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    • 专利摘要:

    公开号:WO1988008356A1
    申请号:PCT/DE1988/000251
    申请日:1988-04-27
    公开日:1988-11-03
    发明作者:Helmut Freller；Hans Peter Lorenz；Friedrich Hörauf；Peter Schack
    申请人:Siemens Aktiengesellschaft；
    IPC主号:C23C28-00
    专利说明:
    [0001] Lotabweisende Beschichtung für Werkzeuge
    [0002] Die Erfindung bezieht sich auf eine lotabweisende Beschichtung für Werkzeuge, insbesondere für Greif-, Einsetz- und/oder Biegewerkzeuge bei Bestückautomaten für elektrische Bauelement welche als Schichtbasis wenigstens eine Nitrid-Schicht auf- weist.
    [0003] Beim automatischen Bestücken von Leiterplatten mit radialen, axialen Bauelementen oder auch DIP-Bauelementen werden die ver zinnten Anschlußdrähte bzw. Anschlußfahnen nach dem Einstecken der Bauelemente in die Bestückposition gebogen. Dabei treten a den Greif-, Einsetz- und/oder Biegewerkzeugen Lotanlagerungen auf, die den Betrieb der Bestückautomaten beeinträchtigen und z.u Störungen im Fertigungsablauf führen können. Je nach Art de Bauelemente und des für die Verzinnung der Anschlüsse verwen- deten Lotes werden erfahrungsgemäß Bestückungsstörungen bereit nach 1 x 10 bis 5 x 10 Bauelementen festgestellt.
    [0004] Bisher werden bei Bestuckungsstörungen die Werkzeuge vom ange¬ lagerten Lot befreit, was durch Auskratzen oder auch Nacharbei der Bestückwerkzeuge erfolgen muß. Mit einer derartigen Instan haltung und der damit verbundenen Stillstandszeit des Bestück¬ automaten ist ein nicht unerheblicher betriebswirtschaftlicher Aufwand verbunden.
    [0005] Aufgabe der Erfindung ist es daher, durch eine lotabweisende Beschichtuπg die Werkzeuge so zu verbessern, daß ohne zusätz¬ liche Instandhaltung höhere Bestückmengen erreicht werden.
    [0006] Die Aufgabe ist erfinduπgsge äß durch eine lotabweisende Be- Schichtung auf Metall-Nitrid-Basis gelöst, bei der neben der durch einen Beschichtungsvorgang erzeugten Metall-Nitrid- Grundschicht wenigstens eine zweite Schicht als Deckschicht mit Festschmierstoffeigeπschaften vorhanden ist. Vorzugsweise weist die Grundschicht eine graduelle Änderung von hoher Dichte im Grenzbereich zum Grundwerkstoff des Werkzeuges zu einer porö¬ sen, rauhen Struktur an der Grenzfläche zur Deckschicht auf. Zweckmäßigerweise ist dabei die Metall-Nitrid-Schicht das be¬ kannte Titan-Nitrid.
    [0007] Die Erfindung geht von der Tatsache aus, daß die im Maschinen¬ bau an sich bekannte Beschichtung von Werkzeugen mit Hart¬ stoffschichten, insbesondere aus Titan-Nitrid, auch eine besse¬ re Widerstandsfähigkeit gegen geschmolzenes Lot gewährleistet. Experimentelle Untersuchungen zeigten allerdings, daß derartige Hartstoffschichten speziell für den bestimmungsgemäßen Zweck noch nicht hinreichend verwendbar waren. Erst wenn auf derarti¬ gen Hartstoffschichten eine Deckschicht mit Festschmierstoffei- genschaften aufgebracht ist, ist die Beschichtung für den be¬ stimmungsgemäßen Zweck einsetzbar. Dabei wird ausgenutzt, daß sich das Titan-Nitrid einerseits mit einer Struktur hoher
    [0008] Dichte, die auf dem Grundwerkstoff gut haftet, und andererseits mit einer porösen Struktur herstellen läßt, wobei die poröse Schicht und die damit verbundene Mikrorauhigkeit zur Veranke¬ rung und als Depot für den Festschmierstoff dient.
    [0009] Für die Deckschicht mit den Festschmierstoffeigenschaften kom¬ men sowohl organische als auch anorganische Substanzen in Fra¬ ge. Insbesondere hat sich als organische Substanz eine bekannt Teflon-Suspension bewährt, die durch Tauchen oder Aufsprühen und nachfolgendes Einbrennen als Deckschicht herstellbar ist. Daneben können als anorganische Substanz beispielsweise der bekannte Festschmierstoff Molybdänsulfid in einer Silbermatrix oder Metall-Kohlenstoff-Kombinationen, wie beispielsweise Sil¬ ber-Graphit, Zirkon-Kohlenstoff, Eisen-Nickel-Kohlenstoff oder auch Eisen-Nickel-Chrom-Kohlenstoff verwendet werden. Letztere Substanzen sind in der Technik wegen ihrer guten tri lologischen Eigenschaften bekannt und werden üblicherweise al Festschmierstoffe eingesetzt. Bei der Erfindung wird nun vor¬ teilhafterweise ausgenutzt, daß in der Deckschicht der weiche Festschmierstoff in der harten Gruπdschicht durch deren Mikro- rauhigkeit hinreichend stark verankert ist. In dieser Kombina¬ tion ergeben sich überraschend gute und langaπhaltende lotab¬ weisende Eigenschaften eines derartigen Schichtaufbaus. Selbst bei partiellem Abrieb im Bereich der Spitzen und nach einer Einebenung der Oberfläche bleibt genügend Festschmierstoff als Depot in den Senken und erhält somit die lotabweisende Funktio aufrecht.
    [0010] Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung von Beispielen, wobei auf die Figuren der Zeichnung Bezug genommen wird.
    [0011] Es zeigen
    [0012] Figur 1 in schematischer Darstellung einen exemplarischen Schichtaufbau und
    [0013] Figur 2 eine graphische Darstellung der Abhängigkeit der Poro¬ sität von der Wahl der Beschichtungsparameter.
    [0014] In der Figur ist mit 1 der Grundwerkstoff eines Werkzeuges be- zeichnet, auf dem eine Deckschicht 10 aufgebracht ist. Die Deckschicht besteht aus einer dichten TiN-Schicht 11 auf der Oberfläche des Werkzeuges, die gut haftet und die auf der dem Werkstück abgewandteπ Seite in eine poröse Schicht 12 übergeht Der Übergang von der dichten TiN-Schicht 11 zur porösen, rauhe TiN-Schicht 12 kann - wie in der Figur angedeutet - definiert, oder aber vortεilhafterweise auch kontinuierlich erfolgen. Wichtig ist in jedem Fall, daß die TiN-Schicht 12 an der dem Grundwerkstoff 1 abgewandten Seite eine im Mikromaßstab ze-r- klüftete und rauhe Oberfläche mit Erhebungen und Senken hat. Auf dieser Oberfläche befindet sich eine weitere Schicht 13 au geeignetem Festschmierstoff, wobei deren Oberfläche eben ist. Die Dicke d der Schicht 10 beträgt üblicherweise 5 bis 10 μm und sollte in jedem Fall kleiner als 15 μm sein. Davon ent¬ fallen etwa 2/3 auf Grundschicht 11, wobei die Mikrorauhigkei- ten eine Tiefe von 1 bis 3 μm bei einem Kristallitdurchmesser von ca. 1 bis 2 μm haben.
    [0015] Zur Herstellung derartiger Schichten werden übliche Verfahrens¬ technologien - wie beispielsweise Niedertemperatur-Ionenplat- tieren oder Kathodenzerstäubung - verwendet, die im einzelnen von den speziellen Elementekombinationen der Beispiele abhän¬ gen:
    [0016] Beispiel 1: Kombination TiN mit organischem Festschmierstoff
    [0017] Poröse TiN-Schichten, die zur Aufnahme von Schmierstoffdepots geeignet sind, können alternativ durch reaktives Aufdampfen oder auch durch reaktives Aufstäuben hergestellt werden. Dies, ist im einzelnen in der DE-A-33 00 668 (= US-A-4 603 704) be¬ schrieben.
    [0018] Bei derartigen Verfahren lassen sich neben Art und Menge des -Schichtmaterials als Parameter während des Beschichtungsvor- ganges weiterhin die relative Orientierung des Substrates gegenüber den auftreffenden Materialteilchen und das elektri- sehe Potential am Substrat (sog. *Bias-Spannung) ändern.
    [0019] In Figur 2 ist der Beschichtungsvorgang verdeutlicht. Aufgetra¬ gen ist im logarithmischen Meßstab die "Grenzflächenkapazität
    [0020] CG,r, in mF/cmz als Maß für die Porosität der Schicht in Abhän- gigkeit von der Variation der Beschichtungsparameter: Im
    [0021] Bereich A wird das Substrat 1 aus Figur 1 parallel zum Target gestellt, so daß die Materialteilchen senkrecht auftreffen und eine Gegenspannung von etwa 100 V angelegt. Es ergibt sich eine sehr dichte Schicht mit guter Haftfestigkeit auf dem Substrat. Anschließend wird im Bereich B die Substratspannung weggenom- - men, wodurch sich die Dichte der Schicht verringert und damit die Porosität vergrößert. Im Bereich C wird das Substrat in einen Winkel zwischen 45 und 90" gegenüber den einfallenden Materialteilchen geneigt, wodurch sich die Porosität der Schicht weiter vergrößert. Schließlich wird im Bereich D das Target bewegt, so daß sich ständig wechselnde Einfallswinkel der Materialteilchen und damit statistische Unregelmäßigkeiten im Schichtaufbau mit weiterer Porositätsvergrößerung ergeben.
    [0022] Durch die angegebenen Änderungen der Beschichtungsparameter läßt sich die Dichte der Schicht zwischen 100 und 50 % variie¬ ren. Bei entsprechender Verfahrensführung ist es jeweils mög¬ lich, einen kontinuierlichen Übergang von einer dichten Grund¬ schicht, die fest am Grundwerkstoff des Werkzeuges haftet, zu einer porösen Oberflächenschicht in einem einzigen Beschich- tungsvorgang durch zeitliche Variation der Beschichtungspara¬ meter zu erzeugen.
    [0023] Auf eine derartige Schicht werden handelsübliche Teflonsuspen- sionen beispielsweise aufgesprüht oder durch Tauchen in Flüs¬ sigkeit aufgebracht und anschließend gebrannt. Dadurch wird eine besonders abriebfeste Schicht gebildet, in der das Teflon in eine Kuπstharzmatrix eingebettet ist.
    [0024] Beispiel 2: Kombination TiN mit Molybdänsulfid als anorgani¬ schem Festschmierstoff
    [0025] Die TiN-Schicht wird wie bei Beispiel 1 hergestellt. Auf die zerklüftete Oberfläche soll Molybdänsulfid aufgebracht werden. Das Molybdänsulfid liegt mit 5 % in einer Silber-Matrix vor, wobei das Silber wesentlich zur guten Haftung an der TiN-Struk- tur beiträgt. Die Herstellung dieser Deckschicht mit Schmier- stoffeinlagerungen kann durch Kathodenzerstäubung erfolgen. Beispiel 3: Kombination TiN mit Graphit in anorganischem Fest¬ schmierstoff
    [0026] Entsprechend Beispiel 2 wird auf eine TiN-Grundschicht Graphit aufgebracht, wobei der Graphit mit 5 bis 10 % in einer Silber- Matrix vorliegt.
    [0027] Beispiel 4: Kombination TiN mit Metall-Kohlenstoff als anorga¬ nischem Festschmierstoff
    [0028] Auf die TiN-Schicht soll amorpher Kohlenstoff als Festschmier¬ stoff aufgebracht werden. Dabei besteht die Möglichkeit, die Schichten mit Kohlenstoffanteil aus einer metallischen Grund¬ schicht aufzubauen, bei der der Metallgehalt mit zunehmender Schichtdicke zurückgeht und bei der an der Oberfläche über¬ wiegend Kohlenstoff vorliegt. Ein solcher Schichtaufbau bewirkt über die metallische Grundschicht wiederum eine gute Haftung zu den metallischen Substraten.
    [0029] Speziell eine Deckschicht nach Beispiel 3 wird durch Kathoden¬ zerstäubung aufgebracht. "Im Verlauf des Beschichtungsvorganges wird beispielsweise Acethylen in die Verdampfungsanlage ein¬ gelassen. Durch den Kohlenstoffbelag, de.r sich auf der Kathode aufbaut, geht der abgestäubte Metallanteil immer mehr zurück, wobei sich die Abhängigkeit des Metallanteils in der Schicht vom Gaspartialdruck einstellen läßt. Als Trägermetall kommen dabei Zirkon (Zr) oder Eisen-Nickel (FeNi) oder auch Eisen- Nickel-Chrom (FeNiCr = V2A-Stahl) in Frage.
    [0030] Mit den in den Beispielen 1 bis 4 beschriebenen Beschichtungen wurden Werkzeuge für Bestückautomaten versehen. Speziell an den als sogenannte "outside-former"-bezeichneten Biegewerkzeu¬ gen von Bestückautomaten, die besonders stark mit den beloteten Anschlußdrähten der Bauelemente in Berührung kommen, wurden Vergleichsversuche vorgenommen*. Es zeigte sich, daß mit den erfindungsgemäßen Beschichtungen die Standzeit der Werkzeuge erheblich erhöht werden konnte. Aufgrund der lotanlagerungsver zögerndeπ Wirkung der beschriebenen Beschichtungeπ wurde eine Steigerung der Bestückmengen um mehr als das 25fache erzielt. Damit wird ein erheblicher betriebswirtschaftlicher Gewinn bei Einsatz von Bestückautomaten erreicht.
    [0031] 14 Patentansprüche 2 Figuren
    权利要求:
    ClaimsPatentansprüche
    1. Lotabweisende Beschichtung für Werkzeuge, insbesondere für Greif-, Einsetz- und Biegewerkzeuge bei Bestückautomaten für elektrische Bauelemente, welche als Schichtbasis wenigstens eine Metall-Nitrid-Schicht aufweist , d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , daß neben der durch einen Be- schichtungsvorgang erzeugten Metall-Nitrid-Grundschicht wenig- . stens eine zweite Schicht als Deckschicht mit Festsch ierstoff- eigenschaften vorhanden ist.
    2. Beschichtung nach Anspruch 1 , d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , daß die Grundschicht eine graduelle Änderung von hoher Dichte im Grenzbereich zum Grundwerkstoff des Werkzeuges zu einer porösen, rauhen Struktur an der Grenz¬ fläche zur Deckschicht aufweist.
    3. Beschichtung nach Anspruch 2 , d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , daß die Änderung der Dichte der Grundschicht kontinuierlich erfolgt.
    4. Beschichtung nach Anspruch 1 und Anspruch 2 , d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Metall- Nitrid-Schicht eine Titan-Stickstoff-Verbindung (TiN ) , vor- zugsweise Titan-Nitrid, ist.
    5. Beschichtung nach Anspruch 1 , d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , daß die Deckschicht mit den Fest¬ schmierstoffeigenschaften eine organische Substanz ist.
    6. Beschichtung nach Anspruch 5 , d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , daß die Deckschicht mit den Fest- schmiersto feigenschaf ten eine eingebrannte Teflon-Suspension ist.
    7. Beschichtung nach Anspruch 1 , d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , ' daß die Deckschicht mit den Fest¬ schmierstoffeigenschaften eine anorganische Substanz ist.
    8. Beschichtung nach Anspruch 7 , d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , daß die Deckschicht mit den Fest¬ schmierstoffeigenschaften Silber-Molbdänsulfid (Ag:MoS2) ist.
    9. Beschichtung nach Anspruch 1 , d a d u r c h g e - k e n n z e i c h n e t , daß die Deckschicht mit den Fest- schmierstoffeigenschaften eine Metall-Kohlenstoff-Kombination ist.
    10. Beschichtung nach Anspruch 9 , d a d u r c h g ε - k e n n z e i c h n e t , daß die Metall-Kohlenstoff-Kombi¬ nation Silber-Graphit (Ag.C) ist.
    11. Beschichtung nach Anspruch 9 , d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , daß die Metall-Kohlenstof f-Kombi- nation Zirkon-Kohlenstof f (Zr:C) ist.
    12. Beschichtung nach Anspruch 9 , d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , daß die Metall-Kohlenstoff-Kombi¬ nation Eiseπ-Nickel-Kohlenstof f (FeNi:C) ist.
    13. Beschichtung nach Anspruch 9, d a d u r c h g e ¬ k e n n z e i c h n e t , daß die Metall-Kohlenstoff-Kombina¬ tion Eisen-Nickel-Chrom-Kohlenstoff (FeNiCr:C) ist.
    14. Beschichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Dicke (d) der Gesamtschicht kleiner als 15 μm ist, wobei die Grund¬ schicht etwa 2/3 der Gesamtschichtdicke .beträgt.
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    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    1988-11-03| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): JP US |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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