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    公开号:WO1983003031A1
    申请号:PCT/JP1983/000040
    申请日:1983-02-10
    公开日:1983-09-01
    发明作者:Corporation Sony
    申请人:Takeshita, Kaneyoshi；
    IPC主号:H01L27-00
    专利说明:
    [0001] ί
    [0002] 明 細 固体撮像装置 技術分野
    [0003] こ の発明は電荷転送素子を用いて構成された固体撮 像素子を具備 した撮像装置に関 し、 よ ] 詳細には、 ィ ン タ 一 ラ イ ン転送型の固体撮像素子が用 られ、 これ に対する シ ャ ッ タ 一機構が配さ れて静止画撮傢出力信 号が得 ら れる よ う に され、 静止画撮像時に於け る 実質 的 ¾受光開 口率が向上さ れて受光感度が高 め ら れるべ ぐ 改善された固体撮像装置に関する 。
    [0004] 冃 乐技術
    [0005] 電荷結合素子 （チ ャ ー ジ · カ ッ プル ド ' デ ィ バ イ ス、 以下 C C D と 呼ぶ） 等の電荷転送素子を用いて構成さ れた固体撮像素子には、 大別 して、 フ レ ー ム 転送型 と イ ン タ 一 ラ イ ン転送型 と カ ぁ 、 夫 々 、 その長所を有 効に生かすべ く 使い分け られている。 '
    [0006] 例えば、 C C D を 用いた イ ン タ 一 ラ イ ン転送型固体 撮像素子の典型的一例は図面の第 / 図に示される如 ぐ、 半導体基体上に、 水平列及び垂直列を 形成 して配され た複数の感光部 / と 感光部 / の垂 II列 に沿って配され た複数列の C C D 群で形成 さ れた垂直転送部 =2 と を含 んで成 る受光 · 垂直転送部 J と 、 こ の受光 · 垂直転送 部 J に結合された C C D 群で形成さ れた水平転送部
    [0007] - - と 、 出力部 と か ら構成され、 出力部 か らは信号出 力端子 a が導出 されて形成される。
    [0008] 斯かる撮像素子 ¾具備 した固体撮像装置が構成され るが、 その場合には、 垂直転送部 c2 及び水平転送部 には、 夫 々 、 所定の垂直転送駆動信号及び水平転送駆 動信号が供給されて電荷転送動作がな される。 そ して、 所定期間内の受光に よ 各感光部 / で発生され蓄積さ れて得 られた信号電荷が、 垂直転送部 c2 に読み出され、 こ れが垂直転送部 2 の電荷転送動作に よ 、 映像信号 の各水平ブ ラ ン キ ン グ期間に相当する期間 ご と に順次 水平転送部 へ垂直転送されてい く 。 こ の水平転送部
    [0009] ^ には、 信号電荷が感光部 / の / 水平列で得 られる も の ご と に順次転送され、 これが水平転送部 の電荷転 送動作に よ 、 映像信号の各水平映像期間に相当する 期間内に 出力部 へ水平転送されてい き 、 信号出力端 子 a に撮像出力信号が得 られる のであ る。
    [0010] 上述の撮像素子の受光 · 垂直転送部 J は、 従来に於 いては、 例えば、 第 o2 図に示される如 ぐ 、 感光部 / の 各垂直列 と 各垂直転送部 2 と の間に読出 しゲー ト 部 が形成され、 各感光部 / の周囲には、 さ ら に、 チ ャ ン ネ ル · ス ト ッ パー " 及びォ ー ノ 一 フ ロ ー · コ ン ト ロ ー ル * ゲー ト 部 が形成され ！ てい る。 ま た、 オ ーバ一 フ ロ ー · コ ン ト ロ ー ル . グ ー ト 部 に隣接 してオー バ 一 フ ロ ー . ド レ イ ン ？ カ 配され、 こ の ォ 一 ノ 一 フ ロ ー · ド レ イ ン ヲ と 隣 の垂匼転送部 =2 と の間はチ ャ ン ネ ル f _c^.' i • ス.、ト ッ パー / i で区別されてい る。 そ して、 上述の 各部上には絶緣層が配さ れ、 こ の絶緣層を介 して、 垂 直転送部 上には、 水平方向に延びる 垂直転送電極
    [0011] Φ / 及び j が垂直方向に交互に配列 されて い る。 垂 直転送電極 0 / 及び ？5 «2 は、 夫 々 、 蓄積部電極？ 5 / c 及 び？ ^ c と 転送部電極 （電位障壁電極） 0/ t 及び 《2 t と で構成されている。 そ して、 電極 0/ c 及び の下方 が垂直転送部 2 の蓄積領域 と さ れ、 ま た、 電極 及 び？^ t の下方が垂直転送部 =2 の 転送領域 （電位障壁領 域） と されていて、 転送領域には、 隣接する 蓄積領域 よ ]) 電位が低 く （浅 ぐ ） なって電位障壁を形成す るた め、 例えば、 イ オ ン注入領域が設け ら れる 、 あ る いは、 絶縁層の厚さ が大 と さ れる等の処理が な さ れてい る。 ま た、 読出 しゲ ー ト 部 上には、 垂直方向に延びる読 出 しゲ ー ト 電極 T が配され、 さ ら に、 オ ー バ 一 フ ロ ー • コ ン ト ロ ー ル · ゲー ト 部 上には、 同 じ ぐ 垂直方向 に延びる ォ 一 ノ 一 フ ロ 一 · コ ン ト 口 一 ノレ · ゲ ー ト 電極 O G が配されて いる。 そ して、 感光部 / の部分を残 し て他の各部の上には、 遮光層 / / が配されて遮光部が 形成されてい る。
    [0012] 斯か る C C D ¾ 用いた イ ン タ 一 ラ イ ン 転送型固体撮 像素子の受光 · 垂直転送部 J に於いて—は、 所定の ゲー ト 信号 t が読出 しゲー ト 電極 T に供給さ れて、 読出 しゲ一 卜 部 に読出 しゲ一 ト 電圧が選択的に 印加され、 才 一 ノ ー フ ロ ー · コ ン ト ロ ー ノレ · ゲ ー 卜 部 に は、 ォ ―パ.一 フ ロ ー · コ ン ト ロ ー ル · ゲ一 ト 竃極 0 G を通 じ て所定の バ イ ア ス電 BEが印加される。 そ して'、 例えば、 =2 相の駆動信号 / 及び ^ ^ が、 夫 々 、 垂直転送電極
    [0013] $5 / 及び 0 ·2 に供給され、 こ れ らの電極下の垂直転送 部 =2 に駆動信号 / 及び ώ の電 Εが印.加される。 こ れに よ ！） 各垂直列を るす感光部 / の 信号電荷が、 読出 しゲー ト 部 ¾介 して垂匼転送部 =2 へ、 例えば、 フ ィ 一ル ド周期で読み 出され、 さ ら に、 読み 出され.た信号 電荷の水平転送部 へ の垂直転送が、 各水平ブ ラ ン キ ン グ期間に相当する期間毎に行われる。
    [0014] と こ ろ で、 上述の如 く の受光 ， 垂直転送部 J を有す る従来の C C D を用いた ィ ン タ ー ラ ィ ン転送型固体撮 像素子に よ る撮像が行われる場合、 被写体か らの光を 受ける受光部分は、 遮光部が形成されてい い感光部
    [0015] / だはであ ]3 、 受光開 口率、 即ち、 受光 · 垂直転送部
    [0016] 3 の全体の面積に対する受光のため開 口 している部分 の面積の割合、 は極めて低い。 こ の た め、 受光感度が 低い も の と ¾ 、 特に、 受光 · 垂直転送部 J に対 して シャ ッ タ ー機構が設け られて、 シ ャ ッ タ ー機構が開状 態 と される短時間にのみ受光が行われ、 その短時間の 受光に よ 1) ,感光部 / に得 られる 信号電荷に も とず く 撮 像出力 信号を得る よ う にされる静止画撮像時には、 充 分 な ダ イ ナ ミ ッ ク レ ン ジ及び雑音対信号比 ¾有 した静 止画撮像出力 信号が得 られ ¾ い と い う 不都合があ る。
    [0017] 発明の 開示 、一 V IFO J 斯..、かる 点に鑑み こ の発明は、 イ ン タ ー ラ イ ン転送型 の固体撮像素子に対 して シ ャ ッ タ 一機構が設け られた 静止画撮像出 力 信号を得る こ と がで き る 構成を有 し、 撮像時に実質的受光開 口率が向上されて受光感度が高 め られる よ う に された、 改善さ れた固体撮像装置を提 供する こ と を 目 的 と する。
    [0018] そ して、 こ の発明 に係る 固体撮像装置は、 受光に よ i 電荷の発生及び蓄積をする感光部 と 、 感光部か ら電 荷を読み 出すための読出 し ゲ ー ト 部 と 、 感光部か ら読 み出 された電荷を転送する 転送部 と を有 し、 かつ、 感 光部及び転送部が遮光部で覆われる こ と な く 形成され た イ ン タ ー ラ イ ン転送型固体撮像素子 と 、 こ の撮像素 子に対する シ ャ ッ タ ー機構 と が配さ れて成 、 受光時 には シ ャ ッ タ ー機構が開状態 と される と と も に P r ≤
    [0019] P t < P s (但 し、 P s , P t 及び P r は、 夫 々 、 感 光部、 読出 しゲー ト 部及び転送部の ポ テ ン シ ャ ル） と され、 電荷読出 し時には シ ャ ッ タ ー機構が閉状態 と さ れる と と も に P s ≤ P t < P r と され、 電荷転送時に は シ ャ ッ タ ー機構が閉状態 と される と と も に P t <
    [0020] P s ， P t < P r と されて、 転送部に よ ]3 転送さ れた 電荷に も と ず く 撮像信号が得 ら れる よ う に さ れる。
    [0021] こ の よ う に構成される こ の発明 に係る 固体撮像装置 に於いては、 シ ャ ツ タ 、一機構が開状態 と さ れて イ ン タ — ラ ィ ン 転送型の 固体撮像素子の受光が な される 時、 その正規の感光部に加えて垂直転送部が実質的 な 感光
    [0022] 〇 I
    [0023] V Ir'O 部 と.、、して動作する よ う にされる のて、 実質的受光開 口 率が大幅に向上さ れて受光感度が著 し く 高 い も の と る。 従って、 こ の発明に係る 固体撮像装置に よ れば、 信号対雑音比に優れ、 拡大されたダ イ ナ ミ ッ ク レ ン ジ を有する静止画撮像出力信号を得る こ と がて き 、 ま た、 シャ ッ タ ー機構の開状態時間が極めて短 ぐ される 、 高 速シャ ッ タ ー動作を供 う 静止画撮像 も 可能 と ¾ る。 さ ら に、 固体撮像素子中 に於ける電荷の蓄積、 転送に於 いて、 過剰電荷や不要電荷が必要な 信号電荷に混入す る こ と がほ とんど な いので、 再生画像上でブ ル ー ミ ン グ現象ゃ ス ミ ァ ー現象を生ずる劣化が著 し く 輊減され た撮像出力信号を得る こ と がで き る。
    [0024] 図面の簡単な説明
    [0025] 第 / 図は ィ ン タ ー ラ ィ ン転送型固体撮像素子の概要 を示す構成図、 第 。2 図は従来の イ ン タ ー ラ イ ン転送型 固体撮像素子の受光 · 垂直転送部を示す部分拡大図、 第 ？ 図は こ の発明の実施伊 に用い られる ィ ン タ ー ラ イ ン転送型固体撮像素子の一例の受光 · 垂直転送部を示 す部分拡大図、 第 図は こ の発明の実施例の動作説明 に供される 図であ る。
    [0026] 発明を実施する ための最良の形態
    [0027] 以下、 の発明を実施す る ための最良の形態につい て、 第 J 図及び第 図、を参照 して述べる。
    [0028] 第 J '図は、 こ の発明に係る 固体撮像装置の実施例に 使用される 、 イ ン タ ー ラ イ ン転送型固体撮像素子の受 ク - 光 ·...垂直転送部の構成を示す。 こ の固体撮像素子の例 は C C D を 用いた ィ ン タ 一 ラ ィ ン 転送型固体撮像素子 であって、 全体の構成は第 / 図に示される如 く であ る。 第 J 図に示さ れる受光 · 垂直転送部に於いては、 '第 =2 図に示される 従来の C C D を用いた ィ ン タ 一 ラ ィ ン転 送型固体撮像素子 と 同様に、 感光部 / 、 垂直転送部 =2、 読出 しゲー ト 部 、 チ ャ ン ネ ル · ス ト ッ パ ー 7 、 ォ ー ς — フ ロ ー 《 コ ン ト ロ ー ノレ · ケ ー ト 部 f ゝ 才 ー ： ー フ ロ ー · ド レ イ ン ？ 及びチ ャ ン ネ ル · ス ト ッ パ ー / 力' 形成され、 さ ら に、 第 =2 図に示さ れる と 同様に、 絶緣 層を介 して、 蓄積部電極 0 / c 及び と 転送部電極
    [0029] 及び 0 <2 t と で夫 々 構成される 垂直転送電極 / 及 び Φ 、 読出 しゲ 一 ト 電極 T 及びオ ーバ一 フ ロ ー · コ ン ト ロ ー ル · ゲー ト 電極 O G が配されて い る。
    [0030] そ して、 第 2 図に示さ れる 受光 · 垂直転送部 と の相 違は遮光部に あ ] 、 こ の第 J 図の受光 · 垂直転送部で は、 才 一 フ ロ ー · コ ン ト ロ — ノレ ， ゲー ト 部 、 才 一 フ ロ ー · ド レ イ ン ヲ 及びチ ャ ン ネ ノレ · ス ト ッ ハ' 一 / 上にのみ遮光層 / / が配されて遮光部が形成さ れてい る。 従って、 感光部 / に加えて、 垂直転送部 =2、 読出 し ゲ一 ト .部 及びチ ャ ン ネ ノレ · ス ト ツ バ 一 7 も 遮 光部に覆われる こ と な く 受光開 口部分 と さ れて い る。
    [0031] こ の 発明の実施例は Λ 斯か る 受光 · 垂直転送部を有 した C C D を用いた ィ ン タ 一 ラ ィ ン 転送型の 固体撮像 素子を 用いて構成さ れる 固体撮像装置であって、 静止 ε
    [0032] 画撮.像出力信号を得べ く 、 その撮像素子に対 して設け られた シ ャ ッ タ ー機構 ¾有す も の と さ れ、 こ の シ ャ ツ タ ー機構に よ 撮傢素子の受光 · 垂直転送部への入射 光が制限さ れる 。 即ち、 シ ャ ッ タ ー機構が開状態 と さ れる と き のみ、 撮像素子の受光 · 垂直転送部に光が入 射せしめ られる も の と される ので ある。
    [0033] そ して、 撮像時に於いては、 第 J 図に示される受光
    [0034] • 垂直転送部に形成される各部の ポテ ン シ ャ ル （界面 電位） が制御される。 こ こ で、 感光部 / の ポテ ン シャ
    [0035] ^ ¾ P s , 垂直転送部 =2 の ポ テ ン シ ャ ルを P r 、 読出 しゲー ト 部 の ポテ ン シ ャ ルを P t オ ーバー フ ロ ー
    [0036] • コ ン ト ロ ー ル · ザ 一 ト 部 の ポ テ ン シ ャ ルを P 0 g、 ォーノ 一 フ ロ ー · ド レ イ ン ヲ の ポテ ン シャ ノレを P o d 、 チ ャ ン ネ ル · ス ト ッ パ 一 / の ポ テ ン シ ャ ルを P c s と する と 、 先ず、 受光 · 垂直転送部に光を入射せ しめ、 感光部 / に入射光に応 じた信号電荷の蓄積を させる受 光時には、 シャ ッ タ ー機構が開状態 と される と と も に、 各部の ポ テ ン シャ ル関係が第 図 A に示される如 く と され、 ま た、 感光部 / に蓄積された信号電荷を読出 し ゲ一 ト 部 έ を介 して垂直転送部 =2 に読み出す電荷読出 し時には、 シ ャ ッ タ ー機構が閉状態 と される と と も に、 各部の ポテ ン シ ャル関係が第 図 B に示される如 く と され、 さ ら に、 垂 ΐ!転送部 2 へ読み 出 された信号電荷 を水平転送部 へ転送する電荷転送時には、 シ ャ ツ タ —機構が閉状態に保たれる と と も に、 各部のボ テ ン シ
    [0037] 。MH ヤ ノ 関係が第 図 C に示さ れる如 く と さ れる。 な お、 第 図 A ， B 及び C に於いて、 ポ テ ン シ ャ ル P は下方 に 向って正の 値が大 と る る 、 即 ち、 高 く な る （深 く る る） よ う に示さ れている。 そ して、 第 図 B に於ける ポ テ ン シ ャ ル P r に関 しての点線は、 各垂直列を なす 感光部 / の隣 ] 合 う ' =2 個の信号電荷が夫 々 フ ィ ー ル ド 毎に別個に読み 出さ れる フ ィ — ノレ ド · イ ン タ ー レ ー ス 読出 しがさ れる 場合に於ける 、 あ る フ ィ ー ル ド で読出 しが行われな い感光部 / に対応する 部分の垂直転送部. =2 の ポ テ ン シ ャ ルを示す。 ま た、 第 図 C に示される 電荷転送時に於いて、 垂直転送部 2 の ポ テ ン シ ャ ル
    [0038] P r は、 供給さ れる 駆動信号に応 じて、 各垂直転送電 極 0 / 及び J 下で変化する が、 図示の ポ テ ン シ ャ ル
    [0039] • レ ベ ルは深い部分を示 し、 それに隣接す る 部分のポ テ ン シ ャ · レ ベ ルは図示の レ ベ ル よ 低 ぐ （浅 ぐ ） なってい る。
    [0040] 第 ^ 図 A ， B 及び C か ら 明 らか ¾如 く 、 感光部 / の ホ。 テ ン シ ャ ノレ P s 、 才 ー ノ 一 フ ロ ー · コ ン ト ロ ー ノレ · ゲ ー ト 部 の ポ テ ン シ ャ ノレ P 0 gゝ オ ー バ ー フ ロ ー ， ド レ イ ン ヲ の ポ テ ン シ ャ ル P0d及びチ ャ ン ネ ル · ス 卜 ッ パ ー / の ポ テ ン シ ャ ル P c sは、 受光時、 電荷読出 し 時及び電荷転送時を通 じて夫々 一定に保た れ 、 P e s < Pog < P s く Pod と さ、れる。 そ して、 感光部 / に蓄積 さ れる 電荷に過剰分が生 じて、 ポ テ ン シ ャ ル Pogに よ る 雷位障壁を越える と 、 こ の過剰分がオ ー バ ー フ ロ ー
    [0041] OVPI / 0
    [0042] • K、レ イ ン ？ に流入 して排除される。 、
    [0043] —方、 垂直転送部 2の ポ テ ン シ ャ ル P r 及び読出 し ザ 一 ト 部 の ポ テ ン シ ャ ル P t は、 垂直転送電極 ？ 5 / 及び ？ 5 «2 に供給される駆動信号 / 及び P 2 の電圧、 及び、 読出 しゲー ト 電極 T に供給される ゲ ー ト 信号 φ t に も と ず く 読出 しゲー ト 電 Eに対応 して変化せ し め られる。
    [0044] 先ず、 受光時には、 第 図 Aに示される如 く 、 P r < P t く P s と される。 こ の と き 、 上述の如 く 感光部 / 、 垂直転送部 =2 及び読出 しゲ一 卜 部 ^ は、 上述の如 く 、 それ ら の上に遮光部が形成されていず、 ま た、 シ ャ ッ タ ー機構が開状態 と さ れる こ と に よ D 入射光 ¾受 け、 入射光に応 じた電荷を発生する。 これ ら感光部 /、 垂直転送部 o2 及び読出 しゲ - ト 部 で発生された電荷 は、 P r < P t く P s と さ れている こ と に よ 、 最 も 高いポ テ ン シ ャ ル P s を有する感光部 / に集め られて 蓄積され、 信号電荷 Q と される。 お、 この場合、 P r = P t く P s と る よ う に されて も よ い。 こ の よ う に して、 感光部 / で発生される 電荷に加えて、 垂直 転送部 <2 及び読出 しゲー ト 部 ^ で発生される電荷が信 号電荷 と な ] 、 特に、 垂直転送部 。2 は比較的広い面積 の感光部 と しての役割 ¾杲す こ と に な る の で、 入射光 に対する 信号電荷量が.著 し く 増大せ しめ られる。 即ち、 実質的受光開 口率が向上されて受光感度が高め られる こ と に な る。 / /
    [0045] 次に、 電荷読出 し時には、 第 図 B に示さ れる 如 く、 P s = P t く P r と される の で、 感光部 / に蓄積され た信号電荷 Q力；、 読出 しゲ ー ト 部 を介 して垂直転送 部 2へ と 読み 出 される。 な お、 こ の場合、 P s < P t く P r と ¾ る よ う に されて も よ い。 こ の時には、 シ ャ ッ タ ー機構が閉状態 と されて い る ので、 入射光は シャ ッ タ 一機構で遮断さ れてお ]3 、 感光部 / 、 垂直転送部 »2 及び読出 しゲ ー ト 部 が受光す る こ と は い。 ま た、 フ ィ 一 ノレ ド * イ ン タ ー レ ー ス読出 し方式が と られて、 電荷読出 しがされな い感光部 / があ る場合には、 垂直 転送部 = の電荷読出 しがさ れる い感光部 / に対応する 部分の ポ テ ン シ ャ ルは 、 第 図 B で点線で示す如 く 、 P r < P t と される。
    [0046] さ ら に、 電荷転送時には、 第 図 C に示される如 く、
    [0047] 1; く ？ 3 ， ？ 1； く ？ ]" と さ れ、 こ の ポテ ン シ ャ ノレ
    [0048] P r が駆動信号 0 / 及び ？ 5 の垂直転送パ ル ス部分の 電圧に応 じて高 レ ベル と 低 レベ ル と に変化せ しめ られ、 信号電荷 Q の垂直転送部 。2 か ら水平転送部 への、 各 水平ブ ラ ン キ ン グ期間に相当 する期間毎に於け る 転送、 即 ち、 垂直転送が行われる。 こ の時に も 、 シ ャ ッ タ ー 機構が閉状態 と されてお 、 感光部 / 、 垂直転送部 =2 及び読出 しゲ 一 ト 部 が^光す る こ と は な い。
    [0049] 以上の よ う に して、 、水平転送部 へ各水平 ブ ラ ン キ ン グ期間に 相当す る 期間毎に転送さ れて く る 信号電荷 Qは、 水平転送部 に よ ]) 各水平映像期間に相当 する
    [0050] 〇νπ / 2
    [0051] 期 Γ曰 内に 出力部 へ転送され、 信号出力端子 a か ら, 上述の受光時の受光に も と ず く 静止画撮像出力 信号が フ ィ ー ル ド単位で得 られる の であ る。
    [0052] な お、 第 ό1 図に示される受光 · 垂直転送部の構成に 於いて、 垂！：転送電極 . / 及び ？5 2 と 読出 しゲー ト 電 極 T と の設置に関 しては、 先ず、 読出 しゲ ー ト 電極 T が配され、 その上に絶縁層を介 して垂直転送電極 ？ 5 / 及ぴ 0 2 が互いに絶緣された状態で配される のが作成 上都合 よ い。 ま た、 垂直転送電極 ？ 5 / 及び ？5 は垂直 転送を 2 相の駆動信号に よ る =2 相転送モ ー ド と するた めの も の と されてい るが、 これに替えて、 J 相 も し く は 相の駆動信号に よ る J 相 も し く は 相転送モ ー ド と する ための垂直転送電極が配される よ う にされて も よ い。 さ ら に、 平面的に形成された ォ "^ バ ー フ ロ ー · ド レ イ ン ？ に替えて、 他の構成に よ る オー バ ー フ ロ ー • ド レ イ ン が形成されて も よ い。
    [0053] 産業上の利用可能性
    [0054] 上の如 く 、 こ の発明に係る 固体撮像装置は、 優れ た信号対雑音比 と拡大された ダ イ ナ ミ ッ ク レ ン ジ を有 する静止画撮像出力 信号が得 られ、 ま た、 静止画撮像 に際 しての高速 シ ャ ッ タ ー動作を可能 と する も のであ つて、 小型かつ軽量化された高級テ レ ビ ジ ョ ン · ス テ' ィ ル · カ メ ラ を構成す、る に好適であ る。
    权利要求:
    Claims
    / 3
    ノ 請求の範囲
    /. 受光に よ 電荷の発生及び蓄積をする感光部（/ ) と 、 該感光部（ /)か ら電荷を読み出すた めの読出 しグ 一 ト 部 と 、 上記感光部（ /)か ら読み出された電荷 を転送する転送部（<2) と を有 し、 かつ、 上記感光部 (/)及び転送部（=2)が遮光部 （//} で覆われる こ と ¾ ぐ 形成された イ ン タ 一 ラ イ ン転送型固体撮像素子と、 該 撮像素子に対する シ ャ ッ タ ー機構とが配され、 上記慼 光部（ / )、 読出 しゲー ト 部（ ）及び転送部（=2)の ポ テ ン シ ャ ル を 夫 々 P s ， P t 及び P r と した と き 、 受光 時には上記 シ ャ ッ タ ー機構が開状態 と される と と も に P r ≤ P t < P s と され、 電荷読出 し時には上記シ ャ ッ タ 一機構が閉状態 と される と と も に P s ≤ P t く P r と され、 電荷転送時には上記 シ ャ ッ タ ー機構が閉 状態と される と と も に P t < P s ， P t < P r と され て、 上記転送部（ ） に よ ] 転送された電荷に も とず く 撮像信号が得 られる よ う にされた固体撮像装置。 上記 イ ン タ ー ラ イ ン転送型固体撮像素子が、 さ ら に、 上記感光部（ / )間にチ ャ ン ネ ル · ス 卜 ッ パ一（ク） を有 し、 該チ ャ ン ネ ル · ス ト ッ パ 一 （ 7 )及び上記読出 しゲー ト 部（ ） も 遮光部 （//) で覆われない よ う に形成 さ れた請求の範囲第 ん頊記載の固体撮像装置。
    d 、' 0
    类似技术:
    公开号 | 公开日 | 专利标题
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
    EP0103023B1|1988-10-05|
    US4605862A|1986-08-12|
    DE3378174D1|1988-11-10|
    EP0103023A4|1986-01-07|
    JPS58142570A|1983-08-24|
    EP0103023A1|1984-03-21|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    1983-09-01| AK| Designated states|Designated state(s): US |
    1983-09-01| AL| Designated countries for regional patents|Designated state(s): DE FR GB NL |
    1983-10-18| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 1983900653 Country of ref document: EP |
    1984-03-21| WWP| Wipo information: published in national office|Ref document number: 1983900653 Country of ref document: EP |
    1988-10-05| WWG| Wipo information: grant in national office|Ref document number: 1983900653 Country of ref document: EP |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    JP57025731A|JPS58142570A|1982-02-19|1982-02-19|Solid-state image pickup device|
    JP57/25731820219||1982-02-19||DE19833378174| DE3378174D1|1982-02-19|1983-02-10|Solid-state image pickup device|
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