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    • 专利摘要:
    一種有機發光顯示裝置包括：基板；在基板上的第一電極；粒子單元，其包括在第一電極的頂部表面上彼此分離的複數個粒子；中間層，其在第一電極和粒子單元上並包括有機發光層；以及在中間層上的第二電極。
    公开号:TW201304228A
    申请号:TW101108371
    申请日:2012-03-12
    公开日:2013-01-16
    发明作者:Dae-Woo Lee；Soo-Beom Jo；Jong-Hyun Choi
    申请人:Samsung Display Co Ltd；
    IPC主号:H01L51-00
    专利说明:
    有機發光顯示裝置和製造該有機發光顯示裝置之方法
    實施例涉及一種有機發光顯示裝置和一種製造該有機發光顯示裝置的方法。
    相關申請案
    本申請案宣告於2011年7月4日向韓國知識產權局申請的韓國專利申請案第10-2011-0066122號的優點，其之揭示內容藉由以全篇參考的方式併入於此。
    最近，顯示裝置正以可攜、輕薄的平板顯示裝置所取代。在平板顯示裝置之間，有機發光顯示裝置是一種自發光的顯示裝置，其具有寬視角和良好的對比度，以及高響應速度，並且從而將其視為下一代顯示裝置。
    根據實施例，提供了一種有機發光顯示裝置包括：基板；第一電極，其在該基板上；粒子單元，其包括在該第一電極的頂部表面上彼此分離的複數個粒子；中間層，其在該第一電極和該粒子單元上，該中間層包括有機發光層；以及第二電極，其在該中間層上。
    粒子單元的粒子尺寸可是約300埃至約1000埃。
    粒子單元的可包括Ag。
    有機發光顯示裝置可進一步包括在該第一電極上的像素定義層（PDL），該像素定義層包括與該第一電極重疊的開口。該粒子單元可進一步包括在該PDL的開口的內部和外部上的粒子。
    該第一電極可包括傳輸導電材料。
    該傳輸導電材料可包括銦錫氧化物（ITO）、銦鋅氧化物（IZO）、氧化鋅（ZnO）、氧化銦（In2O3）、銦鎵氧化物（IGO）和鋁鋅氧化物（AZO）中至少一者。
    該第二電極可接觸來自在該粒子單元中的複數個粒子之中預定的粒子。
    該預定的粒子可不接觸該中間層。
    根據實施例，提供了一種製造有機發光顯示裝置的方法，該方法包括：在基板上形成第一電極；形成粒子單元，其包括在該第一電極的頂部表面上彼此分離的複數個粒子；形成中間層，其包括在該第一電極和該粒子單元上的有機發光層；以及在該中間層上形成第二電極。
    該粒子單元的形成可包括：形成包括Ag的導電層；以及在該導電層上進行熱處理，以便使Ag凝聚。
    該導電層的厚度可是約10埃至約200埃。
    該熱處理可是在氮氣環境下執行。
    該熱處理可是在約攝氏250度到約攝氏300度的範圍的溫度下執行。
    在該第一電極的形成之後和在該粒子單元的形成之前，該方法可進一步包括在該第一電極上形成像素定義層（PDL），其中該PDL包括與該第一電極重疊的開口。
    該粒子單元可是另外形成在該PDL的開口的內部和外部上。
    該粒子單元的形成可包括：在該第一電極和該PDL上形成包括Ag的導電層上；以及在該導電層上進行熱處理，以便使Ag凝聚。
    下文，實施例將藉由參考附圖來解釋示範性實施例以詳細描述。
    本文中所使用的術語“及/或”包括相關列表項目的一個或多個任何和所有的組合。
    圖1是根據實施例來說明有機發光顯示裝置100的示意橫截面視圖。
    參照圖1，有機發光顯示裝置100可包括基板101、第一電極110、粒子單元120、中間層130和第二電極140。粒子單元120可包括彼此分離的複數個粒子121。
    基板101可由含有SiO2為主要成分的透明玻璃所形成。基板101也可以由透明的塑料材料所形成，其可以選自聚醚碸（PES）、聚丙烯酸酯（PAR）、聚醚酰亞胺（PEI）、聚萘（PEN）、聚對苯二甲酸乙二酯（PET）、聚苯硫醚（PPS）、聚烯丙基（polyallylate）、聚酰亞胺（polyimide）、聚碳酸酯（PC）、三醋酸纖維素（TAC）和丙酸醋酸纖維素（CAP）中至少一個絕緣有機材料。
    此外，基板101可由金屬所形成或者可具有箔狀。
    第一電極110可配置在部分的基板101上。第一電極110可透過光刻方法而圖案化。雖然沒有於圖1說明，緩衝層（未顯示）可形成在基板101和第一電極110之間。緩衝層可提供在基板101上的一平面，並且可以防止外來物質滲透到基板101。緩衝層可由SiO2及/或SiNx所形成。
    第一電極110的圖案可以條紋線所形成，該條紋線會藉由預定距離而彼此分離。也就是說，根據本實施例的有機發光顯示裝置100可是一種被動式矩陣（PM）型有機發光顯示裝置。主動式矩陣（AM）型有機發光顯示裝置將在下面描述。
    第一電極110可包括各種導電材料之一。第一電極110可包括一種透射導電材料。例如，第一電極110可包括銦錫氧化物（ITO）、銦鋅氧化物（IZO）、氧化鋅（ZnO）、氧化銦（In2O3）、銦鎵氧化物（IGO）和鋁氧化鋅（AZO）中至少一者。
    像素定義層（PDL）115可配置在第一電極110上。PDL 115可包括開口115a。開口115a可對應於第一電極110。PDL 115可覆蓋第一電極110的側邊邊緣，並且開口115a可與第一電極110的頂部表面的預定區域重疊。PDL 115可透過使用各種絕緣材料之一來形成。
    粒子單元120可配置以接觸第一電極110的頂部表面。粒子單元120可包括複數個粒子121。每個粒子121可包括Ag。粒子121不僅形成在第一電極110的頂部表面上，並且也形成在PDL 115的頂部上。
    粒子單元120的粒子121可具有約300埃至約1000埃的預定尺寸。
    在粒子121尺寸是小於300埃的情況中，從中間層130發出並朝粒子單元120傳輸的可見光可能無法有效地分散和反射，這樣有機發光顯示裝置100的發光效率可能會很差。
    從中間層130發出的可見光可藉由粒子單元120的每個粒子121所分散，使得從中間層130發出並具有特定波長的可見光可被過濾。此外，從中間層130發出的可見光可以在粒子單元120和第二電極140之間反射，使得光學共振效應發生在粒子單元120和第二電極140之間的空間中。如果粒子121的尺寸小於300埃，有效反射和色散可能不會發生。粒子121的尺寸等於或大於300埃是理想的。
    在粒子121的尺寸大於1000埃的情況下，從中間層130發出並朝基板101傳輸的可見光的透射率可能會降低。在底部發射型有機發光顯示裝置100的情況下，其中從中間層130發出的可見光朝著基板101傳輸以讓使用者識別該可見光，如果粒子121的尺寸大於1000埃時，則從中間層130所發出的可見光的透射率可藉由粒子121而降低。因此，粒子121的尺寸等於或小於1000埃是理想的。
    在此處，所謂“粒子121的尺寸”可能是指每個粒子121的寬度。例如，在每個粒子121都具有球形的情況下，粒子121的尺寸可以直徑來定義。在每個粒子121不是球形的情況下，粒子121的最大寬度可以定義為粒子121的尺寸，粒子121的尺寸是相對於粒子121的中心來測量所提供。
    中間層130可配置在粒子單元120上。中間層130可包括有機發光層。在更多的細節中，中間層130可配置以對應PDL 115的開口115a。中間層130可配置在粒子單元120的粒子 121上，並且可透過彼此分離的粒子121之間的空間來接觸第一電極110。
    中間層130的有機發光層發出可見光，並且可能會產生不同的顏色。例如，有機發光層可能會發出紅、綠、藍三種顏色的可見光。
    第二電極140可配置在中間層130上。第二電極140可具有垂直第一電極110的圖案的條紋圖案。第二電極140可由Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir、Cr、Li、Ca及其化合物的一個或多個所形成。
    第二電極140可接觸粒子單元120的粒子121。也就是說，第二電極140可接觸不對應中間層130的粒子121之中預定的粒子121。當施加電壓到第二電極140並且當有機發光顯示裝置100是大的時，由於第二電極140可接觸包括Ag的粒子121，防止可能發生在第二電極140中的IR壓降是可能的。
    雖然沒有於圖1說明，密封件（未顯示）可形成在第二電極140上，以面對基板101的一個表面。密封件可以被形成以保護中間層130免於來自外面的水或氧氣的破壞。密封件可由玻璃或塑料所形成，或者可具有複數個有機和無機材料所堆疊的結構。
    有機發光顯示裝置100可包括粒子單元120。從有機發光顯示裝置100的中間層130發出並朝著基板101傳輸的部分可見光可抵達粒子單元120，然後可以從粒子單元120反射。從粒子單元120反射的可見光可朝向第二電極140傳送，然後可以從第二電極140反射。在這個過程中，可見光可以在粒子單元120和第二電極140之間的空間產生共振，並且光學共振可以提高有機發光顯示裝置100的發光效率。因此，有機發光顯示裝置100的顯示品量可有所改善。
    特別是在底部發射型有機發光顯示裝置100中的有機發光顯示裝置100的發光效率可進一步被改善，其中從底部發射型有機發光顯示裝置100中的中間層130發出的可見光朝著基板101傳輸而透過使用者識別可見光。粒子單元120不包括延展的薄層，但可包括彼此分離的粒子121，所以，共振後，可見光透過粒子121之間的空間而朝向基板101傳輸，然後抵達使用者，因此光損耗可能會降低。
    此外，從中間層130發出的可見光可抵達粒子單元120，然後可藉由粒子121所分散。由於光學色散，有機發光顯示裝置100的發光效率可被提高。特別是，光學色散可以在可見光的特定波長上誘發過濾。由於這個原因，從中間層130發出的藍色可見光的發光品質可很容易地改善，因此，有機發光顯示裝置100的顯示品質可以改善。
    再者，由於第二電極140接觸粒子121，第二電極140的電壓降可被預防，使得有機發光顯示裝置100的電性特性和顯示品質可以被改善。
    圖2是根據另一實施例來說明有機發光顯示裝置200的示意橫截面視圖。
    參照圖2，有機發光顯示裝置200可包括基板201、薄膜電晶體（TFT）、第一電極210、粒子單元220、中間層230和第二電極240。TFT可包括作用層203、閘極電極205、源極電極207和汲極電極208。
    現在將詳細描述每個構件的配置。
    緩衝層202可形成在基板201上。緩衝層202可由SiO2或SiNx所形成。此外，緩衝層202可具有複數個層所堆疊的結構。緩衝層202可提供基板201上的一個平面，並且可以防止水和外來物質滲透到基板201。
    具有預定圖案的作用層203可形成在緩衝層202上。作用層203可由包括非晶矽或多晶矽的無機半導體或有機半導體所形成。作用層203可包括源極區域和汲極區域。閘極絕緣層204可形成在作用層203上。可使用各種絕緣材料來形成閘極絕緣層204。
    閘極電極205可形成在閘極絕緣層204的預定區域上。閘極電極205可以連接到將TFT ON/OFF訊號施加到TFT的閘極線（未顯示）。作為例子，閘極電極205可由包括Au、Ag、Cu、Ni、Pt、Pd、Al或Mo的金屬或者包括Al:Nd合金、Mo:W合金或類似物的金屬合金所形成。
    層間絕緣層206可形成在閘極電極205上，並且可暴露作用層203的源極和汲極區域。
    源極電極207和汲極電極208可被形成以分別接觸經暴露的作用層203的源極和汲極區域。
    鈍化層209可形成在層間絕緣層206上以覆蓋TFT。
    第一電極210可形成在鈍化層209上。鈍化層209可被形成以暴露汲極電極208，並且第一電極210可連接到經暴露的汲極電極208。
    第一電極210可包括ITO、IZO、ZnO、In2O3、IGO和AZO中的至少一者。
    PDL 215可配置在第一電極210上。PDL 215可由各種絕緣材料之一者所形成，並可包括開口215a。開口215a可能對應於第一電極210。開口215a可以第一電極210的頂部表面的預定區域重疊。
    粒子單元220可配置以接觸第一電極210的頂部表面。粒子單元220可包括複數個粒子221。每個粒子221可包括Ag。粒子221可形成在第一電極210的頂部表面上，並且可形成在PDL 215的頂部上。
    粒子單元220的粒子221可具有是從大約300埃至約1000埃的預定尺寸。關於每個粒子221的配置的詳細說明可是與之前的實施例相同的，因此，這裡不再重複。
    中間層230可配置在粒子單元220。中間層230可包括有機發光層。更詳細的說明，中間層230可配置以對應PDL 215的開口215a。中間層230可配置在粒子單元220的粒子221上，並透過彼此分離的粒子221之間的空間來接觸第一電極210。
    中間層230的有機發光層發出可見光，並且可產生不同的顏色。例如，有機發光層可能會發出紅、綠、藍三種顏色的可見光。
    第二電極240可配置在中間層230上。第二電極240可沒有特定的圖案且可共同形成在所有的子像素（未顯示）上。第二電極240可由Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir、Cr、Li、Ca或其化合物中的一個或多個所形成。
    雖然沒有在圖2中說明，密封件（未顯示）可形成在第二電極240上以面對基板201的表面。密封件可被形成以保護中間層230免於外在水或氧氣的破壞。密封件可由玻璃或塑料所形成，或者可具有複數個有機和無機材料所堆疊的結構。
    圖3是根據另一實施例來說明有機發光顯示裝置300的示意橫截面視圖。
    參照圖3，有機發光顯示裝置300可包括基板301、TFT、第一電極310、中間層330、第二電極340、粒子單元320和電容器318。
    TFT可包括作用層303、閘極電極307、源極電極311和汲極電極312。電容器318可包括第一電容器電極313和第二電容器電極317。
    緩衝層302可形成在基板301上。作用層303可形成在緩衝層302的一部分上。此外，第一電容器電極313可形成在緩衝層302的一部分上。第一電容器電極313可由如作用層303的相同材料所形成。
    閘極絕緣層304可形成在緩衝層302上以涵蓋作用層303和第一電容器313。閘極電極307、第一電極310和第二電容器電極317可形成在閘極絕緣層304的一部分上。
    閘極電極307可包括第一導電層305和第二導電層306。第一導電層305可包括傳輸導電材料，並且更詳細的說明，第一導電層305可包括ITO、IZO、ZnO、In2O3、IGO和AZO的至少一者。作為例子，第二導電層306可由形成包括Mo的金屬或者包括Mo:W合金、Al基合金或類似物的金屬合金。
    第一電極310可包括傳輸導電材料，可以如閘極電極307的第一導電層305的相同材料所形成。導電部分310a可配置在第一電極310的預定區域上，並且可由如閘極電極307的第二導電層306的相同材料所形成。
    第二電容器電極317可包括第一層314和第二層316。第二電容器電極317的第一層314可由如閘極電極307的第一導電層305的相同材料所形成，並且第二電容器電極317的第二層316可由如閘極電極307的第二導電層306的相同材料所形成。
    層間絕緣層308可形成在第一電極310、閘極電極307和第二電容器電極317。層間絕緣層308可包括各種有機或無機絕緣材料。
    源極電極311和汲極電極312可形成在層間絕緣層308上。源極電極311和汲極電極312可透過層間絕緣層308和閘極絕緣層304來連接到作用層303。
    此外，源極電極311和汲極電極312中的一者可電連接到第一電極310。圖3對應到汲極電極312電連接到第一電極310的情況。汲極電極312可接觸導電部分310a。
    PDL 315可形成在層間絕緣層308上以覆蓋TFT和電容318。PDL 315可包括開口315a。開口315a可與第一電極310的頂部表面的預定區域重疊。
    粒子單元320可配置以接觸第一電極310的頂部表面。粒子單元320可包括複數個粒子321。每個粒子321可包括Ag。粒子321可形成在第一電極310的頂部表面上並可形成在PDL 315上。
    粒子單元320的粒子321可具有從大約300埃至約1000埃的預定尺寸。關於每個粒子321的配置的詳細說明可是與之前的實施例相同的，因此，這裡不再重複。
    中間層330可配置在粒子單元320上。中間層330可包括有機發光層。在更詳細的說明中，中間層330可配置以對應PDL 315的開口315a。粒子單元320的粒子321可配置在中間層330上，並且透過彼此分離的粒子321之間的空間來接觸第一電極310。
    第二電極340可配置在中間層330上。當透過第一電極310和第二電極340將電壓施加至中間層330時，可見光可從有機發光層的中間層330發出。
    密封件（未顯示）可配置在第二電極340上。密封件可被形成以保護中間層330和其他層免於外來的水和氧氣的破壞，並可由透明材料所形成。密封件可具有玻璃、塑料或複數個有機和無機材料所堆疊的結構。
    圖4A至4F是根據實施例來按順序說明製造有機發光顯示裝置的方法的橫截面視圖。
    特別是，本實施例對應於製造圖1的有機發光顯示裝置100的方法。雖然沒有在圖4A至4F中說明，根據本實施的方法的態樣也可應用於製造圖2和3的有機發光顯示裝置的方法。
    參照圖4A，第一電極110可形成在基板101的一部分上。第一電極110可藉由光微影方法來形成以具有預定的圖案。雖然沒有說明，在第一電極110形成在基板101上之前，緩衝層（未顯示）可被形成。
    第一電極110可由選自ITO、IZO、ZnO、In2O3、IGO和AZO中的至少一個導電材料所形成。
    參照圖4B，PDL 115可形成在第一電極110上。PDL 115可被形成以包括開口115a，其具有預定的圖案。PDL 115可包括高分子材料。
    開口115a可對應於第一電極110。PDL 115可覆蓋第一電極110的側邊邊緣。開口115a可暴露第一電極110的頂部表面的預定區域。
    參照圖4C，用以形成粒子單元120的導電層 120a可形成在第一電極110的經暴露的表面和PDL 115的頂部表面上。導電層120a可形成在第一電極110和PDL 115上，而無需使用個別的圖案。
    導電層120a可包括Ag，並可具有預定的厚度。導電層120a的厚度可是約10埃至約200埃。當導電層120a是形成以具有預定的厚度，透過執行熱處理製程，粒子121可被形成以具有約300埃至約1000埃的範圍的尺寸。
    參照圖4D，熱處理過程中可能會執行，使得集聚發生在導電層 120a，從而可能形成粒子121。熱處理製程可藉由將基板101插入熱處理腔室500中來執行。熱處理製程可在約攝氏250度至約攝氏300度的溫度範圍來執行。例如，熱處理製程可在可在約攝氏250度的溫度下執行。如果熱處理製程在低於攝氏250度的溫度下執行，則集聚可能不會出現在導電層 120a中，使得粒子121可能不會產生。如果熱處理製程在大於攝氏300度的溫度下執行，則第一電極110和PDL 115可能被損壞或者導電層120a的特性可能會很差。
    熱處理製程可被執行在約50分鐘至約90分鐘之間的時間週期內。例如，熱處理製程可能會執行一個小時。
    熱處理製程可在氮氣環境下執行。當熱處理製程是結束時，如圖4E所示，粒子單元120可被形成。
    如果導電層120a是以上述條件來熱處理，則集聚可能發生在導電層120a中以形成具有預定的尺寸且彼此分離的粒子121。
    參照圖4F，中間層130和第二電極140可形成在第一電極110上，使得有機發光顯示裝置100終於製造完成。
    中間層130可包括有機發光層。中間層130可配置以對應於PDL 115的開口115a。中間層130可以配置在粒子單元120的粒子121上，並可透過彼此分離的粒子121之間的空間來接觸第一電極110。
    第二電極140可配置在中間層130上。第二電極140可接觸粒子單元120的粒子121。第二電極140可接觸不對應於中間層130的粒子121之間的預定粒子121。
    雖然沒有說明，密封件（未顯示）可形成在第二電極140上以面對基板101的一個表面。密封件可被形成以保護中間層130免於外來的水或氧氣破壞。密封件可由玻璃或塑料所形成，或者可具有複數個有機和無機材料所堆疊的結構。
    通過使用這種製造有機發光顯示裝置100的方法，包括粒子121的粒子單元120可以很容易地形成在第一電極110上。因此，有機發光顯示裝置的發光效率可以很容易地提高。
    藉由總結和檢討的方式，有機發光顯示裝置可包括第一電極和第二電極之間的中間層。中間層可包括有機發光層。當電壓施加至第一和第二電極時，有機發光層發出可見光。
    從包含在典型的有機發光顯示裝置中的中間層的有機發光層發出的可見光可在可見光抵達使用者之前顯著損失。有機發光顯示裝置的發光效率可能很差。因此，難以提高典型的有機發光顯示裝置的顯示品質。
    然而，根據一個或多個實施例的有機發光顯示裝置和製造有機發光顯示裝置的方法，有機發光顯示裝置的顯示品質可以很容易地改善。
    雖然實施例已參照其示範性實施例而特別顯示和描述，該領域中具有通常知識者將理解，在不違背藉由下述申請專利範圍所定義的精神和範疇下的形式和細節上的各種改變是可以進行的。
    100．．．有機發光顯示裝置
    101．．．基板
    110．．．第一電極
    115．．．像素定義層
    115a．．．開口
    120．．．粒子單元
    120a．．．導電層
    121．．．粒子
    130．．．中間層
    140．．．第二電極
    200．．．有機發光顯示裝置
    201．．．基板
    202．．．緩衝層
    203．．．作用層
    204．．．閘極絕緣層
    205．．．閘極電極
    206．．．層間絕緣層
    207．．．源極電極
    208．．．汲極電極
    209．．．鈍化層
    210．．．第一電極
    215．．．像素定義層
    215a．．．開口
    220．．．粒子單元
    221．．．粒子
    230．．．中間層
    240．．．第二電極
    300．．．有機發光顯示裝置
    301．．．基板
    302．．．緩衝層
    303．．．作用層
    304．．．閘極絕緣層
    305．．．第一導電層
    306．．．第二導電層
    307．．．閘極電極
    308．．．層間絕緣層
    310．．．第一電極
    310a．．．導電部分
    311．．．源極電極
    312．．．汲極電極
    313．．．第一電容器電極
    314．．．第一層
    315．．．像素定義層
    315a．．．開口
    316．．．第二層
    317．．．第二電容器電極
    318．．．電容器
    320．．．粒子單元
    321．．．粒子
    330．．．中間層
    340．．．第二電極
    上述以及其他特徵和優點將藉由參考所附的圖式來詳細地描述其之示範性實施例以使特徵和優點更加明顯：
    圖1是根據實施例來說明有機發光顯示裝置的示意橫截面視圖；
    圖2是根據另一實施例來說明有機發光顯示裝置的示意橫截面視圖；
    圖3是根據另一實施例來說明有機發光顯示裝置的示意橫截面視圖；以及
    圖4A至4F是根據實施例來按順序說明製造有機發光顯示裝置的方法的橫截面視圖。
    100．．．有機發光顯示裝置
    101．．．基板
    110．．．第一電極
    115．．．像素定義層
    115a．．．開口
    120．．．粒子單元
    121．．．粒子
    130．．．中間層
    140．．．第二電極
    权利要求:
    Claims (16)
    [1] 一種有機發光顯示裝置，其包括：一基板；一第一電極，其在該基板上；一粒子單元，其包括在該第一電極的頂部表面上彼此分離的複數個粒子；一中間層，其在該第一電極和該粒子單元上，該中間層包括一有機發光層；以及一第二電極，其在該中間層上。
    [2] 根據申請專利範圍第1項的有機發光顯示裝置，其中該粒子單元的粒子尺寸是約300埃至約1000埃。
    [3] 根據申請專利範圍第1項的有機發光顯示裝置，其中該粒子單元的粒子包括Ag。
    [4] 根據申請專利範圍第1項的有機發光顯示裝置，進一步包括在該第一電極上的一像素定義層（PDL），該像素定義層包括與該第一電極重疊的一開口，以及其中該粒子單元進一步包括在該PDL的開口的內部和外部上的粒子。
    [5] 根據申請專利範圍第1項的有機發光顯示裝置，其中該第一電極包括一傳輸導電材料。
    [6] 根據申請專利範圍第5項的有機發光顯示裝置，其中該傳輸導電材料包括銦錫氧化物（ITO）、銦鋅氧化物（IZO）、氧化鋅（ZnO）、氧化銦（In2O3）、銦鎵氧化物（IGO）和鋁鋅氧化物（AZO）中至少一者。
    [7] 根據申請專利範圍第1項的有機發光顯示裝置，其中該第二電極接觸來自在該粒子單元的複數個粒子之中預定的粒子。
    [8] 根據申請專利範圍第7項的有機發光顯示裝置，其中該預定的粒子不接觸該中間層。
    [9] 一種製造有機發光顯示裝置的方法，該方法包括：在一基板上形成一第一電極；形成一粒子單元，其包括在該第一電極的頂部表面上彼此分離的複數個粒子；形成一中間層，其包括在該第一電極和該粒子單元上的一有機發光層；以及在該中間層上形成一第二電極。
    [10] 根據申請專利範圍第9項的方法，其中該粒子單元的形成包括：形成包括Ag的一導電層；以及在該導電層上進行熱處理，以便使Ag凝聚。
    [11] 根據申請專利範圍第10項的方法，其中該導電層的厚度是約10埃至約200埃。
    [12] 根據申請專利範圍第10項的方法，其中該熱處理是在氮氣環境下執行。
    [13] 根據申請專利範圍第10項的方法，其中該熱處理是在約攝氏250度到約攝氏300度的範圍的溫度下執行。
    [14] 根據申請專利範圍第9項的方法，進一步包括，在該第一電極的形成之後和在該粒子單元的形成之前，在該第一電極上形成一像素定義層（PDL），其中該PDL包括與該第一電極重疊的一開口。
    [15] 根據申請專利範圍第14項的方法，其中該粒子單元是另外形成在該PDL的開口的內部和外部上。
    [16] 根據申請專利範圍第14項的方法，其中該粒子單元的形成包括：在該第一電極和該PDL上形成包括Ag的一導電層上；以及在該導電層上進行熱處理，以便使Ag凝聚。
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    同族专利:
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