• 专利附录
  • 专利说明
  • 权利要求
  • 类似技术
  • 同族专利
  • 引用文献
  • 法律状态
  • 优先权
    • 专利摘要:

    公开号:WO1985005190A1
    申请号:PCT/JP1985/000249
    申请日:1985-05-01
    公开日:1985-11-21
    发明作者:Masataka Negishi
    申请人:Masataka Negishi；
    IPC主号:G02B5-00
    专利说明:
    [0001] / 明 細 書 物体の凹 ώ面への部分的膜層の形成方法 技術分野
    [0002] 本発明は、 物体、 例えば レ ン ズ 、 プ リ ズ ム 、 フ レ ネ J- ル板等の光路変換要素の凹 ώ面の所要部分にのみ膜層 を形成する方法に関する 。 背景技術
    [0003] 従来、 ガ ラ ス 、 プ ラ ス チ ッ ク等の透明な シ ー ト 体ま たは板体に部分的な膜層を形成 し て、 光の通過する部 /0 分 と光の通過 しな 部分を形成する方法は種々 の も の が知られてい るが、 光の通過する 部分 と 光の通過 しな 部分を微細な間隔で形成する には、 i c 等の回路を 構成する場合に用 られてい る フ ォ ト エ ッ チ ン グ手段 が有用であ る 。
    [0004] /5 し力、 し 、 こ の手段に よ る と 、 精密な フ ォ ト マ ス ク を 複数用 て、 その位置合せを精度良 く 行なわなければ な らな 。
    [0005] かカゝ る フ ォ ト エ ッ チ ン グ手法を用 て 、 ガ ラ ス 、 ブ ラ ス チ ッ ク等で形成さ れて い る凹凸面を有する複眼 レ 0 ン ズ 、 複数プ リ ズ ム 、 フ レ ネ ル レ ン ズ 、 立体写真な ど を作製するための レ ンテ ィ キ ユ ラ ^"板 （ 力 まぽこ レ ン ズ ） 等の立体形状体、 フ レ ネ ル シ ー ト 又は フ レ ネ ル 板 に透光性及び非透光性の部分を微細な間隔で形成する とはやつか であ 、 またかな i 大き 熱膨張係数 を に らみながら 、 温度管理等を も含めて、 大がか な 作業を必要と し、 量産に適さ な ばか I？ か、 形成され
    [0006] J- る製品 も非常 に高価になる 。
    [0007] 本発明は、 こ の よ う な問題に鑑みなさ れた も ので、 その 目 的は、 凹凸面を有する物体、 特に レ ン ズ 、 プ リ ズ ム 、 フ レ ネ ル板等の光路変換要素、 における該凹凸 面に、 平行性、 集れん性又は拡散性等を有する光を特
    [0008] /0 別な方向に照射した後、 エ ッ チ ン グ及び洗浄を行 う こ と に よ 、 フ ォ ト マ ス ク も 、 温度管理 も 、 また従来の 方法で必要 と して た精密工程 も 一切必要 とせず、 凹 凸面の所望の個所に黒色等の着色膜を微細な間隔で確 実かつ安価に施すと とができ る 、 物体の凹凸面への部 は 分的膜層の形成方法を提供する こ と にあ る 。 発明の開示
    [0009] 本発明 に よ る物体の凹凸面への部分的膜層の形成方 法は、 前記凹凸面の全面に感光剤を塗布 して感光膜を 形成し、 凹凸面に対 し斜め方向に光源から の光を当て，
    [0010] 20 光源に面する 凸部の面部分にのみ光が照射され、 光源 に面しな 他の面部分が影の部分 とな る よ う に し、 次 で、 以上の よ う に感光処理された感光膜にエ ツ チ ン グ処理を施し、 洗浄 よ っ て、 光源に面する前記面部 分およ び前記影の部分の ずれかの部分にのみ膜層を 残すよ う にする こ と カゝらな る 。 図面の簡単な説明
    [0011] 第 / 図ない し第 図は、 本発明の方法を適用する こ と の でき る物体 と し ての光路変更要素の異な る例をそ れぞれ示す図 、 第 7 図は、 光路変更要素 に感光膜を塗 布 した一例を示す断面部分図 、 第 図は第 7 図の光路 変更要素への光の照射の状態を示す断面部分図、 第 ヌ 図は他の光の照射態様を示す断面部分図、 第 / ク 図は さ ら に他の光の照射態様を示す断面部分図、 第 / / 図 は第 / 図 の物体への光照射態様を示す斜視図、 第 / =2 図は第《2 図の物体への光照射の態様を示す斜視図 、 第 / J 図は第 J 図の物体への光照射の態様を示す斜視図、 第 / 図は第 ^ 図の物体への光照射の態様を示す斜視 図、 第 / 図は第 図の物体への光照射の態様を示す 斜視図、 第 / 図は可撓性帯状物体への光照射の態様 を示す正面図、 第 / 7 図は本発明の方法を施すこ と が でき る反射光視野外除去板の斜視図、 第 / f 図は同断 面図、 第 / ？ 図は反射光視野外除去板に遮光膜を施 し た状態を示す拡大断面部分図 、 第 =2 り 図は同変形例の 拡大断面部分図、 第 / 図は公知の ブ ラ イ ン ド板を示 す断面図であ る 。 発明を実施する ため の最良の形態
    [0012] —般に 、 上記複眼 レ ン ズ 、 複数プ リ ズ ム 、 フ レ ネ ル レ ン ズ 、 レ ンテ ィ キ ュ ラ ー板等の立体形状体、 フ レ ネ ル シー ト 又は フ レ ネ ル板 （ 以下、 これらを総称して、 光路変換要素 と ^ う ） 、 例えば第 / 図乃至第 図に示 す光路変換要素 / a 乃至 / f の一部に遮光及びグ レ ア 防止の 目 的でつや消 しで黒色等の着色層付着処理を施 こ した 場合があ る 。 つや消 し と したのは、 着色層の 表面が光を正反射 しな で、 乱反射してほ し からで， 実際は着色層 の裏面、 すなわち着色層 の光路変換要素 と の接触面 も 梨地等にな っ ている こ とが必要であ る 。
    [0013] 10 次 に、 第 / 図乃至第 図に示す光路変換要素につ
    [0014] て説明する と 、 第 / 図 に示すのは フ レ ネ ル レ ン ズ / で凸 レ ン ズ 2 と 同様な機能を具備する よ う に円盤状を な し、 その片面が凸部を有する 凹凸面とな っ て る 。 凸部は同心的な環状突条 R の形状をな し、 各突条 R は
    [0015] /S 鋸歯状断面を有し、 かつ本来光が通過 してほ し 傾斜 面 7 と、 それ以外の余計な垂直面 《Τ と を備えて る 。
    [0016] 第 《2 図 に示すフ レ ネ ル レ ン ズ / b は凹 レ ン ズ J と 同 じ機能を具備する よ う に円盤状をな し、 その凹凸面に は同様に同心的な環状の鋸歯状断面突条 R が設けられ，
    [0017] 3- 各突条 R は第 / 図の場合 と 同様に傾斜面 7 と垂直面 f を有して る 。
    [0018] 第 図 に示すフ レ ネ ル板 / c は力 まぽ こ状の凸 レ ン ズ と 同様な機能を有し、 かつ互 に平行をなす鋸歯 状新面の直線状突条 R を有して る 。 各突条 R は同様 に傾斜面 7及び垂直面 <r を も っ て る 。 また、 すべて の突条 R は、 フ レ ネ ル板 / c の中 、線 0 — 0 に関 して 左右対称な形状を備えて る 。
    [0019] 第 図の フ レ ネ ル板 / d は、 凹 レ ン ズ と 同様な機 能を有する点以外は第 J 図の フ レネ ル板 / c と 同様で
    [0020] J- る 。
    [0021] 第 図の フ レ ネ ル板 / e では互いに平行をなす直線 状突条 R は同 じ形状を も ち、 三角 プ リ ズ ム と 同 じ機 能を具備 し 、 それら の傾斜面 7 は同 じ方向 に傾斜 し て る 。
    [0022] /0 第 図 の フ レ ネ ル レ ン ズ / f は 、 同心的な鋸歯状断 面の環状突条 R を有 し 、 すべての突条は同 じ高さ に形 成 さ れて る 。 こ の フ レ ネ ル レ ン ズ / f は機能的には 鎖線で示す山形の レ ン ズ に相当する 。
    [0023] こ れら の光路変更要素 / a 乃至 / f は、 コ ン プ レ 'ソ S シ ヨ ン 、 イ ン ジ ェ ク シ ョ ン 、 キ ャ ス テ ィ ン グ等の製造 工程で、 微細な凹凸を有する よ う に容易に形成さ れる も の で、 材質 と し ては 、 ガ ラ ス よ も 安価な ブ ラ ス チ ツ ク を採用する と 良 。 これ ら の光路変更要素 / a 乃 至 / f は 、 前述の よ う に、 本来、 光が通過 してほ し
    [0024] 0 部分 （ 傾斜面 ） 7 と それ以外の よ けいな部分 （ 垂直面 ) f を具備 してお ？ 、 こ の垂直面 がグ レア、 二重像、 拡散効果等で コ ン ト ラ ス ト ダ ウ ン と な った ] 、 ま た見 た眼に 白 つ茶けて、 ク リ ア性に とぼ し 感 じを与え る な ど諸悪の根源にな っ て る 。 そ こ で、 従来にお てS は、 垂直面 のつやのな のが望 ま し と う こ と で、 έ 特殊な手法で、 垂直面 にのみ梨地処理した例がある かかる梨地処理に よれば、 かな のグ レ ア防止対策に な る と されている力' 、 そのよ う に処理する方法がな く 完全な解決に至って な のが現状であ る 。
    [0025] 本発明は上記技術背景を基になさ れた も ので 、 以下 その詳細を説明する 。
    [0026] 第 7 図及び第 f 図は本発明の方法における露光処理 の基本原理を示す。 第 7図は凹凸面を有する物体の— 例と しての光路変換要素 ？ を示し 、 これは例えば透明
    [0027] /0 材料 よ な ]) 、 その一面が湾曲波形状断面を有して る 。 凹凸面は凸部 ？ a およ び凹部 b 力ゝらな j？ 、 こ の 凹凸面の全面 （ あ る いは、 黒色等の着色膜を形成すベ き表面部分 ） に 、 公知の感光剤を塗布 して感光膜 / 0 を形成する 。 感光剤には、 周知の よ う にポ ジ タ イ プの
    [0028] /S も の と ネ ガ タ イ ブの も の力 ^あ る 。 ポ ジ タ イ ブの も の ^ま 光 （ 例えば、 紫外線 ） が当 った部分が現像液等の化学 薬液に よ る処理後の洗浄で洗 落 と される こ と で除去 さ れ、 光の当らな力 つた部分が残 る タ イ プの も ので、 ネ ガ タ イ プの も のは、 その逆で光の当 った部分の感光
    [0029] 20 膜が硬化して残 、 光の当 らなかった部分の感光膜が 洗浄に よ 除去さ れる も のである 。 本発明では、 ず れの形式の感光剤を用 て も 良 。 こ の例では、 ポ ジ タ イ ブの感光剤を用 る こ と とする 。
    [0030] こ の よ う に感光膜 / を形成した後、 第 図 に示す
    [0031] 2S よ う に、 黒色等の着色膜 （ 以下黒色膜とする ） を形成 したい凹凸面部分 / 0 a が陰 と な D く 黒色膜を施 と し た く な 凹凸面部分 / 0 b が陽 と な る よ う に 、 光路変 換要素 ？ の凹凸部 b ， a に対 し斜め方向 に光源か ら の光 （ 例えば、 紫外線 ） / / を、 その平行性、 集れ ん性又は拡散性を幾何光学的に設計 して、 感光膜 / 0 に照射する 。 第 f 図 におい て 、 黒い部分 / 0 a が光 / / の当 っ て な 陰の部分で、 白 部分 / b が感光 さ れた部分であ る 。 第 図 に示すよ う に 、 感光膜 / 0 を残 した 部分 / 0 a と 感光膜 / ク を取 去 た 部 分 / 0 b と を陰陽にな る よ う に光 / / を当 て、 後に適 宜な化学薬液 に よ る ヱ ツ チ ン グ後洗 う 等 して、 光 / / の当 った部分 / b の感光膜 / を除去する こ と で、 光 / / の当 らなか っ た部分 / 0 a に黒色膜を容易 に形 成で き る 。
    [0032] なお、 上記場合にお て 、 光 / / の方向 に よ っ て露 光範囲に限界があ 、 例えば第 ？ 図 に示すよ う に 、 白 色の部分 / 0 b のほかに斜線で示す部分 / 0 c の感光 膜 / を も 除去 した 場合には 、 該斜線で示す部分 / 0 c の感光膜 / に も反対側から の斜めの光 / «2 が当 る よ う に適宜位置に配設 した光源を設け、 光 / =2 に よ る露光 とそれに続 く ヱ ツ チ ン グ後の洗浄で、 斜線部分 / 0 c の感光膜 / ク を除去する 。
    [0033] 上記例にお ては 、 フ レ ネ ル体 ？ の全面に平行光等 の光 / / ， / «2 を当て る こ と で、 所定箇所に黒色の遮 膜 / a を形成 した力' 、 第 図 に示すよ う な フ レ ネ ε ル板 / e の露光の場合 は、 第 / 図に示すよ う に、 光 / 3 を フ レ ネ ル板 / e の凹凸面に、 例えば平行光を 斜め上方から全面に照射するか、 部分的に照射 し、 し か も光源に対 し フ レ ネ ル板 / e を相 ¾的に矢印 A方向 に移動する こ と で、 フ レ ネ ル板 / e の平面 / と垂直 な面 <f に黒色の遮光膜 / 0 a を形成する こ とができ る c こ の よ う に物体に露光する方法には 、 色 々 な方法が あ る ので、 その例を以下に.説明する 。
    [0034] 第 / / 図 ^ 、 第 / 図の フ レ ネ ル レ ン ズ / a や第 図 /0 の フ レ ネ ル レ ン ズ / ί に適する露光 （ 光処理 ） 法の例 を示す。 フ レ ネ ル レ ン ズ / a 又 ま / f その中 '、 0 1 の ま わ ！） に矢印 B で示すよ う に回転自 在に支持さ れ、 その凹凸面の上方に光源 / J" が位置せしめ られる 。 フ レ ネ ル レ ン ズ / a 又 ま / f の中 、 0 1 に関 して比較的 /S 小さ 中心角 び のセ ク タ / 6 の外周緣円弧の近傍の上 方に光源 / が設けられ、 前記セ ク タ / の範囲外の 凹凸面上 光源 / か ら の光が達 しな よ う に、 セ ク タ / の上方空間を他の空間に対 して仕切る仕切 ！） /
    [0035] 7 a , / 7 a 力 ^樹立される 。 そして、 フ レ ネ ル レ ン ズ 20 / a 又は / f は前述の よ う に矢印 B 方向 に回転さ れ、 セ ク タ / ί 内の凹凸面上の突条 R の全周にわたる傾斜 面 7 に対 し半径方向外方から斜め下方に！ ¾かっ て光源 / か ら の光が照射される 。 こ の時、 突条 R の垂直面 s- には光が当た らな ので、 例えば垂直面 / <f のみ 2S に黒色遮光膜を形成する こ とができ る 。 第 / J 図は、 第 。2 図の フ レ ネ ル レ ン ズ / b に適する 露光法例を示す も の で 、 フ レ ネ ル レ ン ズ / b の中心
    [0036] O i の上方に光源 / を配 し 、 該光源 / J " から の光を フ レ ネ ル レ ン ズ の凹凸面の不要部分を除 く 全面に照射 i- して る 。 こ の よ う にする と 、 フ レ ネ ル レ ン ズ / b の 外周緣方向 に至る に従 っ て光束が傾 く と にな る ので， フ レ ネ ル レ ン ズ / b の垂直面 < ( 第 2 図 ） には光が当 ら ず、 これに よ ！？ 、 こ の面 <r に黒色遮光膜を形成する と と ：^でき る 。
    [0037] /0 第 / j 図は第 J 図 に示すフ レ ネ ル板 / c に適する露 光法例を示す。 フ レ ネ ル板 / c は傾斜面 7 が中心線 0 一 0 を境 目 に して傾きが異な っ て る ので、 フ レ ネ ル板 / c の中心線 0 - 0 上に垂直に遮光板 / 7 b を設 け、 前記光源 / の よ う な点光源 と異な ) 棒状の瑩光 灯の よ う な横長光 / を発する線光源 / f をそれぞれ フ レ ネ ル板 / c の両端近傍に突条 R に平行に配設 して る 。 こ の よ う にする こ と で、 フ レ ネ ル板 / C の傾斜 面 7 は感光膜を除去して透明 に 出来、 垂直面 <f に のみ 黒色遮光膜を形成でき る 。
    [0038] 0 第 / 図は第 図 に示すフ レ ネ ル板 / d に適する露 光例を示す も の で 、 第 / 図 に示 した と 同様な横長光 / ヌ を発する線光源 / f を フ レ ネ ル板 / d の中心線 0 - 0 の上方に該フ レ ネ ル板 / d 及びその突条 R と平行 に配設 して る 。 との よ う にする こ と に よ っ て、 フ レS ネ ル板 / d は フ レ ネ ル / c と 傾斜面 7 の傾斜方向が逆 / 0 なので、 垂直面 g に黒色遮光膜を形成でき る o
    [0039] 第 / j- m ¾、 第 図に示すフ レ ネ ル板 / e に適する 露光例を示す も ので 、 前記第 / 0周で示した黒色遮光 膜 / り a を形成するための具体化例である o フ レ ネ ル 板 / e の一部分にのみ光 / ？ が当たる よ う に、 すなわ Λ フ レ' ネ、 ノレ板 / e の上記一部分以外の部分には、 光 / ヌ カ 当た らな よ う に、 フ レ ネ ル板 / e に垂直に 。2 枚の遮光板 / 7 c を適宜間隔を あけて突条 R と平行に 配設し、 該遮光板 / 7 c ， / 7 c の中間上部に線光源
    [0040] /0 / <r を突条 R に平行に配設し 、 遮光板 / 7 c ， / 7 c の f の フ レ ネ ル板 / e の凹凸面に横長光 / ヌ を照射 し， フ レ ：、 ノレ / e を矢印 A方向 に順 ¾移動させる こ と で, 上記垂直面 s に黒色遮光膜 / 0 a を形成する こ と がで ぎ る 。
    [0041] /£ 上記 LIにお て tま、 フ レ ネ ル レ ン ズ 、 フ レ ネ ソレ板と して剛性のあ る も のを示し、 かつ説明 したが、 これら の も のは軟質状の シ ー ト であっ て も 良 。
    [0042] 帯状の フ レ ネ ル シ ー ト 《2/に露光する方法例を第 / & 図を用いて説明する 。
    [0043] 20 円筒状の ド ラ ム 《 «2 を、 矢印 C 方向 に回転自 在に支 持 し、 こ の回転 ド ラ ム 2 «2 に フ レ ネ ル シ ー ト „2 / をそ の突条 R のあ る 凹凸面が回転 ド ラ ム =2 ·2 の面と反対の 向 きを と る よ う に して係合させ、 図示しな モ ー タ を 用 て回転 ド ラ ム =2 =2 を矢印 C 方向 に回転させる こ と 2S で矢印 D 方向 に移送する 。 なお、 突条 R は例えば ド ラ ム 2 ·2 の回転軸線に平行をなす方向 にあ る 。 こ の よ う にする こ と よ ]3 、 ド ラ ム ·2 ·2 に接す ¾部分で シ ー ト «2 / が膨出する 。 そ して 、 矢印 D 方向 に光源 ·2 j 力 ら の光 ·2 を集れん光 とな る よ う に レ ン ズ 《2 を介 して Jr フ レ ネ ル シ ー ト 《2 / の膨出部 照射する こ と で 、 フ レ ネ ル シ ー ト 1 / の局部にのみ光 《2 ^ を照射 して フ レ ネ ル シ — ト 2 / に前述の場合 と 同様に黒色遮光膜を形成 する 。
    [0044] なお 、 以上 、 光源を固定側 と し 、 フ レ ネ ル板お よ /0 びシ ー ト を移動側 と した例を示 した力；、 フ レ ネ ル板お よ びシ ー ト を固定側 と し、 光源を移動側 とする と 、 更' に都合良い。 こ の場合、 ¾ ま し く は、 マ イ ク ロ コ ン ビ ュ 一 タ を用いて 、 光源の点灯位置及び点灯時間を制御 して、 フ レ ネ ル板お よ び シ ー ト を順次所定方向 に移動 /S させる と 良い。 また、 上記 コ ン ピ ュ ー タ に よ 、 点灯 光を 行光、 集れん光、 拡散光等にな る よ う に適宜制 御する と 、 本発明に よ って得 よ う とする最 も望 ま しい フ レ ネ ル 板及び シ ー ト が容易に得 られる 。
    [0045] なお 、 フ レ ネ ル板等に感光剤を塗布 して感光膜を形 0 成する 方法、 該感光膜の光の当 った部分又は光の当 ら なか った部分のいずれか一方を除去する 方法は 、 写真 フ ィ ル ム の現像で採用 されている の と原理的に同 じで 公知の方法であ るから 、 そのための説明は省略する 。 また 、 凹凸面は 、 図 においては図示の便宜上誇張 して 描いているが、 実際には凹凸面の凸部は非常 に徴細に / Z 形成されている 。
    [0046] 以上の よ う に、 フ レ ネ ル板、 フ レ ネ ル レ ン ズ等の微 細な一部分 のみ、 つや消 し作用を も 有する黒色遮光 膜を形成する こ とは 、 フ レ ネ ル板、 フ レ ネ ル レ ン ズ等 の本来の性能を飛躍的に向上する だけでな く 、 この部 分が遮光の機能を持 って、 いわゆ る " 黒壁 " を形成す る ので、 垂直面 を通る成分を も った光が遮斷される こ とにな 、 ク' レ 了防止の効果が得 られる 。 特に 、 ォ — ノく 一 へ ッ ド ブ ロ ジ ェ ク タ に この よ う な フ レ ネ ル板等
    [0047] /0 を用いた場合には、 上記の よ う に遮光膜を形成する こ とは主に光源の光がユーザの眼にグ レ了 と して人らな い効杲があ る 。
    [0048] 以上に 、 フ レ ネ ル レ ン ス' 、 フ レ ネ ル板、 フ レ ネ ル シ 一 ト 等に本発 ^の方法を適用 した場合について説明 し
    [0049] / た力；、 本発明の方法は 、 C E T 等のデ ィ ス プ レ イ 面に 用いる表面反射光視野外除去板 も 用いる こ とができ る 。 この よ う な表面反射視野外除去板は例えば第 / 7 図お よび第 / f 図 に示すよ う に傾-斜面 7 お よび垂直面 f からな る微細な突条 R を多数平行に設けた透明板体
    [0050] 20 ( または シー ト ） 3 0 力 らな ！？ 、 こ の板体 3 0 をディ ス ブ レ イ 面 / の前面に設ける こ と に よ って、 表面反 射光 3 «2 はデ ィ ス プレイ 面 J / を見る人の 目 J J の視 野外へ除去される の で 、 デ ィ ス プ レ イ 面 J / を板体 S を通 して反射光 ^ よ る まぶ しさな しに見る こ とがで き 。 / 3 しか しなが ら 、 かかる表面反射の視野外除去板 J 0 を 、 例えば、 C R T 等のデ ィ ス プ レ イ 面 用いた場合 は 、 上記構成では、 十分な効果を発撺する こ とがで きない。
    [0051] i- 例えば、 C R T 等の デ ィ ス プ レ イ を例にする と 、 と の デ ィ ス プ レ イ 面力； 、 すつ き ]7 と見やす く な るため に は、 最低で も 、 二つの重要な条件が必要であ る 。
    [0052] その第 / の条件は、 前述の よ う に デ ィ ス プ レ イ 面の 表面反射が眼に入らない こ と で、 その第 ·2 の条件は 、 /0 デ ィ ス プ レ イ 面に よ けいな光が入 っ て 、 コ ン ト ラ ス ト を さげない こ と であ る 。 よ けいな光 とは 、 例えば突条
    [0053] R の垂直面 から入射する光であ るが 、 こ の光が 、 ク' レ ア 、 二重像 、 光拡散現象 と色 々 の悪い現象 を伴 う こ とがあ る 。 そ して 、 こ の現象は 、 第 / f 図 に示す角度 /S <9 が小 さ く な るほ ど大き く な る 。 と こ ろ力； 、 角度 0 力； 大き く な る ほ ど 、 表面反射の視野外除去の効果が劣 つ て く るため 、 従来は これ ら の相容れない条件が問題 と な っていた 。
    [0054] こ の間題は、 本発明の方法に よ ] 表面反射光視野外 20 . 除去板 J の突条 R の垂直面 のみに遮光膜 J J を第 / ？ 図 に示すよ う に形成する こ と よ ] 解決される 。 こ の遮光膜 3 に よ ] 矢印 J ^ で示すよ う に入射する よ けいな光が遮 られ、 デ ィ ス プ レ イ 面がすつ き ] と見 やす く な る 。 しか も 、 表面反射光の完全除去のため に 前記角度 0 を小 さ く して斜面 7 を急傾斜にする こ と も I f- 可能 とな j 、 前記 ·2 つの条件を満たすこ とができ る よ う になる 。 なお 、 遮光膜 J J の形成は第 / 図 K1つ 、 て説明 した方法に よ ]) 行 う こ とができ る 。
    [0055] 表面反射光視野外除去板は、 第 《2 ク 図 に示すよ う に J 両面 突条 R を有する板 3 0 a であ って も よい 。 こ の 場合の遮光膜 J 3 a の形成は前述 と同様な方法 よ D 行 う こ とができ る 。
    [0056] 目 的 とする 方向以外の方向から の光の照射がない よ う にするための遮光効果をねら った も の と しては、 従 /0 来、 第 《2 / 図に示すよ う な ブ ラ イ ン ド効果を出 したブ ラ イ ン ド板 力；あ る 。 こ の ブ ラ イ ン ド板 J は、 適 宜な間隔で平行 黒色簿膜 J を有する よ う に透明な プ ラ スチ ッ ク 3 7 でかためた板状の も の と な つている c こ の プ ラ イ ン ド板 3 J" は 、 遮光効果が著 しいが 、 製法 /S 上 、 ー鲩 ^は積層固化 した も のをス ラ イ ス研摩 してい る ので量産性がな く 、 非常 に高価で、 一般の使用には 適さない。 また、 こ の ブ ラ イ ン ド板 3 は、 前述の第 / 条件の表面反射対策が全 く な されていないので、 c R T の デ ィ ス プ レ イ 面に適用 した場合 ^は 、 致命的な 20 欠点があ る 。
    [0057] 本発明の膜層形成方法 おける感光膜形成、 感光処 理、 洗い落 と し、 といった工程は 、 どれ も 量産性！ 適 した も の で 、 製造 コス ト に量産効杲を期待でき る も の である 。 また本発明の方法を施すこ とができ る フ レ ネ. ル板 、 フ レ ネ ル シー ト は 、 ブ リ ズ ム角を大き く 形成で き る の で 、 表面反射の視野外除去効果が著 し く 、 また 遮光効果が著 し く なる ので 、 その適用分野が著 し く 増 加する 。 産業上の利用可能性
    [0058] 本発明 の 方法 ま 、 レ ン ズ 、 ブ リ ス' ム 、 フ レ ネ ル极 、 フ レ ネ ル レ ン ズ 、 反射光視野外除去板等の光路変換要 素以外に 、 凹凸面を も つ任意の物体 部分的に膜層を 施すために用いる こ とがで き る 。
    权利要求:
    Claims

    求 の
    /. 凸部を有する 凹凸面を備えた物体の前記凹 ώ面 の全面 :感光剤を塗布 して感光膜を形成 し、 凹 ώ面に 対 し斜め方向 光源か らの光を当て 、 光源に面する凸 部の面部分 のみ光が照射され、 光源 面 しない他の 面部分が影の部分 となる よ う に し、 次いで、 以上の よ う に感光処理された感光膜にェ ッ チ ン グ処理を施 し、 洗浄に よ って 、 光源に面する前記面部分お よび前記影 の部分のいずれかの部分にのみ膜層を残すよ う にする
    /0 こ とカゝ らな る 、 物体の凹凸面への部分的膜層の形成方 sir o
    2. 凹凸面に対する光の照射が少 く と も ·2 つの異な る 方向からな される 、 請求の範囲第 / 項記載の物体の 凹凸面への部分的膜層の形成方法。
    /S 3. 凹凸面の斬面形状が湾曲 した波形状をなす、 請 求の範囲第 / 項記载の物体の凹凸面への部分的膜層の 形成方法 。
    凹凸面の断面形状が鋸歯状をなす、 請求の範囲 第 / 項記載の物体の凹凸面への部分的膜層の形成方法
    20 &. 物体が全体的に円盤形状をな し、 凹凸面の凸部 が同心的な環状突条をな し、 物体の中心に関 して比較 的小さい中心角のセ ク タ の範囲内で物体周縁近傍の凹 凸面上方に光源が位置せしめ られ、 上記セ ク タ の範囲 外の凹凸面上に光源からの光が達 しないよ う にセ ク タ / 7 の範囲の上方の空間を他の空間に対 して仕切 る仕切 が設けられ、 物体がその中心まわ で回転 させられる， 請求の範囲第 / 項記載の物体の凹凸面への部分的膜層 の形成方法 。
    r 物体が全体的に円盤形状をな し、 凹凸面の凸部 が同心的な環状突条をな し、 凹凸面の上方には物体の 中心において光源が位置せ しめ られ、 物体がその中心 ま わ ] で回転させられる β 請求の範囲第 / 項記載の物 体の凹 ώ面への部分的膜層の形成方法。
    /0 7. 物体が盤状体であ 、 凹凸面の凸部が 、 盤状体 の中心線に関 して対称形状を も ちかつ中心線に平行を なす直線突条をな し、 凹凸面の上方 は盤状体の中心 線上に遮光板が樹立され、 遮光板の各側 にお い て盤状 体の外縁近傍上方に突条 対 して平行をなすよ う に線
    /S 光源が置かれて 、 その側 おける光の照射がな される、 請求の範囲第 / 項記載の物体の凹凸面への部分的膜層 の形成方法 。
    物体が盤状体であ 、 凹凸面の凸部が 、 盤状体 の中心線に関 して対称形状を も ちかつ中心線に平行を 0 なす直線突条をな し、 凹凸面の上方には中心線の位置 において突条に対 し平行をなすよ う 線光源が置かれ て光の照射がな される 、 請求の範囲第 / 項記載の物体 の凹凸面への部分的膜層の形成方法 。
    ？. 物体が盤状体であ 、 凹凸面の凸部が平行な直S 線突条をな し 、 盤状体上には突条に平行をなす ·2枚の /ε 遮光板が間隔をおいて樹立され、 両遮光板の間に突条 に対 し平行をなすよ う に線光源が置かれて光が照射さ れ、 盤状体が遮光板に対 して 、 突条に直角をなす方向 に送られる 、 請求の範囲第 / 項記載の物体の凹凸面へ の部分的膜層 の形成方法。
    / 0. 物体が可撓性材料の帯状体であ 、 凹凸面の凸 部が帯状体の長手方向 直角をなす方向 延びる多数 の平行な直線突条であ 1 、 帯状体が 、 その突条が直線 形状を維持 した ま ま 凹凸面が部分的に膨出 した形状を
    /0 なすよ う に帯状体に湾曲変形を与える よ う な案内部材 の表面に接 して長手方向 に送られ、 凹凸面が部分的 : 膨出する 領域で 、 突条 平行をなす光源からの光を凹 凸面に照射する 、 請求の範囲第 / 項記载の物体の凹凸 面への部分的膜層の形成方法。
    /5 / /. 案内部材が ド ラ ム であ る 、 請求の範囲第 / ク項 記載の物体の凹凸面への部分的膜層の形成方法。
    / 2, 光が平行光と して照射される 、 請求の範囲第 / 項記載の物体の凹凸面への部分的膜層の形成方法 。
    / 光が収れん光と して照射される 、 請求の範囲第
    20 / 項記載の物体の凹凸面への部分的膜層の形成方法。
    光が拡散光と して照射され 、 請求の範囲第 / 項記載の物体の凹凸面への部分的膜層の形成方法。
    / ， 物体カ 、 レ ン ズ 、 プ リ ズ ム 、 フ レ ネ ル板等の光 路変換要素であ る 、 請求の範囲第 / 項記載の ¾ /体の凹 S 凸面への部分的膜層の形成方法。
    类似技术:
    公开号 | 公开日 | 专利标题
    JP2917879B2|1999-07-12|フォトマスク及びその製造方法
    US6480307B1|2002-11-12|Plane light source unit and method for manufacturing holographic light-guide used for the same
    US4758094A|1988-07-19|Process and apparatus for in-situ qualification of master patterns used in patterning systems
    US6524756B1|2003-02-25|Gray scale all-glass photomasks
    JP2510069B2|1996-06-26|レ―ザ・アブレ―ション・マスクの製造方法
    US4131363A|1978-12-26|Pellicle cover for projection printing system
    US5920380A|1999-07-06|Apparatus and method for generating partially coherent illumination for photolithography
    US5457006A|1995-10-10|Method of manufacturing photo-mask and photo-mask manufactured thereby
    KR101060323B1|2011-08-29|네가티브 포토레지스트를 이용하여 기판을 통과하는미세구조의 마스터링을 위한 시스템과 그 방법 및 상기방법으로 제조한 미세구조 마스터
    US5130852A|1992-07-14|Plate with lens array
    US4851311A|1989-07-25|Process for determining photoresist develop time by optical transmission
    US4211834A|1980-07-08|Method of using a o-quinone diazide sensitized phenol-formaldehyde resist as a deep ultraviolet light exposure mask
    US4497015A|1985-01-29|Light illumination device
    JP4845290B2|2011-12-28|マイクロレンズアレイ、光学機器および光学ファインダー
    US20110044061A1|2011-02-24|Light Control Devices Implemented With Diffusers Having Controllable Diffusion Characteristics
    JP3553929B2|2004-08-11|光拡散性材料を製造する方法
    BE1007364A3|1995-05-30|Procede, systeme et masque de projection.
    US5172000A|1992-12-15|Spatial filter for optically based defect inspection system
    JP2752071B2|1998-05-18|磁気記録媒体とこれを用いるサーボ装置
    JP2006107993A|2006-04-20|集光シート、面光源装置、集光シートの製造方法
    EP0865649B1|2001-11-21|Electrical device comprising an array of pixels
    US4751169A|1988-06-14|Method for repairing lithographic transmission masks
    DE2952607C2|1994-04-14|Verfahren zur optischen Herstellung einer Einstellscheibe für eine Kamera
    US20020034012A1|2002-03-21|Light control devices and methods implemented with kinoform diffusers having controllable diffusion characteristics
    EP0010998A1|1980-05-14|Procédé d&#39;alignement optique de motifs dans deux plans rapprochés et dispositif d&#39;alignement mettant en oeuvre un tel procédé
    同族专利:
    公开号 | 公开日
    JPH0463361B2|1992-10-09|
    EP0179925A1|1986-05-07|
    AU4354285A|1985-11-28|
    EP0179925A4|1986-09-23|
    JPS60230601A|1985-11-16|
    EP0179925B1|1989-01-04|
    US4670095A|1987-06-02|
    DE3567286D1|1989-02-09|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    1985-11-21| AK| Designated states|Designated state(s): AU US |
    1985-11-21| AL| Designated countries for regional patents|Designated state(s): CH DE FR GB IT NL SE |
    1985-12-31| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 1985902154 Country of ref document: EP |
    1986-05-07| WWP| Wipo information: published in national office|Ref document number: 1985902154 Country of ref document: EP |
    1989-01-04| WWG| Wipo information: grant in national office|Ref document number: 1985902154 Country of ref document: EP |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    JP59088030A|JPH0463361B2|1984-05-01|1984-05-01||
    JP59/88030||1984-05-01||DE8585902154A| DE3567286D1|1984-05-01|1985-05-01|Method of forming non-continuous films on rugged or wavy surface of object|
    [返回顶部]