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    公开号:WO1981002127A1
    申请号:PCT/JP1981/000014
    申请日:1981-01-21
    公开日:1981-08-06
    发明作者:T Ito
    申请人:Mitsubishi Electric Corp；T Ito；
    IPC主号:B23H7-00
    专利说明:
    [0001] i
    [0002] 明 細 書
    [0003] 発明の名称
    [0004] 放電加工装置
    [0005] 技術分野
    [0006] 本発明は放電加工装置， 特に電極と被加工物とを絶緣 性加工液を介在させて対向させ， その対向極間内に放電 を発生させて上記被加工物を加工する放電加工装置に関 する も のである。
    [0007] 背景技術
    [0008] この種の従来技術と しては第 1 図に示される構成の も のがある。
    [0009] 第 1 図において ， 型ぼ を行 う 電極 ωは加工槽 ）内に 置かれた被加工物 ）と絶緣性の加工液（4)を極間 （G) に'介 して対向 している。 加工電源（5)は直流電源 61) と加工電源 の断続を行 うためのス イ ッ チ ン グ素子 ωと ， 電流制限 抵抗 ）と ， 上記ス ィ ツ チ ン グ素子の断続を制御するため の発振器^ と で構成され， 訢続電流 （I) を電極（1)と被加 ェ物 ）の間に供給する。 断続電流 （I) は ， ι = Ε ~ v g の式であ らわされ， アーク放電中は， 極間電圧 （Vg ) は
    [0010] 20〜30 V , 短絡時は 0 V , 無放電中は E と な .り ， ス イ ツ チ ン グ素子 63がオ フ状態のと き極間電 E Vg は 0Vと な る
    [0011] 0 よ って， この Vgを検出して平滑回路 （6)に よ って平均化 すれば， この値から極間間隙制御を行な う こ とができ る
    [0012] 。 するわち， 極間間隙が広いと き 放電が起 り ずら く ！）
    [0013] SURES /
    [0014] ΟΛΊΡΙ
    [0015] . 一 v,v>o 平均電圧 （VS )は高 く な り ， 極間間隙が狭いと短絡した ] 3 容易に放電するため平均電圧は低下する。 よ って， この 電圧（VS )を基準電 £ (Vr ) と比較して ， —こ の差を極間サー ボ回路に入力すれば， す わち増幅器ひ）で増幅 し， 油 サ 一 ボ コ ィ ル（S)に入力すればすなわち油 E発生ボ ン ブ（9) と ， 油 Eシ リ ン ダー ωと ， 電極支持棒 0D等で構成される 油圧サーボ機構は極間間隙 （G)がほぼ一定になる よ うに剞 御される。 ここに上記極間サーボ回路と油圧サーボ機構とは 電極送 り手段を構成している。
    [0016] このよ うに従来の放電加工装置で， 加工の状態の良否を判 別する最も一般的なのは， 平均極間電 E V g を観測すること であって， これが低い時には極間ィ ン ビ一ダンスが低い場合 であ り ， この状態は短絡， 違続的了一ク放電， 極間における • 加工粉， ス ラ ッ ジの滞留な どが考えられる。 しかしながら，
    [0017] 放電加工において最も危険 異常アーク放電は， 一旦発生す ると加工液の熱分解によるカ ーボン発生のために， カーボン と被加工物の間の放電と .り ， 極間イ ン ピーダンスが高 く な つたよ う ¾状態にるるため， 平 電圧による極間状態悪化の 検出は不可能になって しま う とい う不具合があった。
    [0018] また， 従来における も う 1 つの極間異常の検出方法と して は， 電極の動作をダイ ャルゲージのよ う ¾機械式のゲージで 見て， 加工時の電極の振動状況や， 加工の安定性を判断する 方法があるが， この方法では放電加工檨のすぐ近く で観測し ¾ければる らず， 無人運転中に離れたと ころで放電中の極間 β ' 4 4
    [0019] V. rO 状態悪化の検出を行 う こ と は不可能であった。
    [0020] お， 上記の平均電圧の よ う る電気信号であれば， 相 当離れた場所で も観察でき るので， 上記ダ イ ヤ ルゲー ジ の よ う 検出出力を電気信号に変換すれば， 容易に極間 の状態が判別でき る こ と も 以上の こ とか ら明 らかである 。 しか し， 電極の位置に相当する信号を観測する場合， ディ ジタ ル的な数値信号では振動の状態は数値が各種重
    [0021] ¾つて見 られる けで， 判別でき る も のではる く ， 了ナ α グ信号では数 ミ ク α ン の分解能を有して， しかも数百 ミ リ の全ス 卜 π —クを観測する こ とは， 例えば 1 ミ ク ロ ンを l mVに変換したと して も , 全ス ト ロ ーク では数百 V も の電圧と な ]9 , その上， 微少な変化をその電£か ら読 みと る こ とは不可能であって用をるさ ¾い。 ' ダイ ヤ ルゲー ジの '長所は， 伊」えば 1 1 回転のゲー ジ であれば， l O ^m の変位は 3.6° の変化と して観察でき ， しかも全ス 卜 ロ 一ク を何回 も 回転する こ とに よ ] カバー している と い う こ とである力 この機能を電気的に置き かえて離れた場所で観測でき る よ う に し， しかも ， 極間 の異常発生を適確に判別でき る よ う にする こ とは， 従来 き わめて困難な こ とであつ 。
    [0022] 発明の開示
    [0023] 本発明は . 電極と被加工物と を絶縁 S加工液を介在さ せて対向させ， その対向極間 に放電を発生させて上記 被加工物を加工する放電加工装置において， 電極が被加 ェ物に対して送 _り込まれた最進位置と電極の現在位置と の差を検出する電極位置検出手段と ， 上記の差が大き く ると極間状態が悪い状態にある と判断して信号を出力 する極間状態判別手段と ， を備えたことを特徵とする。
    [0024] 本発明は極間間隙長を検出 して， 極間状態を判別でき る よ うにした装置を備え， この装置の判別 基づいて上 記極間状態に適合した電気加工条件す わち放電ピー ク 電流値， 放電持続時間， 休止時間， 印加電圧等の値を自 動的に設定できる よ うにし， 最適る放電エネ ル ギーの制 御を行う よ うにした装置を提供する こと を目的と してい 本発明は極間間隙長を検出 して， 極間状態を判別し， 極間状態を良好な状態に回復させるよ う に， 電極と被'加 ェ物'の間隙を強制的に拡げる よ う にし， この拡げる量と 加工を している時間の比を上記検出出力に応動して自動 的に制御する よ うにした装置を提供する こ とを 目的と し ている。
    [0025] 本発明は， 実際の極間間隙長を検出 し， こ の検出出力 に基づいて， 極間サ ーボの速度あるいはサ 一 ポ 'ゲイ ン を 変化させる ことによ り極間間隙が広い時には高速で ¾間 サ一ボを行い， 狭い時には所定の低速で細やか 制御を 行 ， 極間間隙サ ー ボのゲイ ンの最適化を可能とするよ う な装置を提供する ことを 目的と している。
    [0026] 本発明は極間における実際の極間間隙に相当する値
    [0027] Ο,ΜΡΙ w, o アナ n グ的電気信号と して取 ] 出 し， 更に， 上記信号に 基ずいて極間状態の検出を行い， これらの信号を電極か ら離れた場所に正確に伝達でき る よ うに した放電加工装 置を提供する こ とを 目的と している。
    [0028] 図面の簡単な説明
    [0029] 第 1 図は従来装置の概略構成図， 第 2 図はこの発明の 一実旌例の構成を示す図で， 電極位置検出手段と極間状 態判別手段とを従来装置に更に付加した構成を示す図， 第 3 図は この発明の他の実施例を示す図で， 第 4 図は第
    [0030] 3 図の加工電源の詳細を示す図， 第 5 図はこの発明の更 に他の実施例を示す図， 第 2 図の構成に対して更に制御 手段を付加した構成を示す図， 第 6 図は第 5 図の制御手 段の詳細を示す図， 第 7 図はこの発明の更に他の実施'例 の原理を示す図， 第 8 図は第 7 図の制御手段の概要構成 を示す図， 第 9 a 図は第 7 図に示したも のの特性を示す 図， 第 9 b 図は第 7 図に示した ものの特性の他の例を示. す図， 第 9 c 図は第 7 図に示したも のの特性の更に他の 例を示す図， 第 10図は第 7図の制御手段の具体的構成を 示す図， 第 11 a 図はこの発明の更に他の実施例の要部の 構成を示す図で， 表示手段が電極から離れた位置に設け られている例を示す図， 第 li b 図は表示手段にッイ ス 卜 ペア籙群を介して信号が送られる構成を示す図である。 発明を実施するための最良の形態
    [0031] ' 第 2 図は第 1 図と同一部分に同一符号を付した本発明 の一実施例の構成を示す概要図である。 第 2 図において ， 電極支持棒 CU) に取付けられたデ ィ ジ タ ルス ケ ール ^は , 電極（1)が図において下方に移動する と プ ラ ス方向パ ル ス SPを発生し， 上方に移動する とマ イ ナ ス方向パ ル ス SN を発生する。 極間間隙長を正確に知るために 1 パ ル ス当 り 10 以下のバル ス発生を行 う。 本例では 5 ル ス と して説明する。
    [0032] 上記のプ ラ ス方向パ ル ス SPは直接可逆力 ゥ ン タ （1 のマ ィ ナス端子 （I4a) に ， またマ イ ナス方向パ ル ス SNは才了 ゲー ト ^を介 してプ ラ ス端子 （14b) に供給される。 可逆 カ ウ ン タ （14は例えば 13ビ ッ ト で構成され， 5;u X ( 214— 1 ) するわち 82丽相当の電極上昇量を記億でき る。 可逆カ ウ ン タ （1 の各ビ ッ 卜 の出力側にはディ ジタ ルアナ ロ グ変'換 器な が接続されてお ！） ， この出力は であって コ ン パ レ 一タ ^に よ 0V と比較される。 そ して ， 上記出力 力 S OV すなわちカ ウ ン タ 内容が 0 である と き ， コ ン パ レ ータ（L7)の出力に よ ってパ ル ス発振器 03)の出力パ ル スを了 ン ドゲー ト ^ , 才了ゲ一 卜 な を介 して ， 加算パ ル ス LPと して可逆力 ゥ ン タ （L4の プ ラ ス端子 （14b) に供給する 。
    [0033] このため， 可逆カ ウ ン タ （L はデ ィ ジ タ ルス ケー ル 3力 りのマ イ ナス方向パ ル ス SNと上記の加算バ ノレ ス LPを力口算 し， ディ ジタ ルス ケ ー ル （L3か らのプ ラ ス方向パ ル ス SPを 滅算する。 こ の結杲， 可逆カ ウ ン タ ^の内容は電極（1)が 被加工物 ）に対 して送 ] 込まれた最進位置と電¾ (1)の現 在位置の差とな る。 すなわち， 加算パ ル ス LPの数の合計 が最進位置であ り ， これと ， 上記マ イ ナ ス方向パ ル ス S N の教と プ ラ ス方向パ ル ス S Pの数の差の合計である現在位 置を引 く ので， 可逆カ ウ ン タ （1 の内容は最進位置と現在 位置の差である こ とに る。
    [0034] よ っ て ， デ ィ ジ タ ル ア ナ ロ グ変換器^の出力は ， 上記 の差に比例 した電圧であるために， この出力 V0 を検出処 理すれば実際の極間間隙状態の良否を知る こ とができ る 。 すなわち， 上記の出力 V0が大であれば極間間隙は最進 位置よ 戻った状態にある こ とか ら， 例えば加工粉の滞 留に よ って極間にス ラ ッ ジがたま っている とか， 異常ァ —ク に よ って加工液（4)が熱分解 してカ ー ボ ンが発生 して いる とか， 電極の一部が破損 してそのかけ らが極間 （ ） に存在する とか， 等の不具合が容易に検出でき る。
    [0035] しかしご く 短時間であれば極間 ィ ン ピ一 ダ ン スは断え ず変化してお ] . 短時間前記の差があって も必ず しも極 間間隙状態が悪いとは判断でき ¾い。 そこでデ ィ ジ タ ル アナ ロ グ変換器 の出力 VQ の所定値以上の存在がある時 間続いた こ と を検出 して， 極間間隙状態の良否を判断す る必要がある。
    [0036] 第 2 図における電圧比較器^はディ ジ タ ルアナ ロ グ変 換器（19の出力 V。 が所定値 ^ よ り も 大か小かを判別 してい る。 . V0 〉 Vt に ¾ る と ， 電圧比較器 の出力は負と ¾ _り ， ベース抵抗 ^を介 してス ィ ツ チ ン グ用 ト ラ ン ジス タ ^を オ フ状態にする。 このため時間計測用コ ン デ ン サ ^は抵 抗 を介 して充電され， コ ン デン サ ^の両端電圧 v3は次 式の よ う にあ らわされる。 v3 = v4 一 ex o
    [0037] Γ c ただ し r2は抵抗^の抵抗値
    [0038] C はコ ンデ ンサ の容量
    [0039] t は時間
    [0040] こ の コ ンデ ンサ ^の両端電 EV3 は基準電 £V2 と 電圧比 敦器^で比較される。 V3 < V2の期間は電 E比較器^の出 力が負に ら ¾いため， 発光ダイ 才一 ド ^は点灯 し い 。 そして 〉 ¼ の状態が所定時間継続して V3 〉 V2になる と ， 電圧比較器^の出力が負と な り ， 発光ダイ オー ド ½ を抵抗^を介して点灯させて極間間隙状態の異常発生を 表示する も のである。
    [0041] ス ィ ツ チ ^は， 時間の関数だけで極間状態を判断する か， デ ィ ジタ ルアナ 。 グ変換器 CL9の出力 V0の大き さ と時 間の積の関数と して判断するかを切換えるためのス ィ ッ チである。 すなわち単に時間だけの検出では極間間隙状 態の異常判別の困難 ¾加工， 例えば超硬合金の加工の よ う に一瞬に してアー クによ る割れや， タ ン グス テ ン の欠 落が発生する場合には， ス ィ ツ チ ^を図示例の よ う に接 点 （27a)側に投入する と ， デ ィ ジタ ルアナ ロ グ変換器（19の 出力 V0 と時間の積の関数と して ， 極間間隙状態の異常発 orpi 生をすみやかに知る こ とができ る。 上記の出力 V。が大で あればコ ン デ ンサ の充電電流が増え， ただちにコ ンデ ンサ ^の両端電圧 V3が基準電 EV2 に達するか らである。 また上記の出力 v0を直接電圧計で観測する こ と によ
    [0042] , 電極（1)が被加工物 ）に対して送 り 込ま れた最進位置と 電極 (1)の現在位置の差を直接観測する こ とができ ， 極間 間隙状態のモ ニ ター と して使用でき る こ とは明 らかであ お， 上記実施例では極間状態悪化時の時間計測に， コ ンデ ン サ と抵抗^と に よ る 1 次遅れ回路を用いてい るが， 時間測定を よ 正確にするために漬算増幅器を用 いた正確る積分回路を設けて実施する こと は何等困難 こ とでは い。 ' 第 3 図はこの発明の他の実施例で， 加工， 電源の電気 的加工条件が切 .り換え られる構成である。 お， 同図に おいて， 第 2 図と 同一符号は同一或いは相当部分を示す にっき ， 符号の説明は適宜省略する。
    [0043] 第 3 図に示す構成では極間異状発生検出手段の出力 V5 は， 最進位置と現在位置の差を検出する カ ウ ン タ か らの 出力 2°〜 21 3 の 2進デ ィ ジ タ ル値と と も に， 加工電源（5) に送られ， これらの信号に よ り ， 加工電源（5)の電気的加 ェ条件の切 り換え制御を行 う よ う に している。
    [0044] 第 4 図は加工電源（5)の詳細図であって ， 本実施例では ， 上記信号に よ って， 放電休止時間 と 印加電圧を制御 し
    [0045] 7、P た例を示している。 放電休止時間と印加電圧は放電間隙 に影響力を持つが， 加工面の粗さや， 電極の消耗に多大
    [0046] 影響を与え ¾いという特徵があ ]) , 本実施例ではこれ らを取 ]9上げたが， 他の電気条件であっても加工目的に 応じて同様 制御を行 い う るのは当然のこ とである。
    [0047] すなわち， 目的とする加工内容に悪影響を与え ぃ範 囲で， 放電ピー ク電流値， 電流波形， 電 E波形， パ ル ス 幅等を同様の方法で制御する ことができ ることは明 らか て ¾) 0
    [0048] さて， 第 4 図における （5<31) は多桁一致判別回路であ つて， 位置差検出用の可逆カ ウ ン タ α の値と休止時間設 定カ ウ ン タ （502) が等しく なる こ とを判別し， 一致する と ANDゲー ト （503) OR ゲー ト （504) を介して R— S'フ リ ッ.プ フ 口 ッ プ （ 505) を リ セ ッ 卜する。 ただし， 上記休 止時間設定力 ゥ ン タ （ 502) は極間状態検出信号 )が¾ い時， すなわち論理 「1」の時には手動ブ リ セ ッ ト ロータ リ スイ ッ チ （506) に よ _り設定する ことができ る。 この際 は ANDゲ一 ト （ 507) は閉である。 上記 R— S フ リ ッ プ フ 口 ッ プ （50 の出力は増幅器 （508) によ _り最終段ス ィ ッ チ ン グ素子 （507) を駆動して， 極間に電圧 (E) の オ ン 才 フ パ ル スを供給する。 パ ル ス持続時間はパ ル ス幅設定用 カウ ンタ一 （509) と ， この値を所定値に選択するえめの ス ィ ツチ （510) によ り任意に設定される。 原発振器钧の 出力は互いに ft — S フ り ッ ブ フ 口 ッ プ （505) の出力 Q ，
    [0049] 、職。 Q と ， ANDゲ一 卜 （511) (δ12) に よ 交互に選択されて
    [0050] ， 休止幅， バル ス幅の設定に用い られる。
    [0051] また， 印加電圧 （Ε) は極間異常のため極間が拡がる と , 低圧にる る よ う に電圧調整器 （513) に よ 調節され， 加工粉の影響等に よ り放電 しやす く っ て拡がって'しま つた間隙長を ， 再び正常 ¾値に近づける よ う に ¾つてい この よ う に本実施例では極間異常状態検出信号 （ ν5 ) が論理 「0」 にるる と ， 休止幅は最進値と現在値の差に 対応する値が自動的に選択され， その.差が大き るほど休 止幅ば長 く ¾ り ， 加工量が減少 して加工粉の生成が減 り 極間の正常化がな される。 逆に差が小さい時には所定の 設定値になる。 '
    [0052] 第 5 図は この発明の更に他の実施例を示すも ので， 極 間状態異常判別手段か らの出力 V5は ， 最進位置と現在位 置の差を検出する カ ウ ン タ （1 の出力 2°〜 213 の 2 進デ ィ ジタ ル値と と も に極間間隙を制御する制御手段 に送ら れ， これ らの信号に よ ]9 ， 極間間隙に強制的 ¾拡大動作 を与える よ に して， 極間状態に応 じた拡大量を 自動的 に制御する よ う に している。
    [0053] 第 6· 図は極間間隙を制御する制御手段^の詳細図であ つて ， 本実施例では， 上記信号に よ って ， 間隙を強制的 に拡げる信号の存続時間を制御する こ と に よ り ， 間隙の ¾大量と ， 加工時間 と ， 拭大動作時間の比率を制街する ο.ν.ρι よ うに した例を示 している。
    [0054] 第 6 図における （301) は多桁一致回路 （ デ ィ ジタ ル コ ンバ レー タ ） であって ， 位置差検出用の可逆カ ウ ン タ （14) の値と間隙強制拡大時間設定カ ウ ン タ （ 302》 が等しく ¾ る こ とを判別し， 一致する と R — S フ リ ッ プ フ 口 ッ プ ( 303) を リ セ ッ ト する。 上記カ ウ ン タ （302) に よ ] 設定 される時間は， 基準ク 口 ッ クパ ル ス発生器 304) のク ロ ッ ク ノ、'ルス の周期と ， 上言己カ ウ ン タ （302) の値カ 一致し た位置差検出用のカ ウ ン タ CL の値との積の値と なる。 そ して ， 上記 R — S フ リ ッ プ フ 口 ッ ブ （303) の出力 Qは， 第 1 図の S間サーボ回路（7)， （8)に対して強制的に， 電極 上昇信号 （SM) を発生させる 了 ナ σ グス ィ ッ チ （30δ) を 作動させる。 すなわち位置差に ¾応する時間は， R —' S フ リ ッ ブフ ロ ッ ブ （ 303) の Q 出力は 「1」 と な ってお り ， この間， 電極は強制的に上昇させられる。 ま た n一 sフ リ ッ プ フ 口 ッ プ （303 ) 力；一旦 リ セ ッ 卜 される。 Qが 0 と る る と Qの反転出力 Qは 「1」 と り ， 加工時間設定カ ウ ン タ （ 306 ) のク 口 ッ ク バル ス入力ゲー ト （ 307) が開 と つて， 加工時間ブ リ セ ッ ト ス イ ッ チ （ 3 0 8 ) がセ ッ 卜 さ れた時間の間， R — S フ り ッ プフ ロ ッ ブ （ 303) の出力 Q は 「0」 と なるので ， 上記電極上昇信号 （SM) 発生用の了 ナロ グス ィ ツ チ （305) はオー プ ン状態と り ， 極間の通 常のサー ホ 'が極間信号 （Vs) と基準電 E (VR) の差に基 づいて行われる。 なお ， 抵抗 （311 ) は電極上昇信号（SM) じ
    [0055] O.V.PI が発生した時， 上記極間信号 （Vs)， 基準電圧 （VB)の発生 回路を保護するためのものである。
    [0056] なお， 上記の動作は， 常に行われているわけでは ¾ く ， 極間状態判別信号 （V5 )が 「0」のと き ， すなわち極間が 異常状態のとき行われる。 （V5)は AND ゲ一 ト （309 )と Oft ゲー 卜 （310) で弁別され， （V5)が 「1」の時には OR ゲ一 ト の出力は 「1」なので， R — S フ リ ッ ブ フ ti ッ プ ¾はセ ッ ト状態と ¾つてお .り ， 上記電極上昇信号 （SM)は出力さ れず通常の極間サ一 ボがるされる。
    [0057] 上記の実施例では， 電極上昇時間の制^を行 う よ うに して説明 してきたが， この発明の目的とする と ころは， 常状態検出信号に基づいて極間間隙状態を好転させる よ うに， 電極と被加工物の間隙の制御を行う こ とにあ'.り ， 電極上昇時間の他， 加工時間， 上昇速度， 上昇と加工 の周期， サ一ボ基準電圧， サー ボ系のゲ イ ン等を上記信 号によって制御する ことは何ら技術的に難しく は く ， 適宜にな し得る と ころである。
    [0058] 第 7 図 いし第 9 図は， この発明の更に他の実施例の 基本原理を示す図で， 第 5 図と同一符号は同一或いは相 当部分を示すにっき ， 符号の説明は適宜省略する。
    [0059] 第 7図ないし第 9 図に示すものは， Y0 に相当する増幅 度の制御をサーボ系で行わせる構成である。 上記可逆力 ゥ ン タ （Μ)の内容は， 乗算型デ ィ ジ タ ル アナ ロ グ変換器 (320) に よ って ， 極間平均電圧 VS と基準電 E Vr の差 電 E Va ( Vr-VS = Va ) との積と して出力 される。
    [0060] すなわち Va X ( 最進位置一現在位置 ） = Viと して出力 される。 この よ う な乗算型ディ ジタ ルアナ口 グ変換器の 具体的な も のは ， 了 ナ α グデバ イ ス社 （ 米国 ） 製の CMOS -IC-AD7520 等で公知である。
    [0061] このよ う に して本発明によれば， 最進位置と現在位置 の差！） ， つま .り極間間隙長に比例 して， サ ー ホ '系の増幅 度 （ ゲ イ ン） Gを変化する こ とができ る ものであ .り ， 換言 すれば微細でき め細やかな制御を必要とする狭い間隙の 場合はゲ イ ンが小さ く ， 逆にダ イ ナ ミ ッ クで高速な違動 を してポ ン プ作用を行い， 極間のス ラ ッ ジを排出する必 要のある広い間隙の場合はゲイ ンが大き く な る も のであ
    [0062] ¾お， 第 9 図において縦軸は増幅度を示 し， ま た横軸 は最進位置と現在位置との差！ を示 している。
    [0063] ま た， 外部か ら強制的に短絡状態の信号を入れて， 電 極を周期的にジャ ン プさせる よ う な動作を行 う場合にお いて， 一且上昇した電極が戻って く る際， 従来は極間電
    [0064] のみの検出で， も との位置か否かを判断していたため
    [0065] ,' 短絡が発生するま で検出でき ず必ず才一バー シュ 一 卜 を生じ， 電極が被加工物に接触 して しま う とい う 不具合 があったが， 本発明によれば， 元の位置との距離に応 じ てゲイ ンが変わ り ， 速度が自動的に減じられるため， 上 記の よ う ¾オーバ一 シュ ー ト は発生しない。 また間隙が
    [0066] _ Oi PI 、 W 0 広いほど速度が速く なるので ， 間隙を拡げて極間状態の 回復を計る場合， 時間が短く てすみ加工能率が向上する お上記実施例では， 最進位置と現在位置の差 D と直 線的に比例してゲイ ン Gが変わる よ う 場合つま 第 9 a図のよ うる場合で説明 してき たが， 必ずしも直線的で ある必要は く ， 第 9 b 図に示したよ う 階乗的関係や
    [0067] , 第 9 c 図の よ うに， 2段階以上の折れ線でも ， 主旨す る と ころが合致しているこ とは明白である。
    [0068] 第 10図は第 7 図〜第 9 図に示した基本原理に基いて
    [0069] さ'れた更に他の実施例を示すも ので ， 特にその制御手段
    [0070] の構成について示したものである。
    [0071] するわち， 第 10図において， 制御手段 には電極位'置 検出手段の可逆力 ゥ ン タ （1 からの出力信号が導かれるよ う構成されている。
    [0072] この第 10図に従って上記出力信号に基づいてサー ボ系 の増幅度を制御する制御回路^の詳細を説明する。 異常.
    [0073] 発生検出信号 Vs が 「1」 するわち異常で い時には， 了 ナ ロ グス ィ ツ チ （321) が閉， ア ナ ロ グス ィ ツ チ （322) は イ ンバーター （323) を介しているため開状態と ってい この時には極間サ一ボ信号 Va は， 所定の増幅度 Kを 有する増幅器 （324) を介してサ 一ボ増幅器（7)に印加され
    [0074] , 通常のゲイ ンで加工が される。 £4 V 0 次に， 極間に異常状態が発生して， 、、 せ 「0」に る とア ナ ロ グス ィ ツ チ （321 ) は開， アナ ロ グス ィ ッ チ（322) は閉状態と り ， サ 一 ボ系の増幅度は乗算型デ ィ ジ タ ル アナ ロ グ変換器 （3 20 ) に よ って制御される。 す ¾わち， このデ ィ ジ タ ル ア ナ ロ グ変換器 （3 20 ) は入力電圧 V a と
    [0075] , 可逆カ ウ ン タ のデ ィ ジ タ ル出力の値との乗算値の了 ナ ロ グ出力 V i を出力するので， サーボゲイ ンは電極の 最進値と現在値の差に比例 した値と るる。 これによ .り ， 上記の差が大¾る程すなわち異常であればある程サ 一 ボ ゲ イ ン が高 く る り 電極の送 り 速度が速 く なるので， 間隙 の 答が敏感にる り ， 急速に電極が動いて， ス ラ ッ ジの 滞留や， よ どみ， あるいは何等かのかけ らをすみやかに 間隙から排除した り ， 散らすこ とが可能にな る。 '
    [0076] なお， 上記の乗算型デ ィ ジタ ルアナ π グ変換器 （3 20 ) の具体例と しては， アナロ グデバイ ス社 （ 米国 ） の
    [0077] 7 5 2 0 ¾ どが公知である。
    [0078] また， 上'記の説明では電極の最違値と現在値の差に応 動 してサ一ホ- ゲ イ ンを変えているが， よ ] 簡単に異常を 検出 した ら， ゲイ ンを高 く するだけで も効杲は期待でき る。 ただ し， 最進値と現在値が近づいて， 短絡寸前でも 高ゲ イ ンのま ま ので突込み気味に ¾る恐れがある。 上 記のデ ィ ジ タ ルアナ ロ グ変換器を用 た場合は， ゲ イ ン が自動的に制御され， 近づきすぎる と滅少するの で ， 突 込みや， ハ ン チ ン グは発生しない。
    [0079] ΟΛ'. 第 11図はこの発明の更に他め実施例を示す図で， 極間 状態判別手段 02の出力信号ま たは電極位置検出手段 か らの出'力信号に基いて極間状態を表示する表示手段を備 えた構成である。
    [0080] 第 11 a 図には電極位置検出手段 02の出力 V。 と ¾間状 態判別手段 ¾の極間異常信号 V s と を伝達する伝送路 (41) と ， その受信回路 (40)等が示されている 。 電極位置検出手 段^のデ ィ ジタ ル了ナ ロ グ変換器の出力 Voはボル ト メ ータ ( 4 01 ) で直読でき る 'V。 の観測は電極（1)が被加工物 ）に 対して送 .り込ま れる最進位置と電極 の現在位置の差を 直接知る こ と に り ， あたか 機楨式のダイ ア ルゲー ジ を観測 したの と 同様な効果を得る こ とができ る。
    [0081] 同図において， 受信回路 ωつま り表示手段は電^ )'か ら離れた位置に設け られている。
    [0082] ま た， 第 11 b 図は上記 v。 を アナ ロ グ信号で送らずに デ ィ ジタ ル信号で送 り ， その あ とデ ィ ジ タ ル 了 ナ ロ グ変 換器を介 してアナ口 グ.電圧と して観測 した場合の実施例 であって， 電気的ノ イ ズの過多 ¾環境において効杲ある o
    [0083] デ ィ ジ タ ル信号と しては， 電極位置検出手段 02の可逆 力 ゥ ン タ （1 の出力を一旦バ ッ フ ァ を介 して増幅して ， ッ イ ス ト ぺ 了線群 3 で受信側に送 り ， デ ィ ジ タ ル 了 ナ ロ グ変換器 （4 0 2 ) によ って ， 了ナ ロ グ信号 V。 に相当する 電圧 V。 を得ている。 したがって ， 放電加工における極間間隙状態の良否を 電極から隔つた場所において正確に察知する こ とができ るので， 加工操作上， 加工の失敗を未然に防ぐこ と がで き る。
    [0084] . お， 第 11図に示された表示手段を前述の第 3 図及び 第 4 図に示される搆成の放電加工装置あるいは， 第 5 図 ない し第 10図に示される構成の放電加工装 等々 に適用 する こ とができ る こ とは明 らかである。
    [0085] BU Rど PI
    权利要求:
    Claims
    請 求 の 範 囲
    (1) 電極と被加工物とを絶縁性加工液を介在させて対向
    させ， 電極送 ] 手段を介して上記電極を上記被加工物 に対して送] 込み， その対向極間内に放電を発生させ て上記被加工物を加工する放電加工装置において， 電 極が被加工物に対して送 ] 込まれた最進位置と電極の 現在位置との差を検出する電極位置検出手段と， こ.の 電極位量検出手段によ D検出された上記の差に基いて 極間状態を判断して信号を出力する極間状態判別手段 とを備えたこ とを特徴とする放電加工装置。
    (2) 極間^態判別手段は， 電極位置検出手段によ ])検出
    された電極の最進位置と現在位置との差が大きい と き 極間状態が悪いと判断する ことを卷徵とする請求の範 囲第 1項に記載の放電加工装置。
    (3) 極間抉態判別手段は， 電極位置検出手段に よ J 検出
    された電極の最進位置と現在位置との差が大き く ¾つ ている時間が所定値以上になる と極間状態が惡ぃと判 断する ことを特徵とする請求範囲第 2項に記載の放電 加工装量。
    (4) 極間^態判別手段は， 電極位置検出手段に よ ])検出
    された電極の最進位置と現在位置との差が大き く なつ ている ^間と上記差との積の値が所定値以上になる と 極間 、態が悪い と判断する こ とを特竄とする請求範囲 第 2 項に記載の放電加工装置。 U Rど 4
    _ CV.PI
    、 ν' ' 0 (5) 極間状態判別手段は， 電極位置検出手段に よ ] 検出 された電極の最進位置と現在位置との差が大き く ¾ つ ている時間が所定値以上に る と極間状態が悪いと判 新するか或いは上記差が大き く ¾ つている時間と上記 差との積の値が所定値以上になる と極間状態が惡いと 判断するかのいずれかに判断の態様を択一的に選択さ れる よ う に構成されてなる請求の範囲第 2項に記載の 放電加工装置。 ，
    (6) 電極位置検出手段は， 電極の進退量に応じてデイ ジ タ ル信号を発生するス ケ ー ル と ， このス ケ ー ルのディ ジ タ ル信号を計数する可逆カ ウ ン タ とを備えている こ とを特徵とする請求の範囲第 2 項に記载の放電加工装
    M. o
    (7) 電極位置'検出手段は， 電極の進退量に応じてデイ ジ タ ル信号を発生するス ケー ル と， このス ケールのディ ジ タ ル信号を計数する可逆カ ウ ン タ と， 可逆カ ウ ン タ 出力側に接続されディ ジ タ ル量をアナ口 グ量に変換す るデ ィ ジ タ ルアナ ロ グ変換器と， このデ ィ ジ タ ル変換 器の出力を設定値と比較し， 比較結果に応じて出力信 号を発生する比較器と， 所定時隔でパ ル スを発生する パリレ ス発振器と， 前記比較器の出力 と， 前記パ ル ス発 生器の出力とが入力される第 1 のゲー ト 回路と， この 苐 1のゲ一 ト 回路の出力 と前記ス ケ ー ルのディ ジ タ ル 信号とを入力し， 前記町逆カ ウ ン タ に出力信号を送る 21
    第 2 のゲ一 卜 回路と， を備えている こ とを特徵とする
    請求の範囲第 2 項に記載の放電加工装置。
    (8) 極間状態判別手段は， 電極位置検出手段か らの出力
    信号を入力し， これを設定値と比較し， 比較結果に応
    じた出力信号を発生する比較器を備えている ことを特
    徵とする請求の範囲第 2項に記載の放電加工装置。
    (9) 極間状態判別手段は， 電極位置検出手段か らの出力
    信号を入力し， これを設定値と比較し， 比較結果に応
    じた出力信号を発生する比較器と， こ,の比較器の出力
    側に設けられた 1 次遅れ回路とを備えている ことを特
    徵'とする請求の範囲第 3 項に記載の放電加工装置。
    αο) 極間状態判別手段は， 電極位置検出手段からの出力
    信号を入力しこれを設定値と比較し， 比較結杲に応じ
    た出力信号を発生する第 1 の比較器と， この比較器の
    出力信号によ 導通制御される ス ィ ツ チ ング素子と，
    このス ィ ツ チン グ素子の主電極に接続された 1 次遅れ
    回路と， この 1 次遅れ回路の出力を所定値と比較し比
    較結果に応じた出力信号を発生する第 2 の比較器とを
    備えている こと を特徵とする請求の範囲第 3 項に記载
    の放電加工装置。
    W 極間状態判別手段は， 電極位置検出手段からの出力
    信号を入力し， これを設定値と比較し， 比較結果に応
    じた出力信号を発生する比較器を備えている ことを特
    徵とする請求の範囲第 4項に記載の放電加工装置。
    _ΟΛ ΡΙ Π、 v'^0 κ > 極間状態判別手段は， 電極位置検出手段からの出力 信号 入力し， これを設定値と比較し， 比較結果に応 じた出力信号を発生する比較器と， この比較器の出力 側に設けられた 1 次遅れ回路と を備えている こ とそ巷 徵とする請求の範囲第 4項に記載の放電加工装量。
    ¾ 極間状態判別手段は， 電極位置検出手段からの出力 信号を入力しこれを設定値と比較し， 比較結果に応じ た出力信号を発生する第 1 の比較器と， この比較器の 出力信号によ 導通制御される ス ィ ツ チ ン グ素子と， このス イ ッ チ ン グ素子の主電極に接続された 1 次遅れ 回—路と， この 1 次遅れ回路の出力を所定値と比較し比 敦結果に応じた出力信号を発生する第 2の比較器とを 備えている こ とを特徵とする請求の範囲第 4項に記载 の放電加工装置。 ·
    ^ 極間状態判別手段は， 電極位置検出手段からの出力
    信号を入力し， これを設定値と比較し， 比較結果に応 じた出力信号を発生する第 1 の比較器と， この比赣器 の出力信号によ 導通制御される ス ィ ツ チ ン グ素子と
    ， このス ィ ッ チ ン グ素子の主電極に接続された 1 次遅 れ回路と， 前記ス ィ ツ チ ン グ素子の主電極に前記電極 位置検出手段からの出力信号又は， ^定の一定電位を 選択的に導ぐ ス ィ ッ チ手段と， この 1 次遅れ回路の出 力を設定値とを比較し， 比較結果に応じた出力信号を 発生する第 2 の比較器とを備えた請求の範囲第 5項に or.pi
    Λ "^ o 記載の放電加工装置。
    α¾ ス ィ ツチン グ素子はその主電極に電極位置検出手段 からの出力信号が導かれる こ とを特徵とする請求の範 囲第 9 項又は第 10項に記載の放電加工装置。
    その一端が所定の一定電位に接続されている ことを 特徵とする請求の範囲第 12項又は第 13項に記載の放電 加工装置。
    7) 電極と被加工物とを絶縁性加工液を介在させて対向 させ， 電極送 手段を介して上記電極を上記被加工物 に対して送 ])込みその対向極間内に放電を発生させて 上'記被加工物を加工する放電加工装置において， 電極 が ¾加工物に対して送！）込まれた最進位量と電極の現 在位置との差を検出する電極位置検出手段と， この'電 極位置検出手段に よ ] 検出された上記の差に基いて極 間状態を判新して信号を出力する極間状態判別手段と , この極間状態判別手段からの信号に応じて電気的加 ェ条件を変化する電源手段とを備えたことを特徵とす る放電加工装置。
    s) 電源手段は， 極間状態判別手段からの信号に応じて ， 極間状態を良好る状態に回復する よ う電気的加工条 件を変化する ことを特徵とする請求範 S 17項に記載の 放電加工装置。
    s間状態判別手段は， 電極位置検出手段に よ ] 検出 された電極の最進位置と現在位置 との差が大きいと き 極間状態が悪いと判断する ことを特徵とする請求の範 囲第 17項に記載の放電加工装置。
    電気的加工条件は放電休止時間と電極間の印加電圧 である こ とを特徵とする請求の範囲第 17項 いし第 19 項のいずれかに記載の放電加工装置。
    極間状態判別手段は， 電極位置検出手段に よ ] 検出 された電極の最進位置と現在位置との差が大き く つ ている時間が所定値以上に る と極間状態が悪いと判 断する こ とを特徵とする請求の範囲第 19項に記載の放 電加工装置。'
    —極間状態判別手段は， 電極位置検出手段によ ] 検出 された電極の最進位置と現在位置との差が大き く なつ ている時間を上記差との積の値が所定以上になる と'極 間状態が悪いと判斬する こ とを特徵とする請求範囲第
    19項に記載の放電加工装置。
    極間状態判別手段は， 電極位置検出手段によ ] 検出 された電極の最進位置と現在位置との差が大き く ¾つ ている時間が所定値以上になると極間状態が惡いと判 断するか或いは上記差が大き く っている時間と上記 差との積の値が所定値以上に る と極間状態が惡いと ^靳するかのいずれかに判断の態様を択一的に選択さ れる よ うに構成されてなる請求の範囲第 19項に記載の 放電加工装置。
    ^ 電極位量検出手段は， 電極 進退量に応じてデイ ジ
    O.MPI ,PO 25
    タ ル信号を発生する ス ケ ー ル と ， こ のス ケ ー ルのディ ジタ ル信号を計数する 叮逆カ ウ ン タ とを備えている こ とを特徵とする請求の範囲第 19項に記載の放電加工装
    ¾ 電極位置検出手段は， 電極の進退量に応じてデイ ジ
    タ ル信号を発生する ス ケール と， このス ケ ー ルのデ ィ ジ タル信号を計数する可逆カ ウ ンタ と ， 可逆カ ウ ン タ の出力側に接続されディ ジタ ル量をアナ口 グ量に変換 する ディ ジ タ ルアナ ロ グ変換器と， このディ ジ タ ル了 ナ ° グ変換器の出力を設定値と比較し， 比較結杲に応 じて出力信号を発生する比較器と， 所定時隔でパ ル ス を発生するパ ル ス発振器と， 前記比較器の出力と前記 パ ル ス発生器の出力とが入力される第 1 のゲ一 ト 回'路 と， この第 1のゲー ト 回路の出力を前記ス ケ ー ルのデ イ ジ タ ル信号とを入力 し， 前記可逆カ ウ ン タ に出力信 号を送る第 2 のゲ一 ト 回路とを備えている こ とを特徵 とする請求の範囲第 19項に記載の放電加工装置。
    極間状態判別手段は， 電極位置検出手段からの出力 ； 信号を入力 し， これを設定値と比較し， 比較結杲に応 ί じた出力信号を発生する比較器を備えている こ とを特
    徵とする請求の範囲第 19項に記載の放電加工装置。
    極間状態判別手段は， 電極位置検出手段か らの出力 信号を入力 し， これを設定値と 比赣し， 比較結杲に応 じた出力信号を発生する比較器と， こ の比 ¾器の出力 ノ _0' PI
    T10 側に設けら'れた 1 次遅れ回路とを備えている ことを特 徵とする請求の範囲第 21項に記載の放電加工装置。
    ^ 極間状態刳別手段は， 電極位置検出手段からの出力
    信号を入力しこれを設定値と比較し， 比較結杲に応じ た出力信号を発生する第 1 の比較器と， この比較器の 出力信号によ i 導通制御されるス ィ ツ チン グ素子と， このス ィ ツ チング素子の主電極に接続された 1 次遅れ 回路と この 1次遅れ回路の出力を所定値と比較し比較 結果に応じた出力信号を発生する第 2 の比鲛器とを備 えている ことを特徵とする請求の範囲第 21項に記载の 放'電カロェ装置。
    ^ 極間状態判別手段 ， 電極位置検出手段からの出力
    信号を入力し， これを設定値と比較し， 比較結果に'応 • じた出力信号を発生する比較器を備えている こと を特 徵とする請求の範囲第 22項に記載の放電加工装置。
    極間状態判別手段は， 電極位置検出手段からの出力 信号を入力 し， これを設定値と比較し， 比較結杲に応 じた出力信号を発生する比較器と， この比較器の出力 側に設けられた 1 次遅れ回路と を備えているこ とを特 徵とする請求の範囲第 22項に記載の放電加工装置。
    極間状態判別手段は， 電極位置検出手段からの出力 信号を入力 しこれを設定値と比較し， 比較結杲に応じ た出力信号を発生する第 1 の比較器と， この比較器の 出力信号によ ] 導通制御される ス ィ ツ チン グ素子と，
    ΟΛ1ΡΙ き NAT このス ィ ツ チ ン グ素子の主電極に接続された 1次 ¾れ 回路と この 1 ^遅れ回路の出力を所定値と比較し比較 結果に応じた出力信号を発生する第 2 の比較器とを備 えている ことを特徵とする請求の範囲第 22項に記載の 放電加工装置。
    極間状態判別手段は， 電極位置検出手段からの出力 信号を入力し， これを設定値と比較し， 比較結果に応 じた出力信号を発生する第 1 の比較器と， この比較器 の出力信号によ J 導通制御されるス ィ チン グ素子と
    , こ のス ィ ツ チ ン グ素子の主電極に接続された 1 次遅 れ—回路と， 前記ス イ ッ チ ン グ素子の主電極に前記電極 位置検出手段からの出力信号又は， 所定一定電位を選 択的に導くス ィ ッ チ手段と， その 1 次遅れ回路の出'力
    ' を設定値と比敦し， 比較結果に応じた出力信号を発生
    する第 2 の比較器とを備えた請求の範囲第 23項に記載 の放電加工装置。 ：、
    δ¾ .電気的加工条件を変化する電源手段は， 放電休止時
    間を設定する休止時間設定カ ウ ン タ と この休止時間 設定カ ウ ン タ の計数値と電極位置検出手段の可逆カ ウ ン タ の計数値とが一致したと きに一致信号を出力する
    —致判別回路と， この一致判別回路からの一致信号と
    ， 極間状態判別手段からの極間状態判別信号とを入力 するゲ一 ト 回路'と， 電極間に印加電圧のオ ン オ フ パ ル— スのパ ル ス接続時間を設定するパ ル ス幅設定力 ゥ ン タ
    _ ΟΛίΡΙ T10 と， このパ ル ス幅設定カ ウ ン タ の設定値に応じた信号 をセ ッ ト信号'と し前記ゲー ト 回路の出力を リ セ ッ ト 信 号と して受け， 第 1 の出力を前記休止時間設定用カ ウ ン タ に対し送出しする第 1 の出力端子と， 逆論理の第
    2 の出力を送出する第 2 の出力端子とを有する フ リ ッ プフ ロ ッ ブ回路と， この フ リ ッ ブフ ロ ッ プ回路の第 2 の出力によ ] 導通制御されるス ィ ッ チン グ素子と， こ のス ィ ツ チン グ素子の主電極に接続された電源とを備 えたこ とを特徵とする請求の範囲第 24項に記載の放電 加工装置。
    ^ 、ス イ ッ チ ン グ素子はその主電極に電極位置検出手段
    からの出力信号が導かれる こ とを特徵とする請求の範 囲第 28項に記載の放電加工装置。 - その一端が所定の一定電位に接続されている こ と を 特徵とする請求の範囲第 31項に記載の放電加工装置。
    ^ 電気的加工条件を変化する電源手段は， ス ィ ッ チ ン
    ダ素子の主電極に接続された電源の出力値を極間状態
    別信号に応じて調整する調整器を含むこ とを特徵と する請求の範囲第 33項に記載の放電加工装置。
    調整器は， 電極間の間隙が拡がる と電極間の印加電 王が低圧と ¾る よ うに電源の出力値を調整する こと を 荐截とする請求の範囲第 36項に記载の放電加工装置。
    ^ 電極と被加工物とを絶緣性加工液を介在させて対向
    させ， 電極送 ] 手段を介して上記電極を上記被加工物 U Rど
    ΟΛΊΡΙ
    Λ 4 ν'·'ϊ'ο
    29
    に対して送 込みその対向極間内に放電を発生させて
    上記被加工物を加工する放電加工装置において， 電極
    が被加工物に対して送 ] 込まれた最進位置と電極の現
    在位置との差を検出する電極位置検出手段と， こ の電
    極位置検出手段に _よ ] 検出された上記の差に基いて極
    間状態を判断して信号を出力する極間状態判別手段と
    ， この極間状態判別手段からの出力信号に応じて極間
    状態を変化させる電極送 ] 信号を上記電極送] 手段に
    - 与える制御手段とを備えたことを特徵とする放電加工 —制御手段は， 極間状態判別手段からの出力信号に応'
    じて極間状態を良好な状態に回復させる電極送 i 信号
    を上記電極送 手段に与える ことを特徵とする請求'の
    範囲第 38項に記載の放電加工装置。
    制御手段は， 基準電圧と電極間電圧との差に基づく
    電極間サ―ボ入力ディ ジタ ル信号と電極送 手段に与
    える電極送] との間の増幅度を制御する増幅度制御手
    段を含むこと を特徵とする請求の範囲第 38項に記載の
    放電加工装置。
    極間状態判別手段は，. 電極位置検出手段に よ ] 検出
    された電桎の最進位置と現在位置との差が大きいと き
    極間状態が惡いと判断する こ とを特徵とする請求の範
    囲第 38項 いし第 40項のいずれがに記載の放電加工装
    IM. o
    _ ΟΛΊΡΙ 、 W.PO . 極間状態判別手段は， 電極位置検出手段によ ])検出 された電極の最進位置と現在位置との差が大き く る つ ている時間が所定値¾上になると極間状態が悪いと判 断する こ ·とを特徵とする請求範囲第 41項に記載の放電 カロ工装置。
    極間状態判別手段は， 電極位置検出手段によ ])検出 された電極の最進位置と現在位置との差が大き く つ ている時間と上記差との積の値が所定値以上に る と 極間状態が悪いと判断する ことを特徵とする請求範囲 第 41項に記載の放電加工装置。
    ^ -極間状態判別手段は， 電極位置検出手段によ ] 検出 された電極の最進位置と現在位置との差が大き く るつ ている時間が所定値以上に る と極間状態が悪いと'判 断するか或いは上記差が大き く ¾ つている時間と上記 差との積の値が所定値 ¾上にるる と極間状態が惡ぃと 判断するかのいずれかに判断の態様を択一的に選択さ れるよ う に構成されてるる請求の範囲第 41項に記載の 放電加工装置。
    電極位置検出手段は， 電極の進退量に応じてデイ ジ タ ル信号を発生するス ケー ル と'， こ のス ケ ー ルのディ ジタ ル信号を計数する 叮逆カ ゥ ン タ とを備えている こ とを特徵とする請求の範囲第 41項に記載の放電加工装
    IB. o
    06) 電極位置検出手段は， 電極の進退量に応 じてデイ ジ
    O' -TI タ ル信号を発生するス ケー ル と， このス ケールのディ ジタ ル信号を計数する可逆カ ウ ン タ と， ^逆カ ウ ン タ の出力側に接続されディ ジ タ ル量をアナ π グ量に変換 するデ ィ ジ タ ルアナ 口 グ変換器と， このディ ジ タ ル了 ナロ グ変換器の出力を設定値と比較し， 比敦結杲に応 じて出力信号を発生する比較器と， 所定時隔でパ ル ス を発生するパ ル ス発振器と， 前記比較器の岀力 と前記 パ ル ス発生器の出力とが入力される第 i のゲ一 ト回路 と， この第 1 のゲー ト 回路の出力を前記ス ケ ー ルのデ イ ジタ ル信号とを入力し， 前記叮逆カ ウ ンタに出力信 ' 号'を送る第 2 のゲー ト 回路とを備えている ことを特徵 とする請求の範囲第 41項に記載の放電加工装量。
    極間状態判別手段は， 電極位置検出手袞からの出'力 信-号を入力し， これを設定値と比較し， 比敦結果に応 じた出力信号を発生する比較器を備えている こ とを特 徵とする請求の範囲第 41項に記载の放電加工装置。
    極間状態判別手段は， 電極位置検出手段からの出力 信号を入力 し， これを設定値と比較し， 比敦結果に応 じた出力信号を発生する比較器と， .この比較器の出力 側に設けられた 1 次遅れ回路とを備えている こ とを特 徵とする請求の範囲第 2項に記載の放電加工装置。
    ） 極間状態判別手段は， 電極位置検出手段からの出力 信号を入力しこれを設定値と比較し， 比較結杲に応じ た出力信号を癸生する第 1 の比較器と， こ の比較器の
    W O 出力信号によ ] 導通制御されるス ィ ツ チ ン グ素子と， このス ィ ツ チン グ素子の主電極に接続された 1 次遅れ 回路と， この 1 次遅れ回路の出力を所定値と比較し比 餃結果に応じた出力信 を発生する第 2 の比較器と ,を 備えているこ とを特徵とする請求の範囲第 2項に記载 の放電加工装置。 ·
    極間状態判別手段は， 電極位置検出手段からの出力 信号を入ガし， これを設定値と比教し， 比敦結杲に応 じた出力信号を発生する比較器を傭えている こ とを特 徵とする請求の範囲第 43項に記載の放電加工装置。
    轼' —極間状態判別手段は， 電極位置検出手段か らの出力
    信号を入力し， これを設定値と比較し， 比較結果に応 じた出力信号を発生する比較器と， この比敦器の出'力 側に設けられた 1次遅れ回路とを備えている ことを特 徵とする請求の範囲第 43項に記載の放電加工装置。
    ^ 極間状態判別手段は， 電極位置検出手段からの出力
    信号を入力 しこれを設定値と比較し， 比較結果に応じ た出力信号を発生する第 1 の比較器と， この比較器の 出力信号によ ] 導通制御される ス ィ ツ チ ン グ素子と， このス ィ ツチン ク'素子の主電極に接読された 1 次遅れ 回路と この 1 次 れ回路の出力を所定値と比較し比較 結杲に応じた出力信号を発生する第 2 の比敦器とを備 えている ことを特徵とする請求の範固第 43項':て記載の 放電加工装置。
    、 OMPI
    , 0 極間状態判別手段は， 電極位置検出手段か らの出力
    信号を入力 し， これを設定値と比較し比較結果に応じ
    た出力信号を発生する第 1の比較器と， この比較器の
    出力信号によ 導通制御される ス イ ツ.チ ン グ素子と，
    このス ィ ツチン グ素子の主電極に接続された 1 次遅れ
    回路と， 前記ス イ ッ チ ン グ素子の主電極に前記電極位
    置検出手段か らの出力信号又は， 所定の一定電位を選
    択的に導く ス ィ ッ チ手段と， この 1 次遅れ回路の出力
    を設定値とを比赣し比較結果に応じた出力信号を発生
    する第 2 の比較器とを備えた請求の範囲第 4 項に記載
    の—放 ¾加工装置。
    ^ 制御手段は， 電極間隙を強制的に拡大する時間を設
    定する間隙強制拡大時間設定カ ウ ン タ と ， この間隙'強
    制拡大時間設定カ ウ ン タ の計数値と電極位置検出手段
    の可逆カ ウ ン タ の計数値とを入力 し， これらの両計教
    値が一致したと き一致信号を出力する一致回路と， 加
    ェ時間を設定する と と もに前記一致回路からの一致信
    号に よ ] リ セ ッ ト される加工時間設定カ ウ ンタ と， 極
    間状態が異常である 旨を示す極間異常状態検出信号を
    前記一致信号が入力され， 前記加工時間設定カ ウ ン タ
    に対して第 1 の出力信号を供給し前記間隙強剞拡大時
    間設定カ ウ ン タに対して第 2 の出力信号を供給する論
    理回路と， こ の論理回路の第 2 の出力を受けて通常の
    電極送 ]Ρ制御信号に優先して送 電極を上昇させる信 > '"？ϋ ' 号を電極送 装置に対し発生させる電極上昇信号供給 手段と を備えたことを特徵とする請求の範囲第 45項に 記載の放電加工装置。
    ^ 制御手段の増幅を制御する増幅度制御手段は， 電極 位置検出手段の可逆カ ウ ン タ ーのディ ジタ ル出力信号 と電極間サーボ入力ディ ジ タ ル信号と を入力 と し， こ れらのディ ジタ ル入力信号に基づいてアナ口 グ信号を 出力する ディ ジタ ルアナ 口 グ変換器を含むこ とを特徵 とする請求の範囲第 45項に記载の放電加工装置。
    ス ィ ツ チ ン グ素子はその主電極に電極位置検出手段 らの出力信号が導かれる ことを特徵とする請求の範 囲第 49項に記載の放電加工装置。
    その一端が所定の一定電位に接続されている こ と'を
    '特徵とする請求の範囲第 52項に記載の放電加工装置。 158 論理回路は， 極間異常状態検出信号を加工時間の設 定値に対応した信号とが入力されるセ ッ ト端子と， 一 致回路からの一致信号が入力される リ セ ッ ト端子と， 電極上昇信号供給手段及び前記一致回路に対して第 1 の出力信号を発生する第 1 の出力端子と， 前記第 1 の 出力信号と逆論理の第 2 の出力信号を加工時間設定力 ゥ ン タ に対し発生する第 2 の出力端子とを備えたフ リ ッ プフ 口 ッ ブ回路から構成されてるる ことを特徵とす る請求の範囲第 55項に記载の放電加工装置。
    ^ ディ ジ タ ルアナ ロ グ ¾換器は乗算型ディ ジ タ ルアナ 35
    ログ変換器である こ とを特徵とする請求の範囲第 55項 に記載の放電加工装置。
    制御手段の増幅度を制御する増幅制御手段は， 電極 間サ― ホ '入力ディ ジ タ ル信号が入力され電極位置検出 手段の可逆カ ウ ン タ のディ ジ タ ル出力信号アナ 口 グ量 に変換する ディ ジ タ ルアナ ロ グ変換器 ， 前記電極間 サ一ボ入力デ ィ ジ タ ル信号が入力される増幅器と， 桎 間状態判別手段からの出力信号に応じて前記アナ 口 グ 変換器の出力信号あるいは前記増幅器の岀カ信号を還 択的に送出するス ィ ツチ手段とを含むこ とを特徵とす る'請求の範囲第 55項に記載の放電加工装置。
    拗 電極上昇信号供給手段は， 論理回路からの第 1 の出
    力を受けて作動する スィ ッ チ と ， このス ィ ッ チに接続 された電源とを備えている ことを特徵とする請求の範 囲第 58項に記載の放電加工装量。
    (60 .電極と被加工物と を絶緣性加工液を介在させて対向
    させ 電極送 ] 手段を介して上記電極を上記被加工 ¾ に対して送 ]5込みその対向極間内に放電を発生させて 上記被加工物を加工する放電加工装置に いて， 電¾ が被加工物に対して送] 込まれた最進位置と電極のま 在位置との差を検出する電極位置検出手段と， この電 極位置検出手段によ 1)検出された上記の差に基いて ¾ 間状態を判断して信号を出力する極間状態判別手段と ， この極間状態^別手段の出力信号または前記電極^
    OMPI 置検出手段からの出力信号に基いて極間状態を表示す る表示手段とを備えたこ と を特徵とする放電加工装置。
    (6 表示手段は伝送路を介して極間状態判別手段の出力 信号又は電極位置検出手段の出力信号を電極から錐れ た位置に設けられて る 匕 と を特铵とする請求の範囲 62項に記載の苽電加工装置 o
    W 表示手段は極間状態を光学的に表示する ことを特徵 とする請求の範囲第 63項に記载の放電加工装置。
    表示手段は電極位置検出手段からの出力信号を値を 表示する計測器である こ と を特徵とする請求の範囲第
    63項に記載の-放電加工装置。
    極間拔態判別手段は， 電極位置検出手段に よ 検出 された電極の最進位置と現在位置との差が大きいとき 極間状態が悪いと判断する ことを特徵とする請求の範 囲第 63項に記載の放電加工装置。
    (67) 極間状態判別手段は， 電極位置検出手段によ ] 検出 された電極の最進位置と現在位置との差が大き く なつ ている時間が所定値以上に る と極間状態が悪いと判 断する ことを特徵とする請求範囲第 66項に記載の放電 加工装量。
    極間状態判別手段は， 電極位置検出手段に よ ])検出 された電極の最進位量と現在位置との差が大き く つ ている時間と上記差との積の値が所定值以上になる と 極間状態が惡ぃと钊断する ことを特徵とする請求範囲 37
    第 66項に記載の放電加工装置。
    極間状態判別手段は， 電極位置検出手段に よ ] 検出 された電極の最進位置と現在位置との差が大き く な つ ている時間が所定値以上に る と極間状態が惡いと判 断するか或いは上記差が大き く る っている時間と上記 差との積の値が所定値以上になると極間状態が悪いと 判断するかのいずれかに判断の態様を択一的に選択さ れる よ うに構成されてるる請求の範囲第 66項に記載の 放電力 Πェ装置。
    (J 電極位置検出手段は， 電極の進退量に応じてデイ ジ
    タ ル信号を発生する ス ケ ー ル と ， このス ケ ー ルのディ ジタ ル信号を計数する可逆力 ゥ ン タ と を備えている こ とを特徵とする請求の範囲第 66項に記載の放電加工'装 電極位置検出手段は， 電極の進退量に応じてデイ ジ タ ル信号を発生する ス ケ ー ル と ， このス ケ ー ルのディ ジ タ ル信号を計数する可逆カ ウ ン タ と ， 玎逆カ ウ ン タ の出力側に接続されディ ジ タ ル量をアナ ロ グ量に変換 するデ ィ ジ タ ル ア ナ ロ グ変換器と， この デ ィ ジ タ ル 了 ナロ グ変換器の出力を設定値と比較し， 比敦結杲に応 じて出力信号を発生する比較器と， 所定時隔でパル ス を発生するパ ル ス発振器と， 前記比較器の出力と前記 パ ル ス発生器の出力 とが入力される第 1 のゲー ト 回路 と， この第 1 のゲー ト 回路の出力と前記ス ケ ー ルのデ
    U R
    OMPI イ ジタ ル信号とを備えている こ とを特徵とする請求の 範囲第 66項に記載の放電加工装置。
    ^ 極間状態判別手段は， 電極位置検出手段か らの出力
    信号を入力 し， これを設定値と比較し比較結果に応じ た出力信号を発生する比較器を備えている ことを特徵 とする請求の範囲第 66項に記载の放電加工装置。
    極間状態判別手段は， 電極位置検出手段からの出力 信号を入力 し， これを設定値と比較し比敦結果に応じ た出力信号を発生する比較器と， この比較器の出力側 に設けられた 1 次遅れ回路とを備えている ことを特徵 とする請求の範囲第 67項に記載の放電加工装置。
    (14 極間状態判別手段は， 電極位置検出手段からの出力
    信号を入力しこれを設定値と比較し， 比較結果に応じ た出力信号'を発生する第 1 の比較器と， この比敦器の 出力信号に よ ] 導通制御される ス ィ ツ チ ン グ素子と， このス ィ ツチン グ素子の主電極に接続された 1 次遅れ 回路と， この 1.次遅れ回路の出力を所定値と比較し比 較結杲に応じた出力信号を発生する第 2 の比較器とを 備えている こ とを特徵とする請求の範 S第 67項に記载 の放電加工装置。
    ^ 極間状態判別手段は， 電極位置検出手段からの出力
    信号を入力し， これを設定値と比較し， 比較結杲に応 じた岀カ信号を発生する比較器を備えている ことを特 徵とする請求の範囲第 68項に記載の放電加工装置。
    O. PI 、 W.PO d$ 極間状態判別手段は， 電極位置検出手段からの出力 信号を入力し， これを設定値と比較し比較結果に応じ た出力信号を発生する比敦器と， この比較器の出力側 に設けられた 1 次遅れ回路とを備えている こ とを特徵 とする請求の範囲第 68項に記載の放電加工装置。
    trf) 極間状態判別手段は， 電極位置検出手段からの出力
    信号を入力 しこれを設定値と比較し， 比較結果に応じ た出力信号を発生する第 1 の比敦器と， この比較器の 出力信号によ ] 導通制御される ス ィ ツ チン グ素子と， このス ィ ツチン グ素子の主電極に接続された 1次遅れ 回'路と， この 1 次遅れ回路の出力を所定値と比敦し比 較結杲に応じた出力信号を発生する第 2の比較器とを 備えている ことを特徵とする請求の範囲第 68項に記'载
    'の放電加工装置。
    d 極間状態判別手段は， 電極位置検出手段からの出力
    信号を入力 しこれを設定値と比較し， 比較結果に応じ た出力信号を発生する第 1 の比較器と， この比較器の 出力信号によ ])導通制御されるス ィ ッ チ ン グ素子と， このス ィ ツ チン グ素子の主電極に接続された 1 次遅れ 回路と， 前記ス イ ッ チ ン グ素子の主電極に前記電極位 置検出手段からの出力信号又は， 所定の一定電位を選 択的に導く ス ィ ッ チ手段と， こ の 1 次遅れ回络の出力 を設定値と比較し， 比較結果に応じた出力信号を発生 する第 2 の比較器とを備えた請求の範囲第 69項に記载
    O. PI の放電加工装置。
    ^ 表示手段は， ツイ ス ト ペア線群から る伝送路を介
    して伝送された電極位置検出手段の可逆力 ゥ ンタのデ イ ジ タ ル出力信号を了ナロ グ量に変換する デ ィ ジ タ ル アナ ^ グ変換器を含むことを特徴とする請求の範囲第
    70項に記載の放電加工装置。
    ス ィ ッ チ ン グ素子はその主電極に電極位置検出手段 からの出力信号が導かれる ことを特徵とする請求の'範 囲第 74項に記載の放電加工装置。
    ^ その一端が所定の一定電位に接続されている ことを
    荐徵とする請求の範囲第 7項に記載の放電加工装置 o
    0MPI ¾''po
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