積體電路變壓器

专利摘要:
本發明提供一種積體電路變壓器，設置於一基板上。上述積體電路變壓器包括一第一線圈狀金屬圖案，包括一內圈部分和一外圈部分；一第二線圈狀金屬圖案，橫向位於內圈部分和外圈部分之間；一介電層，設置於第一線圈狀金屬圖案和第二線圈狀金屬圖案上；一第一介層窗，穿過介電層形成，且電性連接至第一線圈狀金屬圖案和上述第二線圈狀金屬圖案的其中之一；一第一重佈線圖案，設置於介電層上，電性連接至述第一介層窗且沿第一介層窗延伸，其中第一重佈線圖案覆蓋至少一部分第一線圈狀金屬圖案和至少一部分第二線圈狀金屬圖案。
公开号:TW201303928A
申请号:TW101123843
申请日:2012-07-03
公开日:2013-01-16
发明作者:Cheng-Chou Hung；Cheng-Jyi Chang；Tung-Hsing Lee；Wei-Che Huang
申请人:Mediatek Inc；
IPC主号:H01F19-00

专利说明:
積體電路變壓器
本發明係有關於一種積體電路變壓器，特別係有關於一種具高耦合係數(k)的積體電路變壓器。
為了類比和射頻(RF)產品的不同應用，變壓器因而逐漸地積集於晶片上。變壓器的其中一個要求為高耦合係數(k)。變壓器的耦合係數(k)係取決於同時穿過變壓器的主線圈(primary winding)和副線圈(secondary winding)兩者的總磁通量(flux lines)。高耦合係數意指會有高能量從主線圈傳遞至副線圈，在傳輸期間變壓器會有低的能量損失。
習知的積體電路變壓器通常會以增加主線圈和副線圈的匝數(turn counts)來改善變壓器的耦合係數(k)。然而，越多的線圈匝數會需要越大的佈局面積，因而會增加製造成本。
因此，需要一種新型的具高耦合係數(k)的積體電路變壓器。
有鑑於此，本發明之目的在於提供新型的具高耦合係數(k)的積體電路變壓器。
本發明揭露之一實施例係提供一種積體電路變壓器，設置於一基板上。上述積體電路變壓器包括一第一線圈狀金屬圖案，設置於上述基板上，上述第一線圈狀金屬圖案包括一內圈部分和一外圈部分；一第二線圈狀金屬圖案，設置於上述基板上，且橫向位於上述內圈部分和上述外圈部分之間；一介電層，設置於上述第一線圈狀金屬圖案和上述第二線圈狀金屬圖案上；一第一介層窗，穿過上述介電層形成，且電性連接至上述第一線圈狀金屬圖案和上述第二線圈狀金屬圖案的其中之一；一第一重佈線圖案，設置於上述介電層上，電性連接至上述第一介層窗且沿上述第一介層窗延伸，其中上述第一重佈線圖案覆蓋至少一部分上述第一線圈狀金屬圖案和至少一部分上述第二線圈狀金屬圖案。
本發明揭露之另一實施例係提供一種積體電路變壓器，設置於一基板上。上述積體電路變壓器包括一第一線圈狀金屬圖案，設置於上述基板上，上述第一線圈狀金屬圖案包括一內圈部分和一外圈部分；一第二線圈狀金屬圖案，設置於上述基板上，且橫向位於上述內圈部分和上述外圈部分之間；一第一T型導電物，設置於上述第一線圈狀金屬圖案和上述第二線圈狀金屬圖案上，且電性連接至上述第一線圈狀金屬圖案和上述第二線圈狀金屬圖案的其中之一，其中上述第一T型導電物覆蓋上述第一線圈狀金屬圖案和上述第二線圈狀金屬圖案兩者。
本發明所提出之積體電路變壓器，藉由重佈線圖案與介層窗，能夠增強積體電路變壓器之耦合係數(k)。
以下以各實施例詳細說明並伴隨著圖式說明之範例，做為本發明之參考依據。在圖式或說明書描述中，相似或相同之部分皆使用相同之圖號。且在圖式中，實施例之形狀或是厚度可擴大，並以簡化或是方便標示。再者，圖式中各元件之部分將以分別描述說明之，值得注意的是，圖中未繪示或描述之元件，為所屬技術領域中具有通常知識者所知的形式。
第1a圖為本發明一實施例之積體電路變壓器500a的上視圖。第1b圖為沿第1a圖的A-A’切線的剖面圖。本發明一實施例之積體電路變壓器為一晶片上變壓器(on-chip transformer)。如第1a圖和第1b圖所示，積體電路變壓器500a係設置於基板200上，且基板200上形成有一介電層202。第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208係設置於基板200上。第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208具有類似的形狀且互相平行。第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208的形狀可包括正方形、八邊形或圓形，然而，第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208也可依據設計而具有其他不同的形狀。在本發明一實施例中，第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208可利用圖案化積體電路的一頂層金屬層(圖未顯示)的方式來形成。並且，第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208位於相同層別(layer level)；意即第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208為共平面。在本發明一實施例中，第一線圈狀金屬圖案222可視為積體電路變壓器500a的主線圈(primary winding)，而第二線圈狀金屬圖案208可視為積體電路變壓器500a的副線圈(secondary winding)。第一線圈狀金屬圖案222可包括一內圈部分206和一外圈部分210。而第二線圈狀金屬圖案208係橫向地(laterally)設於內圈部分206和外圈部分210之間。第二線圈狀金屬圖案208具有兩個末端，分別連接至兩個彼此隔開的金屬圖案224和226。而金屬圖案224和226分別耦接至開關S1和S2，用來傳輸感應電流。金屬圖案224和226的層別低於第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208的層別。內圈部分206的末端207a藉由金屬圖案221連接至外圈部分210的末端211a。金屬圖案221、第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208皆位於相同層別；意即金屬圖案221、第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208為共平面。
介電層214，係設置於第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208上。在本實施例中，鰭狀介層窗(via fin)216a，穿過介電層214形成，且電性連接至第二線圈狀金屬圖案208。在另一實施例中，可使用一系列彼此隔開的介層窗(圖未顯示)來代替鰭狀介層窗216a，以電性連接至第二線圈狀金屬圖案208。並且，另一鰭狀介層窗217係穿過介電層214形成以電性連接內圈部分206的另一末端207b和外圈部分210的另一末端211b。因此，內圈部分206藉由鰭狀介層窗217和金屬圖案221連接至外圈部分210。第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210的末端211c和211d分別電性連接至開關P1和P2，用來傳輸輸入電流。如第1a圖所示，鰭狀介層窗216a和217的上視圖為條狀。鰭狀介層窗216a沿著第二線圈狀金屬圖案208延伸，而鰭狀介層窗217從內圈部分206的末端207b延伸至外圈部分210的末端211b。在本發明另一實施例中，彼此隔開的一系列介層窗(圖未顯示)可沿著第二線圈狀金屬圖案208配置，以代替鰭狀介層窗216a。在本發明一實施例中，鰭狀介層窗216a可與其他柱狀介層窗一起形成，用作接合墊(bonding pad)之電性連接。
如第1a圖和第1b圖所示，重佈線圖案(redistribution pattern)218a，設置於介電層214上，電性連接至鰭狀介層窗216a且沿鰭狀介層窗216a延伸。如第1a圖所示，在上視圖中，重佈線圖案218a覆蓋第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208兩者。重佈線圖案218a的形狀類似於第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208的形狀，但重佈線圖案218a的寬度等於第二線圈狀金屬圖案208和第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206和外圈部分210的總寬度，加上第二線圈狀金屬圖案208分別與第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206和外圈部分210之間間隙寬度的總合。重佈線圖案218a從第二線圈狀金屬圖案208橫向延伸至內圈部分206的內邊緣240a和外圈部分210的外邊緣242b。重佈線圖案218a具有一對平行的邊緣230a、232a，分別對齊內圈部分206的內邊緣240a和外圈部分210的外邊緣242b。在如第1b圖所示之積體電路變壓器500a的剖面圖中，重佈線圖案218a和鰭狀介層窗216a可共同構成一T型導電物220a，而T型導電物220a可視為第二線圈狀金屬圖案208的延伸部分。在本發明另一實施例中，重佈線圖案218a和用來代替鰭狀介層窗216a的一系列彼此隔開的介層窗也可共同構成T型導電物220a。T型導電物220a覆蓋第二線圈狀金屬圖案208，以及第一線圈狀金屬圖案222相鄰於第二線圈狀金屬圖案208的兩個相對側壁244a和244b的內圈部分206和外圈部分210。由於耦合效應不僅會發生於第二線圈狀金屬圖案208與第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206和外圈部分210的橫向空間之間，而且會發生於重佈線圖案218a(耦接至第二線圈狀金屬圖案208)與第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206和外圈部分210的垂直空間之間，因而可改善積體電路變壓器500a的耦合係數k。另外，鰭狀介層窗216a與其他柱狀介層窗一起形成，用作接合墊之電性連接，且重佈線圖案218a可藉由圖案化一導電重佈線層的方式來形成，用於定義接合墊，因而不需要額外的製程和設計規則。
第2a圖為本發明另一實施例之積體電路變壓器500b的上視圖。第2b圖為沿第2a圖的A-A’切線的剖面圖。第2c圖為沿第2a圖的B-B’切線的剖面圖。如第2a圖至第2c圖所示，在本實施例中，彼此隔開的鰭狀介層窗216b1和216b2，穿過介電層214形成，且電性連接至第二線圈狀金屬圖案208。如第2a圖至第2c圖所示，彼此隔開的重佈線圖案218b1和218b2，設置於介電層214上，分別電性連接至鰭狀介層窗216b1和216b2且沿鰭狀介層窗216b1和216b2延伸。在本發明一實施例中，從上視圖看去，重佈線圖案218b1和218b2分別覆蓋第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208兩者。特別地，重佈線圖案218b1覆蓋第二線圈狀金屬圖案208和第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210兩者，而重佈線圖案218b2覆蓋第二線圈狀金屬圖案208和第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206兩者。重佈線圖案218b1和218b2的形狀類似於第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208的形狀。重佈線圖案218b1的寬度等於第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210和第二線圈狀金屬圖案208的總寬度，加上上述兩者之間的間隙寬度的總合。重佈線圖案218b2的寬度等於第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206和第二線圈狀金屬圖案208的總寬度，加上上述兩者之間的間隙寬度的總合。特別地，如第2a圖和第2b圖所示，重佈線圖案218b1從第二線圈狀金屬圖案208橫向延伸至第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210的外邊緣242b。如第2a圖和第2c圖所示，重佈線圖案218b2從第二線圈狀金屬圖案208橫向延伸至第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206的內邊緣240a。重佈線圖案218b1具有一對平行的邊緣230b1、232b1，分別對齊第二線圈狀金屬圖案208的內邊緣244a和第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210的外邊緣242b。另外，重佈線圖案218b2具有一對平行的邊緣230b2、232b2，分別對齊第二線圈狀金屬圖案208的外邊緣244b和第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206的內邊緣240a。在如第2b圖和第2c圖所示之積體電路變壓器500b的剖面圖中，重佈線圖案218b1和鰭狀介層窗216b1可共同構成一T型導電物220b1，或者重佈線圖案218b2和鰭狀介層窗216b2可共同構成一T型導電物220b2，而T型導電物220b1或220b2可視為第二線圈狀金屬圖案208的延伸部分。T型導電物220b1覆蓋第二線圈狀金屬圖案208和相鄰於第二線圈狀金屬圖案208的單一側壁244b的第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210，以及T型導電物220b2覆蓋第二線圈狀金屬圖案208和相鄰於第二線圈狀金屬圖案208的單一側壁244a的第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206。由於耦合效應不僅會發生於第二線圈狀金屬圖案208與第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206/外圈部分210的橫向空間內，而且會發生於重佈線圖案218b1/218b2(耦接至第二線圈狀金屬圖案208)與第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206/外圈部分210的垂直空間之間，因而可改善積體電路變壓器500b的耦合係數k。另外，鰭狀介層窗216b1和216b2與其他柱狀介層窗一起形成，用作接合墊之電性連接，且重佈線圖案218b1和218b2可藉由圖案化一導電重佈線層的方式來形成，用以定義接合墊，因而不需要額外的製程和設計規則。
第3a圖為本發明另一實施例之積體電路變壓器500c的上視圖。第3b圖為沿第3a圖的A-A’切線的剖面圖。第3c圖為沿第3a圖的B-B’切線的剖面圖。如第3a圖至第3c圖所示，在本實施例中，鰭狀介層窗216c，穿過介電層214形成，且電性連接至第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210。如第3a圖至第3c圖所示，重佈線圖案218c，設置於介電層214上，電性連接至鰭狀介層窗216c且沿鰭狀介層窗216c延伸。在本發明一實施例中，從上視圖看去，重佈線圖案218c覆蓋第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210和第二線圈狀金屬圖案208兩者。重佈線圖案218c的形狀類似於第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208的形狀，但重佈線圖案218c的寬度等於第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210和第二線圈狀金屬圖案208的總寬度，加上上述兩者之間的間隙寬度的總合。特別地，如第3a圖和第3b圖所示，重佈線圖案218c從第二線圈狀金屬圖案208的內邊緣244a橫向延伸至第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210的外邊緣242b。重佈線圖案218c具有一對平行的邊緣230c、232c，分別對齊第二線圈狀金屬圖案208的內邊緣244a和第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210的外邊緣242b。在如第3b圖和第3c圖所示之積體電路變壓器500c的剖面圖中，重佈線圖案218c和鰭狀介層窗216c可共同構成一T型導電物220c，而T型導電物220c可視為第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210的延伸部分。T型導電物220c覆蓋第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210和相鄰於第一線圈狀金屬圖案222的單一側壁242a的第二線圈狀金屬圖案208。由於耦合效應不僅會發生於第二線圈狀金屬圖案208與第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206/外圈部分210的橫向空間之間，而且會發生於重佈線圖案218c(耦接至第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210)與第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210的垂直空間之間，因而可改善積體電路變壓器500c的耦合係數k。另外，鰭狀介層窗216c與其他柱狀介層窗一起形成，用作接合墊之電性連接，且重佈線圖案218c可藉由圖案化一導電重佈線層的方式來形成，用來定義接合墊，因而不需要額外的製程和設計規則。
在本發明其他實施例中，可形成分別連接至第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206/外圈部分210的兩個T型導電物。第4a圖為本發明另一實施例之積體電路變壓器500d的上視圖。第4b圖為沿第4a圖的A-A’切線的剖面圖。如第4a至4b所示，在本實施例中，彼此隔開的鰭狀介層窗216d1和216d2，穿過介電層214形成，且分別電性連接至第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206和外圈部分210。如第4a至4b圖所示，彼此隔開的重佈線圖案218d1和218d2，設置於介電層214上，分別電性連接至鰭狀介層窗216d1和216d2且分別沿鰭狀介層窗216d1和216d2延伸。在本發明一實施例中，從上視圖看去，重佈線圖案218d1覆蓋第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210和第二線圈狀金屬圖案208兩者，而重佈線圖案218d2分別覆蓋第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206和第二線圈狀金屬圖案208兩者。重佈線圖案218d1和218d2的形狀類似於第一線圈狀金屬圖案222和第二線圈狀金屬圖案208的形狀。重佈線圖案218d1的寬度小於第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210和第二線圈狀金屬圖案208的總寬度，加上第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210和第二線圈狀金屬圖案208之間的間隙寬度；重佈線圖案218d2的寬度小於第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206和第二線圈狀金屬圖案208的總寬度，加上第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206和第二線圈狀金屬圖案208之間的間隙寬度。特別地，如第4a圖和第4b圖所示，重佈線圖案218d1從第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210的外邊緣242b橫向延伸至第二線圈狀金屬圖案208的一部分，而重佈線圖案218d2從第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206的內邊緣240a橫向延伸至第二線圈狀金屬圖案208的一部分。重佈線圖案218d1具有一對平行的邊緣230d1、232d1，其中邊緣232d1對齊第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210的外邊緣242b，而邊緣230d1與第二線圈狀金屬圖案208的外邊緣244b平行。另外，重佈線圖案218d2具有一對平行的邊緣230d2、232d2，其中邊緣232d2對齊第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206的內邊緣240a，而邊緣230d2與第二線圈狀金屬圖案208的內邊緣244a平行。重佈線圖案218d1和218d2藉由一間隙S彼此隔開，而間隙S位於第二線圈狀金屬圖案208的正上方。在如第4b圖所示之積體電路變壓器500d的剖面圖中，重佈線圖案218d1/218d2和鰭狀介層窗216d1/216d2可共同構成T型導電物220d1/220d2，可視為第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210/內圈部分206的延伸部分。T型導電物220d1/220d2覆蓋第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210/內圈部分206和相鄰於第一線圈狀金屬圖案222的第二線圈狀金屬圖案208。由於耦合效應不僅會發生於第二線圈狀金屬圖案208與第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206/外圈部分210的橫向空間之間，而且會發生於重佈線圖案218d1/218d2(耦接至第一線圈狀金屬圖案222的外圈部分210/內圈部分206)與第一線圈狀金屬圖案222的內圈部分206/外圈部分210的垂直空間之間，因而可改善積體電路變壓器500d的耦合係數k。另外，鰭狀介層窗216d1和216d2與其他柱狀介層窗一起形成，用作接合墊之電性連接，且重佈線圖案218d1和218d2可藉由圖案化一導電重佈線層的方式來形成，用來定義接合墊，因而不需要額外的製程和設計規則。
本發明實施例提供了積體電路變壓器500a~500d。上述積體電路變壓器包括T型導電物，可增加位於變壓器相同層別的主線圈和副線圈的耦合面積，以改善耦合係數k。上述T型導電物位於變壓器主線圈和副線圈的上方層。且上述T型導電物由一介層窗和一重佈線圖案構成，且電性連接至變壓器主線圈和副線圈的其中之一，其中上述重佈線圖案可利用圖案化一導電重佈線層的方式來形成以定義接合墊，因而不需要額外的製程和設計規則。並且，上述T型導電物的重佈線圖案與變壓器的彼此相鄰的主線圈和副線圈垂直重疊。因此，由於耦合效應不僅會發生於變壓器的主線圈和副線圈的橫向空間之間，而且會發生於重佈線圖案(耦接至主線圈或副線圈)與變壓器的主線圈或副線圈的垂直空間之間，因而可改善積體電路變壓器500a~500d的耦合係數k。
雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定為準。
500a、500b、500c、500d‧‧‧積體電路變壓器
200‧‧‧基板
202、214‧‧‧介電層
206‧‧‧內圈部分
207a、207b、211a、211b、211c、211d‧‧‧末端
208‧‧‧第二線圈狀金屬圖案
210‧‧‧外圈部分
216a、216b1、216b2、216c、216d1、216d2、217‧‧‧鰭狀介層窗
218a、218b1、218b2、218c、218d1、218d2‧‧‧重佈線圖案
220a、220b1、220b2、220c、220d1、220d2‧‧‧T型導電物
221、224、226‧‧‧金屬圖案
222‧‧‧第一線圈狀金屬圖案
230a、232a、230b1、232b1、230b2、232b2、230c、232c、230d1、232d2‧‧‧邊緣
244a、244b、242a‧‧‧側壁
240a、244a‧‧‧內邊緣
242b、244b‧‧‧外邊緣
S1、S2、P1、P2‧‧‧開關
S‧‧‧間隙
第1a圖為本發明一實施例之積體電路變壓器的上視圖。
第1b圖為沿第1a圖的A-A’切線的剖面圖。
第2a圖為本發明另一實施例之積體電路變壓器的上視圖。
第2b圖為沿第2a圖的A-A’切線的剖面圖。
第2c圖為沿第2a圖的B-B’切線的剖面圖。
第3a圖為本發明又另一實施例之積體電路變壓器的上視圖。
第3b圖為沿第3a圖的A-A’切線的剖面圖。
第3c圖為沿第3a圖的B-B’切線的剖面圖。
第4a圖為本發明更又另一實施例之積體電路變壓器的上視圖。
第4b圖為沿第4a圖的A-A’切線的剖面圖。
500a‧‧‧積體電路變壓器
206‧‧‧內圈部分
207a、207b、211a、211b、211c、211d‧‧‧末端
208‧‧‧第二線圈狀金屬圖案
210‧‧‧外圈部分
216a、217‧‧‧鰭狀介層窗
218a‧‧‧重佈線圖案
221、224、226‧‧‧金屬圖案
222‧‧‧第一線圈狀金屬圖案
S1、S2、P1、P2‧‧‧開關

权利要求:
Claims (20)
[1] 一種積體電路變壓器，設置於一基板上，包括：一第一線圈狀金屬圖案，設置於該基板上，該第一線圈狀金屬圖案包括一內圈部分和一外圈部分；一第二線圈狀金屬圖案，設置於該基板上，且橫向位於該內圈部分和該外圈部分之間；一介電層，設置於該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案上；一第一介層窗，穿過該介電層形成，且電性連接至該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案的其中之一；以及一第一重佈線圖案，設置於該介電層上，電性連接至該第一介層窗且沿該第一介層窗延伸，其中該第一重佈線圖案覆蓋至少一部分該第一線圈狀金屬圖案和至少一部分該第二線圈狀金屬圖案。
[2] 如申請專利範圍第1項所述之積體電路變壓器，其中該第一介層窗電性連接至該外圈部分，且該第一重佈線圖案從該外圈部分橫向延伸至該第二線圈狀金屬圖案。
[3] 如申請專利範圍第1項所述之積體電路變壓器，其中該第一介層窗電性連接至該內圈部分，且該第一重佈線圖案從該內圈部分橫向延伸至該第二線圈狀金屬圖案。
[4] 如申請專利範圍第2或第3項所述之積體電路變壓器，其中該第一重佈線圖案具有一對平行邊緣，分別對齊該第一線圈狀金屬圖案的一第一邊緣和該第二線圈狀金屬圖案的一第二邊緣。
[5] 如申請專利範圍第3項所述之積體電路變壓器，更包括：一第二介層窗，電性連接至該外圈部分；以及一第二重佈線圖案，設置且延伸於該介電層上，電性連接至該第二介層窗且沿該第二介層窗延伸，其中該第二重佈線圖案從該外圈部分橫向延伸至該第二線圈狀金屬圖案。
[6] 如申請專利範圍第5項所述之積體電路變壓器，其中該第一重佈線圖案和該第二重佈線圖案彼此隔開。
[7] 如申請專利範圍第1項所述之積體電路變壓器，其中該第一介層窗電性連接至該第二線圈狀金屬圖案，且該第一重佈線圖案從該內圈部分橫向延伸至該外圈部分。
[8] 如申請專利範圍第7項所述之積體電路變壓器，其中該第一重佈線圖案具有一對平行邊緣，分別對齊該內圈部分的一第三邊緣和該外圈部分的一第四邊緣。
[9] 如申請專利範圍第1項所述之積體電路變壓器，其中該第一介層窗電性連接至該第二線圈狀金屬圖案，且該第一重佈線圖案從該第二線圈狀金屬圖案橫向延伸至該內圈部分或該外圈部分。
[10] 如申請專利範圍第9項所述之積體電路變壓器，其中該第一重佈線圖案具有一對平行邊緣，分別對齊該第二線圈狀金屬圖案的一第三邊緣和該內圈部分或該外圈部分的一第四邊緣。
[11] 如申請專利範圍第1項所述之積體電路變壓器，其中該第一重佈線圖案的寬度等於該第二線圈狀金屬圖案和該第一線圈狀金屬圖案的該內圈部分及/或該外圈部分的總寬度加上該第二線圈狀金屬圖案與該第一線圈狀金屬圖案的該內圈部分及/或該外圈部分之間的一間隙的寬度。
[12] 如申請專利範圍第1項所述之積體電路變壓器，其中該第一重佈線圖案的寬度小於該第二線圈狀金屬圖案和該第一線圈狀金屬圖案的該內圈部分或該外圈部分的總寬度加上該第二線圈狀金屬圖案與該第一線圈狀金屬圖案的該內圈部分或該外圈部分之間的一間隙的寬度。
[13] 如申請專利範圍第1項所述之積體電路變壓器，其中該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案設置於相同層別。
[14] 一種積體電路變壓器，設置於一基板上，包括：一第一線圈狀金屬圖案，設置於該基板上，該第一線圈狀金屬圖案包括一內圈部分和一外圈部分；一第二線圈狀金屬圖案，設置於該基板上，且橫向位於該內圈部分和該外圈部分之間；以及一第一T型導電物，設置於該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案上，且電性連接至該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案的其中之一，其中該第一T型導電物覆蓋該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案兩者。
[15] 如申請專利範圍第14項所述之積體電路變壓器，其中該第一T型導電物包括：一第一介層窗，穿過位於該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案上的一介電層形成；以及一第一重佈線圖案，設置於該介電層上，電性連接至該第一介層窗且沿該第一介層窗延伸。
[16] 如申請專利範圍第15項所述之積體電路變壓器，其中該第一介層窗電性連接至該第二線圈狀金屬圖案，且該第一重佈線圖案從該內圈部分橫向延伸至該外圈部分。
[17] 如申請專利範圍第14項所述之積體電路變壓器，更包括一第二T型導電物，與該第一T型導電物隔開，其中該第一T型導電物和該第二T型導電物分別電性連接至該第一線圈狀金屬圖案的該內圈部分和該外圈部分。
[18] 如申請專利範圍第17項所述之積體電路變壓器，其中該第二T型導電物包括：一第二介層窗，穿過該介電層；以及一第二重佈線圖案，設置於該介電層上，電性連接至該第二介層窗且沿該第二介層窗延伸，其中該第一重佈線圖案從該內圈部分橫向延伸至該第二線圈狀金屬圖案，且該第二重佈線圖案從該外圈部分橫向延伸至該第二線圈狀金屬圖案。
[19] 如申請專利範圍第14項所述之積體電路變壓器，其中該第一T型導電物的寬度等於該第二線圈狀金屬圖案和該第一線圈狀金屬圖案的該內圈部分及/或該外圈部分的總寬度加上該第二線圈狀金屬圖案與該第一線圈狀金屬圖案的該內圈部分及/或該外圈部分之間的一間隙的寬度。
[20] 如申請專利範圍第14項所述之積體電路變壓器，其中該第一線圈狀金屬圖案和該第二線圈狀金屬圖案設置於相同層別。

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