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    公开号:WO1986007180A1
    申请号:PCT/JP1986/000262
    申请日:1986-05-22
    公开日:1986-12-04
    发明作者:Junya Tada；Tomohisa Watanabe；Makoto Akihiro；Kouichi Oka；Takehiko Sato
    申请人:Sumitomo Metal Mining Co., Ltd.；
    IPC主号:G11B5-00
    专利说明:
    [0001] 明 細 書 磁 気 記 録 媒 体 技 術 分 野
    [0002] この発明は磁気記録媒体、 特に C O - N i 系の金属膜に 特定の希土類元素を含有さ せて磁気特性お よ び耐食性を 向上させた磁気記録媒体に関する も のであ る。
    [0003] 冃 乐 技
    [0004] r 一 F e2 03や ¾ どの磁性粉末 と合成樹脂パ イ ン ダ一 と を混練 して得 られる混練物を、 非磁性基板上に塗布 し て な る磁気記録媒体が従来か ら使用 されている。
    [0005] こ の種の塗布型の磁気記録媒体に対 して基板上に金属 磁性薄膜を形成 した高密度記録の可能な磁気記録媒体が 開発されている。
    [0006] こ の金属薄膜 タ ィ ブの磁気記録媒体を形成する 方法 と しては、 （a)湿式法 と しての化学 メ ツ キ法、 ）乾式法 と し てのス パ ッ タ リ ン グ法、 イ オ ン ブ レ 一 テ ィ ン グ法、 真空 蒸着法 な どが採用 さ れている。
    [0007] 一般には（a)の湿式法に比軟 して、 基板に施す下地処理 や磁性層の長手方向や幅方向に対する均質性な どの点か ら、 （¾)の乾式法に よ る方が良好な磁気記録媒体が得 られ る と 考え られている。
    [0008] しか し、 こ の乾式法に よ って形成された金属薄膜型磁 気記録媒体は酸化物磁性粉末に比べ熱力学的安定性は極 めて低 く 、 且つ、 空孔が多い構成であ 、 空気中におい て腐食 し性能の低下を招き やすい。
    [0009] 従来から、 磁気記録媒体に対 して磁気特性を低下させ る こ と な く 、 耐食性を向上させる こ と を 目 的 とする試み がな されている。 例えば、 特開昭 56 — 15014 号、 同 57 -— 196507 号、 同 58 一 134414 号に添加金属を添加 した り 、 オ ゾン と酸素 と の混合ガス を磁性層形成部分に差 し向け た 、 あ るいは酸素原子数を定量的に設定 した して磁 気記録媒体の耐食性を向上させる こ と が開示さ れてい る c しか し、 これ ら においてはいずれ も 耐食性の向上は僅 かには認め られるが充分でな く 、 場合に よ っては飽和磁 化や残留磁化が減少 し磁気記録.媒体の 生出力の低下が 生 じて しま う こ と も あ る。
    [0010] 'この発明は、 前述の従来の磁気記録媒体での欠点を解 決 し、 CQ - Ni 系の金属薄膜 タ イ プの磁気記録媒体に特 定の希土類元素を添加させる こ とに よ 、 磁気特性お よ び耐食性を向上させた も の を提供する こ と を 目 的 と する c 発 明 の 開 示
    [0011] この発明では、 非磁性基板上に Ni , 希土類元素 R ， 酸 素及び CO , その他不可避不糾物 よ り な る磁性層が形成さ れ、 希土類元素 R は Y, La , Ce , Pr , Nd , Sm, Gd , T¾ , のうち—の 1 種以上か ら 、 この磁性層の組成は、 重 量にて Ni 0〜22 % 、 希土類元素 R 13 以下、 酸素 3 〜； 13 ° 、 残部 Co及び不可避不純物な る構成 と なっている。
    [0012] 以下、 本発明を更に詳細に説明する。 ま ず、 非磁性基板上に形成される磁性層の組成限定理 由について説明する。
    [0013] Niは基本的には磁気記録媒体の残留磁化を減少させる 傾向を有する も のであ るが、 COを主体 とする金属の磁性 層の耐食性を向上させる効果があ る。 22重量 を超えて 含有させる と、 磁性層の残留磁化が大幅に低下 し、 再生 出力が低下 して しま う 。
    [0014] Y , La , Ce , Pr , Nd , Sm, &d , TTD , ： Dy の う ^の l 種以 上か ら な る希土類元素 R は、 Co - Ni 系金属磁性層の磁 気特性お よ び耐食性を向 上させる ために添加含有させる。 13重量 を超えて添加する と保磁力、 飽和磁化が減少 し て しま い、 耐食性 も 低下 して ま う 。
    [0015] 以上の組成の磁性層 を得る に際 し、 原料の精製 · 合金 化の工程で不可避的に B, C , A , Si , Sn , S， Cu， Zn, Fe , Ti, Cr, Zr の う ちの 1 種が含.有さ れて も よ い。 し か し、 これ らの不可避不純物を 1 重量％ 以上含有さ せる と磁気特性は低下する。
    [0016] 酸素は、 磁気記録媒体の保磁力の向上を 目 的 と して、 一部は金属 と化合 して酸化物金属膜を形成 し、 他は磁気 記録媒体の磁性層 中に吸着され、 磁気記録媒体内に含有 さ れる。 3 重量 未満であ る と、 酸素の添加含有の効果 は認め られず磁気記録媒体の保磁力は向上せず、 又耐食 性が低下する。 一方、 13重量多 を超えて含有さ れる と、 酸化の影響が大 き く 現れ、 金属酸化物の比率が増加 して しま い充分な耐食性が得 られず又飽和磁化 Msが低下 して しま う 。
    [0017] 以上の よ う な本発明組成の磁性層の厚みは 0 . 1 imから 1 . 0 im程度が望ま しい。 0 . 1 未満では充分 再生出力 が得 られずま た厚みが 1 . 0 を超える と、 基板の可撓性 が低下 し記録密度を上げる こ と が難か し く な る。
    [0018] こ の よ う ¾磁性層が形成される非磁性基板 と しては適 度の可撓性と抗張性を有 し蒸着時の耐熱性を有する例え ば厚みが 5 〜 25 の ホ？ リ エ ス テ ル、 ア セ テ ー ト 、 ' リ 力 — ボ ネ ー ト 、 ボ リ イ ミ な ど の プ ラ ス チ ッ ク フ ィ ル ム 、 ディ ス ク 状基板 と して ガ ラ ス基板、 な どの金属基板 ¾ どが使用される。
    [0019] 次に、 本発明の磁気記録媒体の作成法について説明す る.。 この場合、 高密度記録化の要請か ら、 形成される磁 性層の保磁力が高 く 、 且つ飽和磁束 '密度が高い こ とが要 求さ れる ので、 ス ノ ッ タ リ ン グ法、 イ オ ン ブ レ ー テ ィ ン グ法、 真空蒸着法る どの よ う な乾式法を採用する こ と 力； 望ま しい。
    [0020] 乾式法においては、 保磁力を向上させる ために、 基板 に対 して斜めに組成原子を入射させて金属薄膜を形成さ せる こ と に よ ] 、 保磁力 を向上させる こ と が可能であ る。 基板に対 して斜めに組成原子を入射さ せる と 、 針状の金 属薄膜組織が結晶の配向方向を基板に対 して斜めに して 成長する。 こ の よ う ¾状態では結晶の配向及び形状異方 性が磁気異方性特性の原因 と な ] 、 こ の よ う に孩気異方 性が増加する こ と に よ 磁気記録媒体の保磁力が向上す る。 さ らに乾式法では、 磁性層の磁気特性の再現性に優 れ、 且つ長手方向、 幅方向に対 して均一の も のが製作 し 易い と い う 製作上での特長を も 具備 している。
    [0021] 非磁性基板には、 磁性層 と の密着性を向上させるため に、 コ ロ ナ放電処理やブ ラ イ マ ー処理な どの下地処理を 行 う こ と が望ま しい。
    [0022] 図面の簡単な説明
    [0023] 第 1 図は この発明の磁気記録媒体の製造装置の要部の 構成を示す断面図、 第 2 図は この発明の実施例及び従来 例であ る磁気記録媒体の耐食性を示す図、 —第 3 図（a)及び ）は各種組成の磁気記録媒体における希土類元素の含有 量 Rcと 得 られる保磁力 Heと の関係を示す図、 第 4 図乃至 第 11 図は各希土類元素の磁気記録媒体の耐食性の影響を 示す図、 第 12図乃至第 19図は希土類元素の含有量と保磁 力の関係を示す第 3 図 ）と 问渌な図であ る。
    [0024] 以下、 この発明の磁気記録媒体をその実施例に対 し図 面を便用 し、 その製造法に従って詳細に説明する。
    [0025] 第 1 図は、 この発明の磁気記録媒体の製造装置の実施 例の断面構成を示す も ので、 ほぼペ ル状の具空蒸着槽 11 が形成される。 この真空蒸看槽 11 には、 真空ボ ンブ 12が 接続され、 真空 ^ ン ブ 12を駆動させる こ と に よ j？ 、 真空 蒸着槽 11 内を所定の真空度に設定可能 ¾構成 と ¾つてい 真空蒸着槽 11 の底板 13上に電子 ビ ー ム蒸発源 14が設け られ、 こ の電子 ビ ー ム蒸発源 14内に強磁性金属 15が配 Λ される。 強磁性金属 15は Co， Niさ ら に Y， La, Ce, Pr , Nd, Sm, Gd, T¾， Dyのう ちの 1 種以上か ら な る希土類元 素 R か ら主 と して 、 その組成比が所定の膜組成 と る る よ う に設定されている。
    [0026] —方、 酸素ボ ン べ 16か らパ、 リ ア ブル リ 一 ク パ ル ブ 17を 介 して導入管 18が導出され、 導入管 18の端部が底部 13 を 貫通 して真空蒸着槽 11 内に挿入されている。 真空蒸着槽 11 内に回動 自 在に送 り 出 し ロ ー ル 2] 及び巻取 り ロ ー ル 22 が設け られ、 これ ら送 り 出 し ロ ー ル 2] 及び巻取 り ロ ー ル 22間にはキ ャ ン 23が回動 自 在に設け られる。
    [0027] 電子 ビー ム蒸発源 14 と キ ャ ン 23間に シ ャ ツ タ 25が設け られる。 この シ ャ ツ タ 25は、 回転可能であ 、 成膜時の み開かれる。 遮断片 26に よ 、 蒸発物の基板に対する最 大入射角 ^、 最小入射角 ^が調整で き る よ う に なつてい る 0
    [0028] 送 出 し 口 一 ル 2] に対 して非磁性基板 30が巻装され、 こ の非磁性基板: 30の端部が引 き 出さ れ、 キ ャ ン 23を介 し て巻取 ロ ー ル 22に巻 き 付け られる。 非磁性基板 30 と し ては、 厚みが 12 imの； ^ リ エ ス テ ル フ ィ ル ム が使用された。
    [0029] 送 出 し ロ ー ル 2] 及び巻取 J ロ ー ル 22が駆動され、 非 磁性基板 30がキ ャ ン 23の周面 と对接 して例えば、 15 m Z min の速度で移送さ れる。 真空ボ ン ブ 12が駆動され、 真 空蒸着槽 11内を 5 X 1U-6 torr 以下に ¾ る よ う に排気 して、 電子 ビ ー ム蒸発源 14内の強磁性金属 15を一定速度で蒸発 させる。 同時に開閉 コ ッ ク 17を開いて導入管 18か ら ^素 ガス を真空蒸着槽 11 内に放出させる。 酸素ガス の真空蒸 着槽 11 内への供給 も 、 膜の酸素組成が所定の も の と な る よ う に設定される。
    [0030] シ ャ ツ タ 25の開放に よ って電子 ビー ム蒸発源 14か ら放 出さ れる強磁性金属 は、 非磁性基板 30に対 して所定の 角度範囲で斜めに入射する も ののみが^断片 26を通過 し て非磁性基板 30に達する。
    [0031] 即 ち、 電子 ビー ム蒸発源 14か ら放出さ れる強性金属 の う ち、 非磁性基板 30の板面の法線に対 して第 1 図に示 す よ う に最小角度 ^か ら最大角度 ^ま での角度範囲の も のだけが、 シャ ツ タ 25を通過 して非磁性基板 30に対 して 斜めに入射される。 この よ う に して、 0 . 2 in の厚さ の磁 性槽 を形成 した。
    [0032] 得 られた磁気記録媒体は切断 し、 各 々 組成分析 と磁気 特性お よ び耐食性の評価に供 した。
    [0033] 組成分析は ΕΡ ΜΔ分析 と化学分析 と を併用 し、 ま た磁気 特性は、 試料振動型磁力計に よ 測定 した。 そ して、 耐 食性の評価は恒温恒湿槽に よ 作成される 耐食雰囲気 ( 温度 50 °C：、 湿度 90 % ) 内に所定 腐食時間 T の間保持 された後に、 被測定磁気記録-媒体を恒温恒湿槽か ら取 出 し、 この磁気記録媒体に对 して レーザ光を照射させ磁 気記録媒体を透過する光量を測定 してその透過率を求め る こ と に よ 行なった。
    [0034] 得 られた結果を第 2 図、 第 3 図お よ び第 1 表 （ 透過率 は腐食時間が 1 00 時間の も の ） に示す。 なお、 媒体中、 Ni , R，酸素以外の不可避不純物元素 と して B , C , AZ, Si, Sn， S, Cu, Zn， , Ti , Cr , Zr を 分析 したが、 それらの合計は 1 重量 未満であった。
    [0035]
    [0036] ι
    [0037] 6
    [0038] ∑9r00/98df/lDd
    [0039] 081ん 0/98 O O O GO 00 00 CO oo CO oo C t CO t
    [0040] 0C 、1 00 1— »
    [0041] d ，n ¾ o o
    [0042] -―..一 辩
    [0043] 00 00 C 00 00 O 00 O 00
    [0044] CO o 00 00 o O C 00 o 00 to 00
    [0045] 、 、 ¾ 、 、 Φ
    [0046] つ o o o t n 00 σ C to o t Ol D Ol CO
    [0047] limll
    [0048] C n σ> 00 0 Ol t CO CO t 00 cn w i ~ 00 ,00 σ 00 σ> 00 o 00
    [0049] 〇
    [0050] CD 00 CD -1 αι ΟΊ Ol σ¾ cn cn U1 oo o
    [0051] 00 -4 00 1 00 00 00 '、o 00 00 ID O 00 Q D 1 ~ i O -4 CO o o O Jl o 00 o o
    [0052] O o o Jl CJl o o o o Ol o ΟΊ o Ό o Ol o o o o ω
    [0053] ω
    [0054] 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 00 o 00 o n t o 00 00 o o cn oo o 00 00 Jl 〇 o o o o o o o o o o o o o o o o o o o CD
    [0055] C 00 o CO CO CO C CO ) CO C
    [0056] o Ol o o Ol o Ol o Ol o o o cn Ol cn
    [0057] 櫞
    [0058] 試料 媒 体 組 成 （重量 ) 磁 気 特 性 透過率 番号 CO Ni R 0 Ms (Gauss; Hc(oe) ( ^ )
    [0059] 56 残部 21.3 一 ― 9.5 710 980 4.5
    [0060] 57 〃 20.7 ― ― 6.3 960 650 5.0 II
    [0061] 58 〃 19.0 Y 4.9 2.0 910 350 6.0 ※※
    [0062] 59 〃 11.5 La 2.4 14.4 260 710 7.0 II
    [0063] 60 〃 11.1 Pr 2.5 13.9 ： 420 1210 3.5 II
    [0064] 61 〃 18.8 II 15.1 6.5 ; 770 250 6.5 11
    [0065] 62 〃 15.7 11 3.8 2.0 980 270 6.0 II
    [0066] 63 11.4 Nd 2.5 13.81 380 1110 4.5 II
    [0067] 64 〃 17.3 II 15.2 6.5 700 360 5.5 II
    [0068] 65 16.2 II 4.0 2.1 890 225 6.0 II
    [0069] 〃 11.3 Sm 1.7 13.8 710 320 4.0 II
    [0070] 67 〃 18.7 II 14.0 6.6 420 300 6.5 II
    [0071] 68 15.7 II 3.4 2.4 960 250 ' 6.0 II
    [0072] 69 〃 15.1 II 15.2 9.1 650 680 6.5 II
    [0073] 70 11.0 Gd ' 2.6 14.1 380 860 3.0 II
    [0074] 71 〃 5.5 II 14.2 6.2 700 240 6.0 II
    [0075] 72 〃 15.7 II 3.8 2 - 1 980 300 6.5 II
    [0076] 73 11.2 T¾ 2.6 13.9 260 760 3.5 II
    [0077] 74 6.1 II 13.1 6.2 690 - 255 6.5 II
    [0078] 75 14.5 11 3.6 2.1 950 450 6.0 II
    [0079] 76 11.4 Dァ 2.7 13.8 250 700 3.5 II
    [0080] 77 8.2 II 13.5 6.4 660 270 6.5 II 試料 媒 体 組 成 （重量 ) 磁 気 特 性 番号 CO Ni R 0 Ms (Gauss) Hc(oe)
    [0081] 78 残部 14.8 Dy 3.6 2.1 930 440 6.5 ※ ※
    [0082] 79 II 25.6 Υ 0.2 9.7 700 550 6.5
    [0083] Ώ7 0.5
    [0084] 80 II 16.9 Sm 0.1 2.1 960 350 6.0
    [0085] La 0.1
    [0086] 81 II 8.9 Ce 0.7 17.9 425 950 6.0
    [0087] 0.1
    [0088] 82 - 17.4 Pr 13.1 6.4 770 270 6.5
    [0089] Sm 2.2
    [0090] 83 II 18.7 Sm 3.8 2.1 960 230 6.0 „
    [0091] 1.3
    [0092] 84 11 11.8 Tt> 1.3 14.1 260 710 6.5
    [0093] D7 1 - 1
    [0094] 85 II 17.0 La 4.6 6.4 770 300 7.0
    [0095] Ce 10.7
    [0096] ※ 本発明
    [0097] ※※ 従来例
    [0098] ※※※ … 比較例
    [0099] 第 2 図は 5 種類の組成を有する 同一嫫厚の ¾気記録媒 体に対 して、 横軸に腐食時間 T ( hour ：) を と 、 縦軸に 透過率 D ( ） を と つて両者間の関係を示す も ので、 〇印 で示す磁性層は、 Ni 21.3 重量 、 酸素 9.5 重量 、 残 部 Coの組成を、 ま た、 △印で示す磁性層は、 Ni 14.2 重 ' 量 、 希土類元素 R と して 4.4重量 、 ？ 素 3.7 重量 、 残都 Coの組成を、 看印で示す磁性層は、 Ni 18.4 重 量 、 TTD 5.4重量 、 酸素 3.5 重量 、 残部 Coの組成を、 さ らに、 □印で示す磁性層は、 10.5 重量 、 希土類 元素 と して Pr i，7重量 、 Sm 1.2 重量 、 酸素 10.4重量 °h、 残部 Coの組成を有 している。 .
    [0100] 第 2 図に測定点を〇で示す希土類元素 R が含有されて いない磁気記録媒体では、 腐食時間 T の増加に伴って透 過率 ！ が増大 し、 腐食時間が 100 時間を超える と透過率 D は約 5 ま で増大する。
    [0101] 第 2 図に測定点を△ Iコ H で示す磁気記録媒体では、 腐 食時間 T がほぼ 50埒間以上に な る と透過率 D は約 3.5 ^ 以上には増大せず、 耐食性が優れている こ と が示される。 これ らの磁気記録媒体は第 1 表において夫 々 試科畨号 47， 24， 33 に示す実施 に对 ¾ している。
    [0102] 希土類元素 R の存在で磁気記録媒体の耐食性が増大す る のは真空蒸着槽 11 内に導入される酸素に よ 膜中に取 込ま れた希土類元素 R に酸素がゲ ッ タ リ ン グ作用に よ 結合 し、 希土類元素 R の漦化膜が形成され、 この酸化 膜が磁性層を被 う ために磁性層が保護される こ と と、 結 晶粒が微細化 している こ と が関運 している も の と 考え ら れる
    [0103] 第 3 図（a)は、 2 種類の組成を有する磁気記録媒体に対 して、 希土類元素 R の含有量 と磁気記録媒体の保磁力 He ，飽和磁化 Msの関係を示す も ので、 〇印 （ Ms )'A 印
    [0104] ( He ) で示す磁性層は、 Ni 12.0 重量 、 酸素 10.6重量 % . 残部 CO + Nd + Dy ( Nd と の重量比は 5 ： 2 ) の組 成を、 ま た、 舉 印 （ Ms ) A 印 （ He ) で示す磁性層は、 Ni 7.6 重量 、 酸素 11.6重鼍 、 残部 Co + Y + Pr ( Y と Pr の重量比は .5 ： 3 ) の組成を有 している。
    [0105] 第 3 図（¾)は、 希土類元素 R の含有量 が 3 図 (a) よ り も 多 く なった時の磁気記録媒体の保磁力 Heを'示 した も ので あ る。 ** 印で示す磁性 ¾は、 Ni l5重量 、 酸素 5 重量 . 残部 Co + Sm + T¾ ( Sm と Τϋ の直量比は 3 ： 2 ) の組成を 有 している。
    [0106] ― 第 3 図（a) (わ）の測定結果か ら 明 ら か ¾ よ う に、 希土類元 素 R の含有量が 13直量 以下では優れた磁気特性を有 し ているが、 13重童 を超える と、 磁気記録媒体の保磁力 Heが大幅に低下 して しま う 。
    [0107] 続いて、 上記 と 向様に 下記する第 2 表に示す組成を有 する磁気記録媒体について測定 した腐食時間 T と透過率
    [0108] D の関係を第 4 図〜第 11 図に示す。
    [0109] いずれの図面において も 希土類元素 R が含有さ れてい い磁気記録媒体に比べて、 希土類元素 R が特定量含ま れている本発明の磁気記録媒体は腐食時間 T が 200 時間 経過 して も透過率 D の増大は き わめてわずかで耐食性が 優れている こ と が分る。
    [0110] 更に、 下記する第 3 表に示す組成を有する磁気記録媒 体について希土類元素 R の含有率 R cを変え、 その影響を 保磁力 Heについて調べた結果を第 12図〜第 19図について 示す。
    [0111] 第 12図〜第 19図 よ ] 明 らかな通 、 希土類元素 Rは、 13重量 以下添加されている場合は'、 優れた保磁力 Heを 有するが、 13重量 を越える と 大幅に低下する。
    [0112] 2
    [0113] 印 CO (¾f-^ ) Ni (通
    [0114] 第 10図 〇 残 部 16 5
    [0115] II A II 16 ύ o C
    [0116] O
    [0117] If Λ
    [0118] ΖΛ 〃 16 5 5
    [0119] 〃 ■ 〃 0.6 8.3 笋 11図 〇 16 5
    [0120] 〃 A 〃 2.8 Gd 1.3 6.4
    [0121] Pr 10.5
    [0122] 卜
    [0123] // Δ II 18.1 Sm 1 .4 4.5
    [0124] 1.0 卿
    [0125] 〇
    [0126] 3
    [0127] 第 1 表か ら次の よ う な こ と が判る。 即 ち、 従来例 Na 56 と 57は薄膜組成の う ち希土類元素 R がな く 、 比較例 58， 59， 60， 62， 63 , 64， 65 , 66 , 68， 70， 72， 73， 75， 76， 78， 80， 81 , 83 及び 84 は酸素が、 同 Na 79は Niが、 そ し て同 64, 67， 69， 71 , 74, 77， 82 及び 85 は希土 類元素が本発明の組成範囲か ら外れた も のであ り 、 磁気 特性、 耐食性のいずれか又は両方が劣っている こ と を示 しているが'、 一方実施例 Nd 1 〜 55は、 磁気特性お よ び耐 食性が優れている こ と を示 している。
    [0128] 以上か ら明 らかな よ う に、 この発明は、 従来の Co—Ni 系磁気記録媒体に 較 して、 磁気特性お よ び耐食性の優 れた も のを提供する こ と がで き る。
    权利要求:
    Claims21 請 求 の 範 囲
    1. 非磁性基板と 、 該基板上に形成さ れた磁性層 と か ら 成 ]9 、 該磁性層の組成は重量にて 、 τ, La, ce, Pr, Nd， Sm， ad, TlD 又は Dァ の う ち少 く と も 1 種の希土類 元素 13 %以下、 酸素 3 〜： 13 % 、 残部 Co及び不可避不純 物か ら成る磁気記録媒体。
    2. 該 性層は、 更に Ni 22 % 以下を含む請求の範囲に よ 媒体。
    3. 該不可避不純物は、 1 重量％ 未満の、3， （ ， ， 31 , Sn , S， Cu， Zn , Fe, Ti , Cr 又は、 の う ち 1 種以上で あ る請求.の範囲 1 に よ る媒体。
    4. 該磁性層は 0.1 ！〜 1.0 の厚さ を有する請求の範 囲 1 に よ る媒体。
    5. 該非磁性基板は可撓性及び抗張性並びに 5 〜 の 厚さ を有する請求の範囲 1 に よ る媒体。
    6. 該非磁性基板は、 ボ リ エ ス テ ル 、 ア セ テ ー ト 、 ボ リ カ ーボネ ー ト 又は ボ リ ィ ミ ドか ら成 る請求の範囲 5 に よ る媒体。
    7. 該非磁性基板は ガ ラ ス で あ る請求の範囲 5 に よ る媒 体。
    8. 該非磁性基板は A で あ る請求の範囲 5 に よ る媒体。
    9. 該磁性層は非磁性基板にス ッ タ リ ン グ法、 イ オ ン ブ レ ーテ ィ ン グ法又は真空蒸着法に よ 形成される請 求の範囲 1 に よ る媒体。
    10. 該非磁 基 は コ c ナ放雷処旌又は ブ ラ イ マ ー処理 22
    の下地処理を行 う 請求の範囲 1 に よ る媒体。
    11. 非磁性基板 と 、 該基板上に形成された磁性層 とか ら 成 ]) 、 該磁性層の組成は重量にて 、 ¥i 22 % 以下、 Y, La, Ce， Pr , Nd， Sm， Gd， T"b 又は Dァ の う ち少 く と も 1 種の希土類元素 13 % 以下、 酸素 3 〜： L3 % 、 残部が Co 及 び不可避不純物か ら成る磁気記録媒体。
    12. 該不可避不'純物は、 1 重貴 未満の、 B， C, A , Si , Sn , S, Cu， Zn， Fe , Ti， Cr 又は Zrの う ち 1 種以上で あ る請求の範囲 11 に よ る媒体。
    13. 該磁性層は 0.1 «π！〜 の厚さ を有す る請求の範 囲 11に よ る媒体。
    14. 該非磁性基板は可撓性及び抗張性並びに 5 〜 25 πηの 厚さ を有する請求の範囲 11 に よ る媒体。
    15. 該非磁性基板は、 ボ リ エ ス テ ル 、 ア セ テ ー ト 、 ボ リ カ ーボネ ー ト 又は ボ リ ィ ミ ドカ ら成る請求の範囲 14に よ る媒体。
    16. 該非磁性基板は ガ ラ ス であ る請求の範囲 14に よ る媒 体 0
    17. 該非磁性基板は A であ る請求の範囲 14に よ る媒体。
    18. 該磁性層は非磁性基板にス パ ッ タ リ ン グ法、 イ オ ン ブレ ー テ ィ ン グ法又は真空蒸着法に よ j 形成され る請 求の範囲 11に よ る媒体。
    19. 該非磁性基板は コ π ナ放電処理又は ブ ラ イ マ —処理 の下地処理を行 う 請求の範囲 11に よ る媒体。
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
    JPH0777018B2|1995-08-16|
    DE3689420D1|1994-01-27|
    EP0262224A1|1988-04-06|
    US4968564A|1990-11-06|
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    EP0262224B1|1993-12-15|
    DE3689420T2|1994-06-01|
    JPS62229522A|1987-10-08|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    1986-12-04| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): US |
    1986-12-04| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): DE FR GB |
    1987-11-23| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 1986903564 Country of ref document: EP |
    1988-04-06| WWP| Wipo information: published in national office|Ref document number: 1986903564 Country of ref document: EP |
    1993-12-15| WWG| Wipo information: grant in national office|Ref document number: 1986903564 Country of ref document: EP |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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