台湾专利TW201304019A ２軸驅動機構及晶片黏著機以及晶片黏著機的運轉方法

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[課題]本發明，是提供一種包含在電源喪失時防止線性馬達的昇降軸的落下且高信賴性的昇降軸的2軸驅動機構以及使用其的信賴性高的晶片黏著機及晶片黏著機的運轉方法。[技術內容]本發明，具有：處理部；及第1線性馬達部，具備使前述處理部沿著第1線性導引昇降的第1可動部及第1固定部；及2軸驅動軸，具備第2線性馬達部，該第2線性馬達部是設有將前述處理部朝與前述昇降的方向垂直的水平方向移動的第2可動部及第2固定部；及朝前述2軸驅動軸供給電源的主電源；及在前述主電源的電源喪失時，防止前述晶片的可動部的落下的昇降軸落下防止手段。
公开号:TW201304019A
申请号:TW100131252
申请日:2011-08-31
公开日:2013-01-16
发明作者:shingo Fukasawa；Koji Hosaka
申请人:Hitachi High Tech Instr Co Ltd；
IPC主号:H01L21-00

专利说明:
2軸驅動機構及晶片黏著機以及晶片黏著機的運轉方法
本發明，是有關包含昇降軸的2軸驅動機構及使用其的晶片黏著機以及晶片黏著機的運轉方法，特別是，包含有關於信賴性高的昇降軸的2軸驅動機構及使用其的信賴性高的晶片黏著機以及晶片黏著機的運轉方法。
在半導體製造裝置之中具有將半導體晶片黏著在導線架等的基板上的晶片黏著機。在晶片黏著機中，由黏著頭將晶片真空吸附、高速上昇、水平移動、下降並裝設在基板。該情況，是由昇降(Z)驅動軸進行上昇、下降。
最近，要求晶片黏著機的高精度、高速化，特別是要求黏著的心臟部也就是黏著頭的高速化。
習知的黏著頭的驅動方法，如專利文獻1，是由伺服馬達驅動滾珠螺桿。 [先行技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2004-263825號公報
但是由伺服馬達驅動滾珠螺桿的方法中具有高速化的上限。在此，檢討由適合高速化的線性馬達進行驅動。只是因為若採用線性馬達進行驅動的話，在電源喪失時可以簡單地由手動操作昇降軸，如第4圖(b)所示，但是依據情況處理部也就是黏著頭會落下至導線架等的基板(處理對象)，黏著頭會破損，並且基板即製品也可能破損。
因此，本發明的目的，是提供一種包含在電源喪失時防止線性馬達的昇降軸的落下且高信賴性的昇降軸的2軸驅動機構以及使用其的信賴性高的晶片黏著機及晶片黏著機的運轉方法。
本發明，為了達成上述的目的，至少具有以下的特徵。
本發明的第1特徵，具有：處理部；及2軸驅動軸，設有：第1線性馬達部和第2線性馬達部，該第1線性馬達部是具備使前述處理部沿著第1線性導引昇降的第1可動部及第1固定部，該第2線性馬達部是具備使前述處理部朝與前述昇降的方向垂直的水平方向移動的第2可動部及第2固定部；及主電源，是朝前述2軸驅動軸供給電源；及昇降軸落下防止手段，是在前述主電源的電源喪失時，防止前述晶片的可動部的落下。
且本發明的第2特徵，是前述2軸驅動軸，具有：連結部，是透過前述第1線性導引將前述第1可動部連結，將前述第2可動部直接或間接地連結；及第2線性導引，是使前述第1可動部、前述第2可動部及前述連結部成為一體地朝前述水平方向移動；及支撐體，是將前述第1固定部及前述第2固定部由預定的長度在前述水平方向彼此平行地固定。
進一步，本發明的第3特徵，是前述2軸驅動軸具有第3線性導引，該第3線性導引是將前述第1線性馬達部固定在前述第2可動部，將前述第1線性馬達部的前述水平方向的移動導引。
且本發明的第4特徵，是前述昇降軸落下防止手段，是具有：停止器，是設在與前述第1可動部一起移動的第1可動體部；及支撐驅動部，是在前述電源喪失時將前述停止器支撐於預定的位置。
進一步，本發明的第5特徵，是將前述支撐驅動部設在前述第1固定部或前述第2固定部的兩端側或其附近的固定構件。
且本發明的第6特徵，是前述支撐驅動部，是具備藉由電源的有無而突出的桿之電磁線圈，或是具備汽缸桿的氣壓缸。
進一步，本發明的第7特徵，是在前述預定的位置所支撐的支撐動作，是由與前述主電源另外設置的別的電源進行。
且本發明的第8特徵，是具有控制手段，其是在前述電源喪失時由與前述主電源另外設置的別的電源使第1可動部上昇或是維持在該狀態下。
進一步，本發明的第9特徵，是具備如第1至第8特徵的2軸驅動機構，並藉由前述處理部處理基板。
且本發明的第10特徵，是前述處理部是將晶片從晶圓拾取並黏著在基板的黏著頭或是將晶片黏著劑塗抹於前述基板的針。
進一步，本發明的第11的特徵，是具有：設有主電源，藉由前述主電源的供給並藉由線性馬達使黏著頭昇降而將晶片吸附，將前述晶片裝設在基板的步驟；及在前述主電源的喪失時，防止前述黏著頭的落下的落下防止步驟。
依據本發明，可以提供一種包含在電源喪失時防止線性馬達的昇降軸的落下且高信賴性的昇降軸的2軸驅動機構以及使用其的信賴性高的晶片黏著機及晶片黏著機的運轉方法。
以下，依據圖面，說明本發明的實施例。
第1圖，是將本發明的第1實施例的晶片黏著機10從上所見的概念圖。晶片黏著機是大致具有：晶圓供給部1、及工件供給‧搬運部2、及晶片黏著部3、及電源部9、及將這等控制的控制部7。
晶圓供給部1，是具有晶圓卡匣昇降機11及拾取裝置12。晶圓卡匣昇降機11是具有晶圓環被充填的晶圓卡匣(無圖示)，依序將晶圓環供給至拾取裝置12。拾取裝置12，是將晶圓環移動，使可以將所期的晶片從晶圓環拾取。
工件供給.搬運部2是具有：堆疊裝載器21、及框進給機22、及卸載器23，將工件(導線架等的基板)朝箭頭方向搬運。堆疊裝載器21，是將黏著了晶片的工件供給至框進給機22。框進給機22，是將工件透過框進給機22上的2處的處理位置朝卸載器23搬運。卸載器23，是保管被搬運的工件。
晶片黏著部3是具有預製部(晶片膠塗抹裝置)31及黏著頭部32。預製部31是在藉由框進給機22被搬運來的工件例如導線架上由針塗抹晶片黏著劑。黏著頭部32，是從拾取裝置12將晶片拾取並上昇，並水平移動直到晶片框進給機22上的黏著點為止。且，黏著頭部32是將晶片下降至黏著點，將晶片黏著於被塗抹了晶片黏著劑的工件上。
黏著頭部32，是具有：將黏著頭35(第2圖參照)朝Z(高度)方向昇降並朝Y方向水平移動的ZY驅動軸60、及將黏著頭朝X方向水平移動的X驅動軸70。ZY驅動軸60，具有：朝Y方向即在黏著頭與晶圓環支架12內的拾取位置及黏著點之間往復的Y驅動軸40、及為了將晶片從晶圓拾取或黏著在而使基板昇降的Z驅動軸50。X驅動軸70，是將ZY驅動軸60整體朝將工件搬運的方向也就是X方向移動。X驅動軸70，是由伺服馬達驅動滾珠螺桿的構成也可以，由ZY驅動軸60即線性馬達驅動也可以。
電源部9，具有：在通常的貼裝處理所使用的主電源91、及依據情況在如後詳述的昇降軸落下防止所需要的與主電源不同的別的電源例如電池92。
第2圖、第3圖是顯示：第1實施例的ZY驅動軸60的基本構成、及昇降軸落下防止手段的第1實施例的圖。第2圖，是在ZY驅動軸60的先端有黏著頭35存在的第1圖所示的位置的A-A剖面圖。第3圖，是將第2圖所示的ZY驅動軸60從B的方向所見的箭頭視圖。
首先，使用圖式說明包含本發明的特徵也就是昇降軸的ZY驅動軸60的第1實施例。
第1實施例的ZY驅動軸60，是具有：Y驅動軸40、及Z驅動軸50、及將Y驅動軸40的Y軸可動部41及Z驅動軸50的Z軸可動部51連結的連結部61、及處理部也就是黏著頭35、及在電源喪失時防止黏著頭35的落下的昇降軸落下防止手段80、及將這些整體支撐的橫L字狀的支撐體62。又，為了容易了解以下的說明，被固定於支撐體62的部分是由斜線顯示，成為與Y軸可動部41、X軸可動部51及連結部61一體地移動的部分由外框字顯示。且，支撐體62是具有：上部支撐體62a、及側部支撐體62b、及下部支撐體62c。
Y驅動軸40，是具有：N極及S極的電磁鐵是交互地朝Y方向多數被配列的上下的固定電磁鐵部47u、47d(以下未指定整體或位置時是只顯示47)的逆字狀的Y軸固定部42、及在前述配列方向具有至少1組的N極及S極的電磁鐵並朝逆字狀的凹部被插入並在凹部內移動的Y軸可動部41、及將Y軸可動部41支撐的連結部61、及被固定於連結部61並具備被設在與下部的支撐體62c之間的Y軸線性導引43的Y軸導引部44。Y軸固定部42，是橫跨第1圖的虛線顯示的Y驅動軸40的大致全域地設置，使Y軸可動部41可以在預定的範圍移動。且，Y軸線性導引43，是具有在朝Y方向延伸的2個線性軌道43a及線性軌道上移動的線性滑件43b。
Z驅動軸50，是與Y驅動軸40同樣，具有：使N極及S極的電磁鐵交互地在Z方向多數被配列的左右的固定電磁鐵部57h、57m(第4圖參照，以後未指定整體或是位置時是只顯示57)的逆U的字狀的Z軸固定部52、及在Z軸固定部52的配列方向將至少1組的N極及S極的電磁鐵設在上部且朝逆U的字狀的凹部被插入並在凹部內移動的Z軸可動部51、及在Z軸可動部51及連結部61之間具有與Y軸線性導引43同樣的構造的Z軸線性導引53。Z軸線性導引53，是具有：被固定於連結部61並朝Z方向延伸的2個線性軌道53a、及被固定於Z軸可動部51並在線性軌道上移動的線性滑件53b。
Z軸可動部51是透過連結部61與Y軸可動部41連繋，Y軸可動部41若朝Y方向水平移動的話Z軸可動部51也朝Y方向水平移動。且有需要至少在移動目的地的預定的位置例如黏著領域及拾取領域設置N極及S極的電磁鐵，使Z軸可動部51(黏著頭35)可以昇降。又，將與Z軸可動部51成為一體地昇降的部分稱為Z軸可動體部。
接著，使用第2圖、第3圖及第4圖說明本實施例的特徵之一的昇降軸落下防止手段80的第1實施例。第4圖是顯示電源喪失時的黏著頭35的狀態，第4圖(a)是顯示設有昇降軸落下防止手段80的情況的狀態，第4圖(b)是顯示未設置昇降軸落下防止手段80的情況的狀態。
第1實施例的昇降軸落下防止手段80，是具有：被固定於使黏著頭35昇降的線性滑件53b的停止器81、及如第3圖所示被固定於連結部61且在電源喪失時推桿82a的突出部會變長並將停止器81支撐的支撐驅動部也就是推式電磁線圈82、及第1圖所示的別的電源92。
在具有這種構成的昇降軸落下防止手段80中，在電源喪失時，控制部7，是檢出主電源91的喪失，在由電容器等維持電源期間，與推式電磁線圈82連接別的電源91的方式供給電源。
其結果，如第4圖(a)所示，推式電磁線圈82會作動，推桿82a會突出，將停止器81支撐，就可以防止黏著頭35朝基板P落下。
依據以上說明的本實施例的昇降軸落下防止手段80的第1實施例，在主電源的91的電源喪失時，由別的電源使推式電磁線圈作動，就可以防止具有線性馬達的昇降軸的黏著頭的落下。
此結果，可以防止黏著頭和基板的破損。
且依據以上說明的本實施例的ZY驅動軸60的第1實施例，Z軸固定部52雖是設在大致全域，但是重量體也就是Z軸固定部52本身因為不會移動，所以對於Y方向的移動的負荷可大幅地減少，不需加大水平驅動軸的扭矩，就可實現昇降軸的高速化。
接著，第5圖所示，將本發明的第2實施例的晶片黏著機10A從上所見的概念圖。第2實施例的晶片黏著機10A的與第1實施例的晶片黏著機10不同的點，是ZY驅動軸及昇降軸落下防止手段不同。其他的點是與基本上第1實施例相同。在第2實施例，具有與第1實施例相同構成或功能者基本上是附加同一符號。
成為第2實施例的ZY驅動軸60A，基本上與第1實施例的ZY驅動軸60之間，Z驅動軸50A不同。在第1實施例的ZY驅動軸60中，昇降軸也就是Z驅動軸50的Z軸固定部52是與Y軸固定部42同樣地設在移動範圍的全領域，且Z軸可動部51是與Y軸可動部41成為一體地移動。
另一方面，第2實施例的Z驅動軸50A，是在第5圖的箭頭C的顯示的方向，Z軸固定部52及Z軸可動部51是成為一體地與Y軸可動部41移動。形成成為第2實施例的Y驅動軸40A的Y軸固定部42和Y軸可動部41的形狀，其對於Y驅動軸40A的Z驅動軸50A的連接方向等雖是與第1實施例不同，但是基本的構成功能是相同。
第6圖，是顯示：ZY驅動軸的第2實施例的基本構成、及昇降軸落下防止手段的第2實施例的圖。第6圖(a)，是在第5圖中在黏著頭35存在的位置將ZY驅動軸60A從箭頭D的方所見的箭頭視圖。第6圖(b)，是將第6圖(a)所示的ZY驅動軸60A從上部的方向所見的箭頭視圖。又，在第6圖(b)中，省略第6圖(a)所示的支撐體62及Y軸線性導引43。且，在第6圖中省略第2圖、第3圖中的固定電磁鐵部47、57。
第2實施例的ZY驅動軸60A，具有：Y驅動軸40A、及Z驅動軸50A、及處理部也就是黏著頭35、及在電源喪失時防止黏著頭35的落下的昇降軸落下防止手段80A、及將這些整體支撐的支撐體62。
Y驅動軸40A，是與第1實施例同樣地，具有：被固定於支撐體62且在紙面前方形成開口部42a的的字狀的Y軸固定部42、及從開口部42a朝Y軸固定部42的凹部被插入並在凹部內移動的Y軸可動部41。Y軸固定部42，是橫跨第5圖的虛線所示的Y驅動軸40A大致全域地設置，使Y軸可動部41可以在預定的範圍移動。
Z驅動軸50A，是與Y驅動軸40A同樣地，具有：逆字狀的Z軸固定部52、及朝逆字狀的凹部被插入並在凹部內移動的Z軸可動部51、及將Z軸可動部51及黏著頭35連接的連接部54、及配合Z軸可動部51A的昇降將黏著頭35的昇降導引的Z軸線性導引53、及將這些整體固定並保持的保持體55、及配合Y軸可動部41的Y方向的水平移動將保持體55即Z驅動軸50A整體的水平移動導引的Y軸線性導引43。Z軸線性導引53，是具有：被固定於保持體55的線性軌道53a、及被固定於連接部54並在線性軌道53a上昇降的線性滑件53b。且，Y軸線性導引43，是具有：被固定於支撐體62的線性軌道43a、及在線性軌道43a上水平移動的線性滑件43b。又，與ZY驅動軸的第1實施例60同樣地，將與Z軸可動部51成為一體地移動的部分稱為Z軸可動體部。
接著，說明本實施例的特徵之一的昇降軸落下防止手段的第2實施例80A。昇降軸落下防止手段80A，是具有：被固定於連接部54的停止器81、及被固定於保持體55的底部並從主電源被供給電源時常將拉桿84a拉伸的拉式電磁線圈84、及被固定於保持體55的低部55a的彈簧85、及將一端與拉桿84a連結並將另一端與彈簧85連結的作動桿86。在本實施例中，支撐驅動部，是具有：拉式電磁線圈84、及彈簧85、及作動桿86。又，拉式電磁線圈84是被固定在保持體55的低部55a，作動桿86的支點86a是被固定在Y軸可動部52。
在具有這種構成的昇降軸落下防止手段80A中，如第7圖所示，電源喪失的話，拉式電磁線圈84的拉桿84a成為自由，藉由彈簧85使拉桿84a突出，將停止器81支撐，就可以防止黏著頭35朝基板落下。本實施例的情況時，不需要別的電源。又，在第7圖中，省略Y驅動軸40A及支撐體62。
依據以上說明的昇降軸落下防止手段的第2實施例，在主電源的91的電源喪失時，即使沒有別的電源使拉式電磁線圈作動，仍可以防止具有線性馬達的昇降軸的黏著頭的落下。
此結果，昇降軸落下防止手段的第2實施例也可以防止黏著頭和基板的破損。
在以上的說明的第1及第2實施例中，雖將推式電磁線圈82和拉式電磁線圈84配置於停止器81的下方，但是如第8圖所示，朝橫方向固定配置在第2實施例的Z軸驅動部52和保持體55也可以(第8圖(a))，朝上方固定配置也可以(第8圖(b))。在第8圖，虛線是顯示電源未喪失的貼裝處理中的通常的狀態，實線是顯示電源喪失時的狀態。第8圖(a)是在電源喪失時使推式電磁線圈82的推桿82a突出，將停止器81支撐。第8圖(b)是在電源喪失時吸引拉式電磁線圈84的拉桿84a，將停止器81支撐。第8圖的情況時皆需要別的電源。
且停止器81的位置也不限定於第2圖、第6圖所示的位置，只要是與黏著頭35一起昇降處即可。有關停止器的位置，其他實施例也同樣。進一步，不限定於電磁線圈，只要可以確保所需要的反應性的話氣壓缸也可以。
接著，使用第9圖說明本實施例的特徵之一的昇降軸落下防止手段的第3實施例80B。第9圖(a)是顯示設在第2實施例的ZY驅動軸60A的昇降軸落下防止手段的第3實施例80B。第9圖(b)是顯示電源未喪失時的昇降軸落下防止手段80B的狀態，第9圖(c)是顯示電源喪失時的昇降軸落下防止手段80B的狀態的圖。又，在第9圖(a)也省略Y驅動軸40A及支撐體62。
昇降軸落下防止手段80B，具有：其一端是被固定於Z軸固定部52且另一端側設有使內側周圍被開口的環狀的中空部的中空殼181、及至少設在環狀的中空部的難燃性的彈性體(例如橡膠)182、及設在彈性體182的外周的形狀記憶合金184、及設在黏著頭35上側的突起部也就是制動器棒185。又，突起部，可取代制動器棒而使用設在黏著頭35的先端的吸附噴嘴35a也可以。
形狀記憶合金184，是在主電源91被供給且電流流動於形狀記憶合金時，使保持在如第9圖(b)所示將彈性體182從制動器棒185分離的狀態的方式被記憶。另一方面，電源喪失，電流成為不會流動的話，如第9圖(c)所示，使形狀記憶合金184的徑縮小的方式被記憶。其結果，電源喪失的話，形狀記憶合金184會將彈性體183壓縮，彈性體182會對於制動器棒185施加制動力，防止黏著頭35的落下。在本實施例中不需要別的電源92。又，使形狀記憶合金184相反地記憶的情況時，就需要別的電源92。
以上說明的第3實施例的昇降軸落下防止手段80B，也可以獲得與第1、第2實施例同樣的效果。
接著，使用第10圖說明本實施例的特徵之一的昇降軸落下防止手段的第4實施例80C。第10圖，是顯示：第2實施例的Z驅動軸50A、及設在Z驅動軸50A的第3實施例的昇降軸落下防止手段80C的圖。第10圖(a)，是顯示在第5圖黏著頭35存在的位置將ZY驅動軸60A從箭頭D所見的箭頭視圖，且電源未喪失通常的狀態的圖。第10圖(b)，是將第10圖(a)所示的ZY驅動軸60A從上部的方向所見的箭頭視圖。第11圖，是顯示電源喪失時的昇降軸落下防止手段80C的狀態的圖。
第4實施例的昇降軸落下防止手段80C，是具有：彈簧186、及電磁鐵187、及一端側被固定於彈簧186而另一端側朝電磁鐵187被吸引的作動部也就是作動板188、及設有與Z軸固定部52一起導引作動板188的昇降用的導引棒189之支撐驅動部、及停止器81。
電磁鐵187，是在主電源91被供給且電流流動於形狀記憶合金時，如第10圖(a)所示，使作動板188朝電磁鐵187被吸引，保持將壓縮彈簧186壓縮的狀態。另一方面，電源喪失，電流成為不會流動的話，如第11圖所示，作動板188會被開放，彈簧186就會延伸。其結果，作動板188會將連接部54支撐，就可以防止黏著頭35的落下。
在以上說明的第4實施例的昇降軸落下防止手段80B，也可以獲得與第1至第3實施例同樣的效果。
接著，使用第12圖說明本實施例的特徵之一的昇降軸落下防止手段的第5實施例80D。第12圖，是顯示取代第6圖所示的第2實施例的昇降軸落下防止手段80A，在ZY驅動軸60A設有第5實施例的昇降軸落下防止手段80D的圖。第12圖(a)是顯示電源未喪失時的通常的狀態，第12圖(b)是顯示電源喪失時的狀態的圖。
昇降軸落下防止手段80D，是在第5圖所示的E、F的位置被固定於Y軸固定部或是支撐體62或是那些的附近的固定構件。昇降軸落下防止手段80D，是具有：設在也昇降軸落下防止手段的第1實施例80所示的電源喪失時使推桿82a的突出部變長的E、F的2台推式電磁線圈82、及兩端被固定在2台的推桿82a的先端的作動部也就是作動棒281、及被固定於連接部54的相反側的黏著頭35的側部的停止器81。在本實施例中，支撐驅動部是具有2台的推式電磁線圈82及作動棒281。
昇降軸落下防止手段80D，是如第12圖(b)所示，與昇降軸落下防止手段80同樣地，電源是喪失的話2條的推桿82a會突出，將作動棒281推舉，將停止器61支撐，防止黏著頭35的落下。
如以上說明，第5實施例的昇降軸落下防止手段80D，是與第1至第4實施例相異，不是設在Z驅動部40、40A，而是設在Y軸固定部或支撐體62或那些的附近的固定構件。且，作動棒281的作動方法是也可以適用第2至第4實施例所示的方法。
依據以上說明的第5實施例的昇降軸落下防止手段80D，因為未在Z驅動部40、40A設置昇降軸落下防止手段，所以Z驅動部可以成為簡單的構造。
且依據以上說明的第5實施例的昇降軸落下防止手段80D，與至現在為止的實施例同樣，可防止黏著頭35的落下。
最後，說明本實施例的特徵之一的昇降軸落下防止手段的第6實施例80E。
第6實施例的昇降軸落下防止手段80E，在電源喪失時，控制部9是藉由別的電源92，控制例如第2圖所示的固定電磁鐵部57，使黏著頭35(Z軸可動部52)上昇或是維持在該狀態下，將黏著頭35保持在預定的位置。
依據昇降軸落下防止手段的第6實施例，不需設置別的電源92以外的新的機構，就可防止黏著頭35的落下。
在以上的說明中，處理的處理部雖說明黏著頭的例。基本上，可適用在需要具有昇降軸的2軸驅動機構的處理部。例如，在晶片黏著機中可適用於將晶片黏著劑塗抹在基板用的針。
如以上雖說明了本發明的實施例，但是本行業者可依據上述的說明進行各種的替代例、修正或變形，本發明是在不脫離其宗旨範圍，也包含前述的各種的替代例、修正或變形。
1．．．晶圓供給部
2．．．工件供給‧搬運部
3．．．晶片黏著部
10．．．晶片黏著機
32．．．黏著頭部
35．．．黏著頭
40、40A．．．Y驅動軸
41．．．Y軸可動部
42．．．Y軸固定部
43．．．Y軸線性導引
44．．．Y軸導引
45．．．Y軸可動部固定部
47．．．固定電磁鐵部
50、50A．．．Z驅動軸
51．．．Z軸可動部
52．．．Z軸固定部
53．．．Z軸線性導引
54．．．連接部
55．．．保持體
57．．．固定電磁鐵部
60、60A、60B．．．ZY驅動軸
61．．．連結部
62．．．支撐體
70．．．X驅動軸
80、80A、80B、80C、80D、80E．．．昇降軸落下防止手段
81．．．停止器
82．．．推式電磁線圈
82a．．．推桿
84．．．拉式電磁線圈
84a．．．拉桿
85．．．彈簧
86．．．作動桿
181．．．中空殼
182．．．彈性體
184．．．形狀記憶合金
185．．．制動器棒
186．．．彈簧
187．．．電磁鐵
188．．．電磁鐵
189．．．導引棒
281．．．作動棒
[第1圖]將本發明的第1實施例的晶片黏著機從上所見的概念圖。
[第2圖]顯示：第1實施例的ZY驅動軸的基本構成、及由昇降軸落下防止手段的第1實施例的圖，ZY驅動軸的黏著頭存在的第1圖所示的位置的A-A剖面圖。
[第3圖]將第2圖所示的ZY驅動軸從B的方向所見的箭頭視圖。
[第4圖]顯示電源喪失時的黏著頭的狀態的圖。
[第5圖]將本發明的第2實施例的晶片黏著機從上所見的概念圖。
[第6圖]顯示：ZY驅動軸的第2實施例的基本構成、及昇降軸落下防止手段的第2實施例的圖。
[第7圖]顯示昇降軸落下防止手段的第2實施例中的電源喪失時的狀態的圖。
[第8圖]顯示設置昇降軸落下防止手段的第1、第2實施例的電磁線圈的其他位置的圖。
[第9圖]顯示昇降軸落下防止手段的第3實施例的圖。
[第10圖]顯示昇降軸落下防止手段的第4實施例的圖。
[第11圖]顯示昇降軸落下防止手段的第4實施例中的電源喪失時的狀態的圖。
[第12圖]顯示昇降軸落下防止手段的第5實施例的圖。
35．．．黏著頭
40．．．Z驅動部
41．．．Y軸可動部
42．．．Y軸固定部
43．．．Y軸線性導引
43a．．．線性軌道
43b．．．線性滑件
44．．．Y軸導引部
47．．．固定電磁鐵部
47u，47d．．．固定電磁鐵部
50．．．Z驅動軸
51．．．Z軸可動部
52．．．Z軸固定部
53．．．Z軸線性導引
53a．．．線性軌道
53b．．．線性滑件
57h，57m．．．固定電磁鐵部
60．．．ZY驅動軸
62．．．支撐體
62b．．．側部支撐體
62c．．．下部支撐體
80．．．昇降軸落下防止手段
81．．．停止器
82．．．推式電磁線圈
82a．．．推桿

权利要求:
Claims (22)
[1] 一種2軸驅動機構，其特徵為，具有：處理部；及2軸驅動軸，具備第1線性馬達部和第2線性馬達部，該第1線性馬達部，具備使前述處理部沿著第1線性導引而昇降的第1可動部及第1固定部，該第2線性馬達部是設有將前述處理部朝與前述昇降的方向垂直的水平方向移動的第2可動部及第2固定部；及朝前述2軸驅動軸供給電源的主電源；及在前述主電源的電源喪失時，防止前述第1可動部的落下的昇降軸落下防止手段。
[2] 如申請專利範圍第1項的2軸驅動機構，其中，前述2軸驅動軸，具有：連結部，是透過前述第1線性導引將前述第1可動部連結，將前述第2可動部直接或間接地連結；及第2線性導引，是使前述第1可動部、前述第2可動部及前述連結部成為一體地朝前述水平方向移動；及支撐體，是將前述第1固定部及前述第2固定部由預定的長度在前述水平方向彼此平行地固定。
[3] 如申請專利範圍第1項的2軸驅動機構，其中，前述2軸驅動軸具有第3線性導引，該第3線性導引是將前述第1線性馬達部固定在前述第2可動部，將前述第1線性馬達部的前述水平方向的移動予以導引。
[4] 如申請專利範圍第2或3項的2軸驅動機構，其中，前述昇降軸落下防止手段，具有：設在與前述第1可動部一起移動的第1可動體部上的停止器、及在前述電源喪失時將前述停止器支撐於預定的位置的支撐驅動部。
[5] 如申請專利範圍第4項的2軸驅動機構，其中，將前述支撐驅動部設在前述第1固定部或前述第2固定部的兩端側或其附近的固定構件。
[6] 如申請專利範圍第5項的2軸驅動機構，其中，前述支撐驅動部，是具備藉由電源的有無而突出的桿之電磁線圈，或是具備汽缸桿的氣壓缸。
[7] 如申請專利範圍第5項的2軸驅動機構，其中，前述支撐驅動部，具有：將前述處理部所具有或將被設在前述處理部的突起部包圍的方式設置的彈性體、及使前述彈性體收縮的手段。
[8] 如申請專利範圍第7項的2軸驅動機構，其中，在前述預定的位置所支撐的支撐動作，是由與前述主電源另外設置的別的電源進行。
[9] 如申請專利範圍第5項的2軸驅動機構，其中，前述支撐驅動部，具有：電磁線圈，設有在前述無電源時可突出的桿；及彈簧；及作動部，是將前述桿及前述彈簧連結，以支點為中心如蹺蹺板地旋轉，在前述電源喪失時使前述桿藉由前述彈簧而突出。
[10] 如申請專利範圍第5項的2軸驅動機構，其中，前述支撐驅動部，具有：電磁線圈，是設有可藉由與前述主電源另外設置的別的電源而突出的桿；及電磁鐵；及動作部，藉由前述主電源的供給被吸附在前述電磁鐵而與前述桿連接。
[11] 如申請專利範圍第1項的2軸驅動機構，其中，具有控制手段，其是在前述電源喪失時由與前述主電源另外設置的別的電源使第1可動部上昇或是維持在該狀態下。
[12] 一種晶片黏著機，其特徵為：具備如申請專利範圍第1至3項任一項的2軸驅動機構，藉由前述處理部處理基板。
[13] 如申請專利範圍第12項的晶片黏著機，其中，前述處理部是：將晶片從晶圓拾取並黏著在前述基板的黏著頭、或將晶片黏著劑塗抹於前述基板的針。
[14] 一種晶片黏著機，其特徵為：具備如申請專利範圍第4項的2軸驅動機構，藉由前述處理部處理基板，前述處理部是：將晶片從晶圓拾取並黏著在前述基板的黏著頭、或塗抹晶片黏著劑在前述基板的針。
[15] 一種晶片黏著機，其特徵為：具備如申請專利範圍第5項的2軸驅動機構，藉由前述處理部處理基板，前述處理部是：將晶片從晶圓拾取並黏著在前述基板的黏著頭、或塗抹晶片黏著劑在前述基板的針。
[16] 一種晶片黏著機，其特徵為：具備如申請專利範圍第6項的2軸驅動機構，藉由前述處理部處理基板，前述處理部是：將晶片從晶圓拾取並黏著在前述基板的黏著頭、或塗抹晶片黏著劑在前述基板的針。
[17] 一種晶片黏著機，其特徵為：具備如申請專利範圍第7項的2軸驅動機構，藉由前述處理部處理基板，前述處理部是：將晶片從晶圓拾取並黏著在前述基板的黏著頭、或塗抹晶片黏著劑在前述基板的針。
[18] 一種晶片黏著機，其特徵為：具備如申請專利範圍第8項的2軸驅動機構，藉由前述處理部處理基板，前述處理部是：將晶片從晶圓拾取並黏著在前述基板的黏著頭、或塗抹晶片黏著劑在前述基板的針。
[19] 一種晶片黏著機，其特徵為：具備如申請專利範圍第9項的2軸驅動機構，藉由前述處理部處理基板，前述處理部是：將晶片從晶圓拾取並黏著在前述基板的黏著頭、或塗抹晶片黏著劑在前述基板的針。
[20] 一種晶片黏著機，其特徵為：具備如申請專利範圍第10項的2軸驅動機構，藉由前述處理部處理基板，前述處理部是：將晶片從晶圓拾取並黏著在前述基板的黏著頭、或塗抹晶片黏著劑在前述基板的針。
[21] 一種晶片黏著機，其特徵為：具備如申請專利範圍第11項的2軸驅動機構，藉由前述處理部處理基板，前述處理部是：將晶片從晶圓拾取並黏著在前述基板的黏著頭、或塗抹晶片黏著劑在前述基板的針。
[22] 一種晶片黏著機的運轉方法，其特徵為，具有：具有主電源，藉由前述主電源的供給並藉由線性馬達使黏著頭昇降而將晶片吸附，將前述晶片裝設在基板的步驟；及在前述主電源喪失時，防止前述黏著頭落下的落下防止步驟。

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优先权:

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