![]() Process for determining the electrical duration of signal sections
专利摘要:
公开号:WO1988009510A1 申请号:PCT/DE1988/000271 申请日:1988-05-05 公开日:1988-12-01 发明作者:Klaus Welzhofer;Antun Vuksic 申请人:Siemens Aktiengesellschaft; IPC主号:G01R29-00
专利说明:
[0001] Verfahren zur Feststellung der elektrischen Laufzelt von Signalstrecken [0002] Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Feststellung der elektrischen Laufzeit von Signalstrecken, die j eweils am einen Ende an einer Anschlußstelle, z.B. für einen integrierten Baustein, angeschlossen sind und die am anderen Ende jeweils einen Sender und einen Empfänger aufweisen. [0003] Prüfautomaten dienen dazu, z.B. integrierte Schaltungen auf ihre Fehlerfreiheit zu überprüfen. Dazu weist der Prüfautomat Anschlußstellen, z.B. Kontaktelemente, auf, in die der zu prüfende Schaltkreis, Prüfling genannt, hingesteckt wird. Anschließend werden dem Prüfling Prüfsignale vom Prüfautomaten zugeführt und die daraufhin vom Prüfling abgegebenen Antwortsignale abgenommen und mit Sollsignalen verglichen. Die Übertragung der Prüfsignale und der Antwortsignale erfolgt über Signalstrecken, wobei jeweils eine Signalstrecke einer Anschlußstelle des Prüflings zugeordnet ist. Jede Signalstrecke weist einen Sender zur Erzeugung von Prüfsignalen bzw. einen Empfänger zur Auswertung der Antwortsignale auf. Je nachdem, ob der Anschluß des Prüflings an einer Signalstrecke ein Ausgang oder ein Eingang ist, wird jede Signalstrecke in der einen oder anderen Richtung betrieben. [0004] Bei Prüfautomaten für integrierte Schaltungen müssen an der Anschlußstelle für den Prüfling, auch Prüflingsnahtstelle genannt, im Idealfall sämtliche Signalwege die gleiche elektrische Länge aufweisen, d.h. die bei der Prüfung beteiligten Signalstrecken für den Ansteuerfall oder Sendefall (die Anschlüsse des Prüflings sind Eingänge) mit Formatierlogik, Treiber usw. oder Empfangsfall (die Anschlüsse des Prüflings sind Ausgänge) mit Kabel, Komparator, Fehlerlogik usw. sollten II 1 The - 14.5.87 jeweils dieselbe elektrische Laufzeit aufweisen, bzw. unter differenten Lastbedingungen die hierbei auftretende Verfälschung der Treiberimpulsflanken und deren Durchgang durch die Schaltkreisschaltschwelle des Prüflings berücksichtigen. Da die einzelnen Signalstrecken jedoch unterschiedliche Laufzeit haben, müssen die über die Signalstrecken übertragenen Signale korrigiert werden. Diesen Vorgang nennt man "Deskewing". Die Korrektur kann über aufwendige externe Meßmethoden durchgeführt werden. Zum Beispiel kann man der Prüflingsnahtstelle Impulse über eine integrierte Relaisschaltmatrix in Verbindung mit Spezialtreibern und Komparatorschaltungen einspeisen oder abnehmen und darüber die Laufzeit der einzelnen Signalstrecke feststellen. Dieses Verfahren ist jedoch aufwendig und berücksichtigt nicht, daß auch die zusätzlich eingefügten Schaltkreise eine Laufzeit haben. [0005] Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht darin, ein Verfahren anzugeben, bei der ohne große zusätzlichen Aufwand im Sendefall ein Korrekturwert zur Korrektur der unterschiedlichen Laufzeiten von Signalstrecken gewonnen werden kann. Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 durch die Merkmale des Kennzeichens des Patentanspruchs 1 gelost. [0006] Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen. [0007] Der Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens liegt darin, daß allerhöchstens als zusätzliches Element eine Kurzschlußbrücke erforderlich ist, mit deren Hilfe die Laufzeit der Signalstrecke im Empfangsfall festgestellt werden kann. Ist die Laufzeit im Empfangsfall bekannt, dann sind keine zusätzlichen Elemente erforderlich, es genügen die im Prüfauto mat bereits vorhandenen Einheiten. Ein weiterer Vorteil liegt darin, daß automatisch berücksichtigt wird, wenn am Prüflingseingang eine größere kapazitive Last vorliegt, da der reflektierte Impuls die am Prüflingseingang tatsächlich vorhandene Impulsqualität (Flankenform) darstellt. Mit Hilfe des Verfahrens wird somit die Laufzeit der elektrischen Signalstrecke so erfaßt, wie sie tatsächlich unter Last besteht. [0008] Anhand eines Ausführungsbeispiels, das in den Figuren dargestellt ist, wird die Erfindung weiter erläutert. Es zeigen Fig. 1 ein Modell, bei dem ein Prüfling zwischen zwei Signalstrecken angeordnet ist, Fig. 2 ein Impulsdiagramm, bei dem Spannungen über der Zeit t aufgetragen sind, und das die Impulsverhältnisse auf den Signalstrecken zeigt, Fig. 3 eine Mehrzahl von Signalstrecken, die zur Bestimmung der [0009] Laufzeiten im Empfangsfall kurz geschlossen sind, Fig. 4 ein Impulsdiagramm, bei dem Spannungen über der Zeit t aufgetragen sind, und das die Impulsverhältnisse auf den Signalstrecken der Fig. 3 zeigt. [0010] Nach dem Modell der Fig. 1 besteht eine Signalstrecke SS aus einem Sender S, einem Empfänger E und einer Leitung L. Am einen Ende, der Leitung L ist der Sender S und der Empfänger E angeschlossen. Am anderen Ende der Leitung L ist eine Anschlußstelle AS für einen Prüfling DUT vorgesehen. Im Sendefall ist der Sender S eingeschaltet und der Empfänger gesperrt, im Empfangsfall sind die Verhältnisse gerade umgekehrt. [0011] In Fig. 1 sind auch die Laufzeiten der einzelnen Bauelemente eingezeichnet. Die Laufzeit des Senders, z.B. des Senders S1 ist TS1, die Laufzeit der Leitung L1 TL1 und die Laufzeit des Empfängers E1 TE1. Entsprechendes gilt für die Signalstrecke SS2. Wenn die Signalstrecke SS1 im Sendefall arbeitet und die Signalstrecke SS2 im Empfangsfall, dann muß ein Signal, z.B. ein Prüfsignal, über den Sender S1 in der Laufzeit TS1, die Leitung L1 mit der Laufzeit TL1 zur Anschlußstelle AS1, von dort über den Prüfling DUT mit der Laufzeit TX zur Anschlußstelle AS2 und von dort über die Leitung L2 mit der Laufzeit TL2 und den Empfänger E2 mit der Laufzeit TE2 übertragen werden. Um nun den genauen Zeitpunkt des Eintreffens eines Prüfsignals an der Anschlußstelle AS1 am Prüflingseingang feststellen zu können, müssen die Laufzeiten TS1 und TL1 bekannt sein oder feststellbar sein. Sind weiterhin die Laufzeiten TL2 und TE2 bzw. TS2 feststellbar, dann kann auch die Laufzeit TX des Prüflings DUT bestimmt werden. [0012] Aus Fig. 2 kann entnommen werden, wie die. Laufzeit im Sendefall, z.B. über die Signalstrecke SS1 festgestellt werden kann. Es wird ein Sendeimpuls vom Sender S1 erzeugt, der an der Stelle A1 die Form gemäß der Zeile 1 der Fig. 2 hat. Dieser Impuls gelangt über einen Widerstand R zur Stelle B1 der Signalstrecke. Da an dieser Stelle eine Spannungsteilung durchgeführt wird, hat dann der Impuls die Form, die in der Zeile 2 der Fig. 2 dargestellt ist. Im Ausführungsbeispiel ist dabei die Amplitude des Impulses halbiert worden. Der Impuls läuft nun von dem Punkt B1 über die Leitung L1 zum Punkt C1 der Signalstrecke. Er trifft um die Laufzeit TL1 verzögert ein. Der Impulszug an der Stelle C1 der Signalstrecke ist in der Zeile 3 der Fig. 2 dargestellt. An diese Stelle, nämlich am Prüflingseingang, wird der Impuls reflektiert und läuft über die Leitung L1 zurück zur Stelle B1 der Signalstrecke SS1. Dementsprechend überlagert sich ein reflektierter Impuls von C1 und der an B1 bereits anliegende Impuls zu einem Impuls, wie er in der zweiten Zeile der Fig. 2 gezeigt ist. Dabei trifft der reflektierte Impuls an der Stelle Bl um die Laufzeit TL1 der Leitung L1 verzögert ein. Die Laufzeit TL1 kann nun da durch bestimmt werden, daß über den Empfänger E1 festgestellt wird, wann der Sendeimpuls an der Stelle B1 z.B. 50% seiner Amplitude überschreitet und anschließend, wann der reflektierte Impuls an der Stelle Bl 50% seiner Amplitude, überschreitet. Diese Messung ergibt am Ausgang K1 des Emfpängers E1 einen Impuls der Form, wie er in Zeile 7 der Fig. 2 dargestellt ist. Mit Hilfe eines Abtasttaktes TL (Zeile 6 der Fig. 2) können diese beiden Zeitpunkte genau festgestellt werden. Es ergeben sich in der Fig. 2 die zwei Meßwerte 3 und 7, die voneinander subtrahiert werden. Der Wert für TL ergibt sich durch Halbierung der Differenz. Der erste Meßwert ist in der Fig. 2 mit K1 (25%), zweite Meßwert mit K1 (75%) bezeichnet. Dies deswegen, da der erste Meßwert erzeugt wird, wenn der Impuls am Punkt B1 25% der Gesamtamplitude überschreitet, der zweite Meßwert, wenn der Impuls 75% seiner Gesamtamplitude überschreitet. [0013] Wenn die Laufzeit im Empfangsfall der Signalstrecke SS1 bekannt ist, bestehend aus TL1 und TE1, dann kann der Zeitpunkt des Eintreffens eines Signals am Punkt Cl dadurch festgestellt werden, daß der zweite Meßwert Kl (75%) festgestellt wird und davon die Summe TL1 + TE1 abgezogen wird. Dies ist in Zeile 7 der Fig. 2 angedeutet. [0014] Der Sendeimpuls, der den Prüfling DUT zugeführt worden ist, läuft durch den Prüfling hindurch und gelangt zum Ausgang C2 des Prüflings DUT. Von dort wird er über die Leitung L2 mit der Laufzeit TL2 zum Empfänger E2 übertragen und erscheint am Ausgang des Empfängers E2 nach der Laufzeit TE2. Das Signal, das am Ausgang des Empfängers E2 auftritt, ist mit K2 bezeichnet und in Zeile 8 der Fig. 2 dargestellt. Ebenso sind die Signale am Punkt C2 (Zeile 4) und am Punkt B2 (Zeile 5) gezeigt. Der Impuls tritt dabei um die Laufzeit TX verzögert an der Stelle C2 am Ausgang des Prüflings DUT auf, um die Laufzeit TL2 weiterhin verzögert am Punkt B2 und die Laufzeit TE2 verzögert am Ausgang des Empfängers E an der Stelle K2 auf. Wenn nun die Laufzeit der Signalstrecke SS2 im Empfangsfall bestehend aus TL2 + TE2 bekannt ist, kann ohne Schwierigkeit die Laufzeit TX durch den Prüfling DUT berechnet werden. Der Zeitpunkt des Auftretens des Impulses an K2 wird wiederum mit Hilfe eines Abtasttaktes CL festgestellt, die Laufzeit TL2 + TE2 ist bekannt und somit ergibt sich der Zeitpunkt des Auftretens des. Impulses am Punkt C2 aus der Differenz des dritten Meßwertes (Auftreten des Impulses an K2) minus der Summe aus der Laufzeit TL2 + TE2. Die Laufzeit TX ist dann die Differenz der Werte an C2 und C1, also wird bestimmt durch die Formel: TX = K1 (75%) - (TL1 + TE1) - K2 - (TL2 + TE2). Diese Werte können alle mit Hilfe des Abtasttaktes CL bestimmt werden und haben dann einen ganz bestimmten Wert an Abtasttakten, Die wirkliche Laufzeit kann dann durch Mulitplikation der Abtasttakte und der Zeit At (z.B. Ins), die zwischen zwei Abtasttakten verstreicht, berechnet werden. [0015] Die Laufzeiten der Signalstrecken SS im Empfangsfall kann ebenfalls mit Hilfe der Signalstrecken selbst festgestellt werden. Dies soll anhand der Fig. 3 und 4 erläutert werden. In Fig. 3 ergeben sich z.B. acht Signalstrecken SS, die jeweils entsprechend der Fig. 1 aufgebaut sind. In Wirklichkeit sind es bei einem Prüfautomaten sehr viel mehr Signalstrecken, z.B. 1024 Signalstrecken. Zur Feststellung der Laufzeiten im Empfangsfall werden nun die Anschlußstellen AS mit Hilfe einer Kurzschlußbrücke KB kurzgeschlossen. Dann werden alle Sender S bis auf den. Sender der zu messenden Signalstrecke eingeschaltet, alle Empfänger E bis auf den Empfänger der zu messenden Signalstrecke ausgeschaltet. Soll z.B. die Signalstrecke SS1 überprüft werden, dann wird der Sender S1 dieser Signalstrecke abgeschaltet, der Empfänger E1 dieser Signalstrecke eingeschal tet. Die eingeschalteten Sender S der nicht zu messenden Signalstrecken werden gleichzeitig aktiviert und geben am Ausgang A ein Signal ab. Da die einzelnen Sender S bereits unterschiedliche Laufzeit haben können, erscheinen die Impulse am Ausgang der aktiven Sender S zu verschiedenen Zeitpunkten. Dies ist in der Zeile Z1 der Fig. 4 angedeutet, z.B. sei die erste Impulsflanke die Impulsflanke, die am Ausgang A2 der Signalstrecke SS2 erscheint. Die letzte Impulsflanke der Zeile Z1 sei die Impulsflanke, die am Ausgang A8 der Signalstrecke SS8 erscheint. Das Impulsdiagramm der ersten Zeile ist eine Überlagerung der an den Stellen A der Signalstrecken auftretenden Impulse in ihrer zeitlichen Beziehung zueinander. [0016] An der Stelle B der Signalstrecken SS treten dann die in der zweiten Zeile der Z2 Fig. 4 gezeigten Impulsflanken auf. Im Ausführungsbeispiel besteht an der Stelle B ein Spannungsteiler, der die Amplitude des Impulses an der Stelle A halbiert. Wiederum ist der erste Impuls der Impuls an der Stelle B2 der Signalstrecke SS2, der letzte Impuls der Impuls an der Stelle B8 der achten Signalstrecke SS8. Die einzelnen Impulse der verschiedenen Signalstrecken sind wiederum in der zweiten Zeile Z2 Fig. 4 überlagert dargestellt. [0017] Die Impulsflanke an der Stelle B wird nun über die Leitungen L zum Punkt D der Anschlußstelle AS übertragen. Nach einer durch die Leitung L festgelegten Laufzeit erscheint die Impulsflanke am Punkt D, wie es in der Fig. 4, Zeile Z3 gezeigt ist. Da die Anschlußstellen AS mit der Kurzschlußbrücke KB kurzgeschlossen sind, überlagern sich die über die Leitungen L übertragenen Impulse zu einem Zentralimpuls Z1, der aus den über die Signalstrecke SS übertragenen Impulsflanken und an der Stelle D reflektierten Impulsflanken aufgebaut ist. Die Form dieses Zentralsimpulses Z1 ändert sich kaum, wenn andere Signalstrecken gemessen werden, da durch die Vielzahl von Signalstrecken, über die Impulse gesendet werden, Unterschiede in der Laufzeit der einzelnen Signalstrecksn ausgeglichen werden. [0018] Der Zentralimuls Z1 an der Stelle D läuft über die. Leitung L1 der Signalstrecke SS1 weiter und gelangt zum Punkt B1 der Signalstrecke SS1 nach Verstreichen der Laufzeit TL1 der Leitung L1. Dies ergibt sich aus Zeile Z4 der Fig. 4. Damit gelangt die Impulsflanke des Zentralimpulses auch zum Empfänger E1. Wenn die Amplitude des Zentralimpulses an dieser Stelle die Referenzspannung UR überschreitet, dann kann der Empfänger E1 ein Signal abgeben. Der Zeitpunkt des Auftretens dieses Signals wird mit Hilfe des Abtasttaktes CL festgestellt. Das heißt am Ausgang des Empfängers E1 erscheint dann ein Signal entsprechend der sechsten Zeile Z6 der Fig. 4, wenn der Zentralimpuls die Referenzspannung UR überschreitet und gleichzeitig ein Abtasttakt CL anliegt. Dies ist im Ausführungsbeispiel der Fig. 4 der Abtasttakt 4. Dieser Wert wird in einer Tabelle gespeichert und ist ein Maß für die Laufzeit eines Impulses von der Stelle D zum Ausgang des Empfängers E1, also entspricht der Laufzeit im Empfangsfall. [0019] Das eben beschriebene Verfahren wird für alle Signalstrecken SS wiederholt, wobei immer die Sender der nicht zu messenden Signalstrecken gleichzeitig aktiv geschaltet werden und nur der Empfänger der zu messenden Signalstrecke eingeschaltet ist. Wenn der Abtasttakt CL im Vergleich zum Zeitpunkt des Aktivschaltens der Sender S immer zum gleichen Zeitpunkt gestartet wird, dann kann für jede Signalstrecke die Anzahl der Abtasttakte bei Auftreten der Impulsflanke des Zentralimpulses am Empfänger der zu messenden Signalstrecke festgestellt werden. Auf diese Weise gewinnt man Relativwerte für die verschiedenen Laufzeiten der Signalstrecken, die ein Kennzeichen für die unterschiedlichen Laufzeiten der Signalstrecken sind. Werden diese Meßwerte noch normiert, z.B. auf den kleinsten Meßwert, dann können die über die Signalstrecken im Empfangsfall übertragenen Signale mit Hilfe dieses normierten Wertes jeder Signalstrecke korrigiert werden. [0020] Wesentlich für das Verfahren ist, daß die Sender gleichzeitig aktiviert werden und daß die Abtasttakte für alle Signalstrecken gleichzeitig eingeschaltet werden. Auf diese Weise erhält man für jede Signalstrecke relativ zur Zentralimpulsflanke einen individuellen Meßw.ert, der in der Tabelle hinterlegt ist. [0021] Die beim Verfahren mitverwendeten Schaltungsanordnungen, z.B. zur Erzeugung von Abtasttakten sind in Prüfautomaten in der Regel vorhanden und werden darum nicht erläutert. [0022] Das Verfahren zur Feststellung der Laufzeit im Sendefall unter Verwendung der Laufzeitwerte, die für den Empfangsfall gelten, ist sehr genau. Bei diesem Verfahren wird auch die Impulsflankenverflachung berücksichtigt, die bei entsprechender kapazitiver Last am Prüflingseingang bewirkt wird. Diese kapazitive Last wirkt sich in einer Impulsflankenverflachung aus, die als reflektierte Impulsflanke wieder zum Empfänger übertragen wird und entsprechend später zu dem Signal K1 (75%) führt. Da sämtliche Meßwerte auf einen Abtasttakt CL und auf dessen DelayAuflösung bezogen sind, wird die Kalibrierung um so genauer, je linearer der Abtasttakt und je feinstufiger seine Delayauflösung ist.
权利要求:
ClaimsPatentansprüche 1. Verfahren zur Feststellung der elektrischen Laufzeit von Signalstrecken, die jeweils am einen Ende einen Sender und einen Empfänger. aufweisen und am anderen Ende an einer Anschußstelle angeschlossen sind, an die ein Eingang z.B. eines zu prüfenden Schaltkreises angeschlossen ist, g e k e n n z e i c h n e t durch folgende Schritte: a) der Sender (S1) der Signalstrecke (SS1) erzeugt einen Sendeimpuls, der über die Signalstrecke zur Anschlußstelle (AS) übertragen wird, b) als ersten Meßwert wird unter Verwendung des Empfängers (El) der Zeitpunkt festgestellt, an dem der Sendeimpuls 50% seiner Sendeimpulsamplitude überschreitet, c) als zweiter Meßwert wird unter Verwendung des Empfängers (El) der Zeitpunkt festgestellt, an dem ein an der Anschlußstelle (AS) aufgrund des Sendeimpulses reflektierter Impuls 50% seiner Amplitude überschreitet, d) der Zeitpunkt des Eintreffens des Sendeimpulses an der Anschlußstelle (AS) und damit die Laufzeit im Sendefall wird bestimmt durch die Subtraktion des ersten vom zweiten Meßwert. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß der Zeitpunkt des Eintreffens des Signals an der Anschlußstelle (AS) durch die Differenz des zweiten Meßwertes (K1 75%) und der Laufzeit zwischen Anschlußstelle (AS) und Ausgang des Empfängers (E1) festgestellt wird. 3. Verfahren zur Bestimmung der elektrischen Laufzeit eines Signals durch einen an der Anschlußstelle angeschlossenen Prüfling, der an eine zweite Signalstrecke angeschlossen ist, unter Verwendung des Verfahrens nach Anspruch 2, g e k e n n z e i c h n e t durch folgende Schritte: e) der aufgrund des Sendeimpulses am Ausgang des Prüflings ausgeloste Ausgangsimpuls wird über die zweite Signalstrecke (SS2) zum Empfänger (E2) übertragen und veranlaßt den Empfänger zur Abgabe eines Signals (K2), f) der Zeitpunkt des Auftretens dieses Signals wird zur Festlegung eines dritten Meßwertes bestimmt, g) die elektrische Laufzeit des Prüflings ergibt sich aus der Differenz des dritten Meßwertes unter Berücksichtigung der Laufzeit der zweiten Signalstrecke (SS2) zwischen Anschlußstelle (AS2) und Ausgang des Empfängers (E2) und des zweiten Meßwertes unter .Berücksichtigung der Laufzeit der ersten Signalstrecke (SS1) zwischen Anschlußstelle (AS1) und Ausgang des Empfängers (E1). 4. Verfahren nach Anspruch 3, bei dem eine Mehrzahl von Signalstrecken (SS) verwendet werden, g e k e n n z e i c h n e t durch folgende Schritte: - die Anschlußstellen (AS) aller Signalstrecken (SS) werden kurzgeschlossen, - alle Empfänger (E) bis auf den Empfänger der zu messenden Signalstrecke werden abgeschaltet, - alle Sender (S) bis auf den Sender der zu messenden Signalstrecke werden eingeschaltet und geben gleichzeitig jeweils einen Sendeimpuls ab, der zur zugehδrigen Anschlußstelle übertragen wird, -an den kurzgeschlossenen Anschlußstellen (AS) überlagern sich die Sendeimpulse zu einem Zentralimpuls (Z1), der über die zu messende Signalstrecke zu dem zugehörigen Empfänger übertragen wird, - der Zeitpunkt des Auftretens eines vom Zentralimpuls ausgelösten Impulses am Ausgang des Empfängers der zu messenden Sighalstrecke wird festgestellt und als die Laufzeit kennzeichnender Wert in einer Tabelle eingetragen, - die obigen Schritte werden für alle Signalstrecken durchgeführtt 5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die in der Tabelle gespeicherten Meßwerte normiert werden, wobei die Werte auf den kleinsten Wert bezogen werden. 6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch g ek en n z e i c h n e t , daß der Zeitpunkt des Auftretens von Impulses am Empfänger mit Hilfe von Abtasttakten (CL) festgestellt wird, die zu einem festgelegten Zeitpunkt im Vergleich zum Auslösen der Sendeimpulse gestartet werden und deren Anzahl bis zur Beeinflussung des Empfängers durch den Impuls gezählt werden. 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch g ek e n n z e i c h n e t , daß der Empfänger (E) ein Komparator ist, der den Ausgangsimpuls dann abgibt, wenn der durch den Zentralimpuls ausgelδste Impuls einen Referenzwert (UR) überschreitet und ein Abtasttakt (CL) anliegt. 8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch g e k e n n z e i c h n et , daß die Signalstrecken (SS) den Empfangssignalweg oder Sendesignalweg von/ zum Prüfstift eines Prüfautomaten bilden.
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同族专利:
公开号 | 公开日 DE3718114A1|1988-12-08|
引用文献:
公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
法律状态:
1988-12-01| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): JP US | 1988-12-01| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AT BE CH DE FR GB IT LU NL SE |
优先权:
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