Gehäuse (14) des Abtastkopfes an¬ gebauten Zusatzgehäuse (58) untergebracht sind.
    8. Abtastkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Beαbachtungseinrichtung ein 0 kohärentes Faserkabel (90) aufweist.
    9. Abtastkopf nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch Mit¬ tel (94) zum Einführen von Beobachtungslich (64) in das Faserkabel (90).
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    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    1988-12-29| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): JP US |
    1988-12-29| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AT BE CH DE FR GB IT LU NL SE |
    1989-01-03| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 1988905756 Country of ref document: EP |
    1989-06-07| WWP| Wipo information: published in national office|Ref document number: 1988905756 Country of ref document: EP |
    1991-10-16| WWG| Wipo information: grant in national office|Ref document number: 1988905756 Country of ref document: EP |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    DEP3720079.8||1987-06-16||
    DE3720079A|DE3720079C2|1987-06-16|1987-06-16||DE8888905756A| DE3865641D1|1987-06-16|1988-06-14|Optischer abtastkopf.|
    EP88905756A| EP0318566B2|1987-06-16|1988-06-14|Optischer abtastkopf|
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