管状制御要素を有するウエハーコンテナ

专利摘要:
ウエハーコンテナはウエハーコンテナ内で水分及び蒸気を吸収及びろ過するために、そこにスロット及び「ゲッター」を有する剛性ポリマー管状塔を使用する。塔は好ましくはコンテナの底部においてパージグロメットを使用し、コンテナ及び塔に関連して出入りするガス（空気を含む）の流れの方向を制御するようそこにチェック弁を有し得る。塔はグロメットと密閉して接続されている。塔は管状に形成又は成形されて塔内に配置される細長い円形形状に巻き込まれるゲッター媒体部を有し、軸方向に伸び得る。媒体は能動的及び／又は受動的なろ過を提供可能であり、また再充填も可能である。３００ｍｍサイズのウエハーのための前面開放ウエハーコンテナは、一般的にコンテナ部の内側後方の左側及び右側のそれぞれに一組の凹部を有する。これらの凹部は好ましくは細長い塔のために使用されて、そのような塔は底部ウエハー位置から上部ウエハー位置まで十分に伸びている。代替実施形態では、ゲッター材料の管状形状は、端部以外でゲッターの閉じ込め容器なしで前面開放コンテナ内で露出される。管状ゲッターの形状は好ましくは内部コンテナ環境において露出が最大となるよう離れた位置で支持される。遮断部材は選択的に開口部を閉鎖可能である。弾性キャップはコンテナ部において管状要素の固定を促進可能である。
公开号:JP2011514014A
申请号:JP2010550899
申请日:2009-03-13
公开日:2011-04-28
发明作者:ブイ スミス，マーク；バーンズ，ジョン；エル フォーブス，マーティン；エー フラー，マシュー；エー ワトソン，ジェームス
申请人:インテグリス インコーポレーテッド；
IPC主号:H01L21-673

专利说明:

[0001] 関連出願
本出願は２００８年３月１３日に出願された米国仮特許出願第６１／０３６，３５３号の利益を主張し、それの内容全体が本明細書において参照により援用される。]
背景技術

[0002] ウエハーコンテナ及びレチクルポッドは、一般的にＦＯＵＰｓ（前面開放統一ポッド）、ＦＯＳＢｓ（前部開放輸送ボックス）、又はＳＭＩＦ（標準機械式インターフェース）ポッドとして知られる密閉コンテナである。これらのコンテナは、保存、輸送及び材料を処理している間、集積回路の製造において使用されるウエハー及び基板を取り囲む環境を隔離して制御するための微環境を提供する。そのような材料の処理は、従来、「クリーンルーム」として一般的に知られている特定のフリー環境において実行されてきた。しかしながら汚染のない状態におけるそのような「クリーンルーム」の維持管理は、特に材料を処理している間、相当量の注意と努力を必要とし得る。]
[0003] そのような微環境の内部空気はより迅速に制御及び維持可能である。しばしば、そのようなコンテナは不活性ガス又は清浄な乾燥空気（ＣＤＡ）又は予備のＣＤＡと共にパージ可能である。そのようなコンテナにおけるレチクルの汚染は、ウエハー又はレチクル上で起こる離散粒子によるものだけではなく、かすみ（hazing）によって起こり得るものであることが観測されてきた。本出願の所有者によって所持される国際公開第２００７／１４９５１３号 Ａ２を参照のこと。これは本明細書において参照により援用され、本出願に付属して含まれる。また、そのようなかすみはウエハーコンテナ内でウエハー上に起こり、そこにおいて不利益をもたらし得る。本明細書において援用により参照される米国特許第５，３４６，５１８号を参照のこと。また、本出願の所有者によって所持されている関連する米国特許第６，０４２，６５１号は、ウエハー棚組立体をパージ出口として使用する底部開放ＳＭＩＦポッド及び前面開放ウエハーコンテナにおいてノズル塔を使用することを開示している。そのような構造と関連する問題及びそのような構造の最適な利用は適切に取り組まれてこなかった。]
[0004] 例えば、基板コンテナにおける乾燥剤及び蒸気ゲッターの使用は、一般的に洗浄の前にそれらを除去又は分解する必要があり、そのような基板コンテナは流体が使用されると、ろ過及び／又は蒸気吸着のための媒体を破壊し得る。さらに、基板コンテナ内で配管されるパージポートは、媒体の問題は別として、パージガスの移動のために使用される囲い込まれた領域のために洗浄及び乾燥することが難しい。媒体及びパージ要素を分解及び除去することなくそのような基板コンテナの洗浄を促進するための手段は非常に利点を有するであろう。特に、洗浄における問題点は、米国特許第６，０４２，６５１号において開示されているような独立塔である。さらに、そのような塔はそれらが不用意に接触するであろうそれらの従来の配置、及び基板コンテナの底部のみでのそれらの接続によって、移動及び転移の可能性がある。より良い配置及び取り付け方法及び構造、特にコンテナの囲まれた内部を外部から離している壁又はその他の境界を通過して伸びる穴又は留め具に依存しない方法は利点であろう。]
[0005] 前面開放ポッドにおける個別塔の使用、１つ以上の排出塔の使用、及び排出塔又は管状制御要素（tubular environmental control components）の最適な配置及び固定は、前面開放大口径ウエハーコンテナにおける、信頼性、かすみ、汚染及び特定の制御、及び洗浄の課題に十分に取り組むように、今まで適切に考慮及び最適化されてこなかった。３００ｍｍのウエハーから４５０ｍｍのウエハーへ遷移するにつれて、これらの分野における改良はより重要になるであろう。]
先行技術

[0006] 国際公開第２００７／１４９５１３号パンフレット
米国特許第５，３４６，５１８号明細書
米国特許第６，０４２，６５１号明細書]
[0007] 発明の実施形態では、ウエハーコンテナは管状制御要素を含み、それはウエハーコンテナの内部と連通する開放内部及びスロットと共に構成される。１つ又は２つの管状要素はウエハーコンテナの後ろの隅部又はコンパートメントに戦略的に配置可能で、ウエハーコンテナの底部においてパージ入口に接続され得る。ある実施形態では、吸収材料に加えて又は代えてフィルターを有し得る。ある実施形態では、追加のパージ入口ポートが使用可能で、全体で３つのパージ入口となる。管状要素又はパージポートはその中にチェック弁を有するため、コンテナ及び塔に関連して出入りするガス（空気を含む）の流れの方向を制御することができる。パージポートは弾性グロメットを使用可能で、管状要素は密閉してそこへ連結され得る。管状要素は、管状として形成又は成形される細長い円形形状内に巻き込まれて塔内に配置されるゲッター媒体部を有し得る。媒体は能動的及び／又は受動的なろ過及び再充填可能であることを提供し得る。]
[0008] ３０ｍｍサイズのウエハーに対する前面開放ウエハーコンテナの１つの構成は、コンテナ部の内部後方において左側及び右側のそれぞれに一組のコンパートメントを有する。これらのコンパートメントはウエハーコンテナの後壁において一組の垂直な外側突出部によって形成される内部構造を反映して、それはコンテナ部が９０°後方に回転したときに足部又は着座特性として利用される。ある実施形態の特徴及び利点は、底部ウエハー位置から上部ウエハー位置まで又はコンテナ部の底部から上部まで十分に伸びる細長い管状制御要素を完全に又は部分的に収容するために、これらのコンパートメントを使用することである。１つの実施形態では、管状形状のゲッター材料は、能動的パージシステムの一部とはならずにゲッターの最小閉じ込め部を有する１つ又は両方のコンパートメントにおいて、前面開放コンテナ内に露出される。他の実施形態では、パージ塔として構成される管状制御要素は１つ又は両方のコンパートメントに配置可能である。塔は媒体を収容する閉じ込め部として構成可能である。媒体はフィルター及び／又は吸収性媒体であり得る。]
[0009] ある実施形態では、管状制御要素は、パージガスをコンテナ部の開放内部に発散するため、又は要素において吸収性媒体がコンテナ部の内部からの湿気を含めた蒸気を吸収可能とするために開口部を有する。特徴及び利点は、そのような開口部は、管状要素の内部とウエハーコンテナの開放内部との間の連通を止めるために選択的に遮断できることである。これは、管状要素のフィルター、ゲッター、又はその他の内容物が要素を除去することなく洗浄液から保護可能であるため、コンテナの洗浄のために高度に有益である。遮断は弾性ストリップによって行われ、それは開口部を遮蔽及び非遮蔽できる剛性のスライド可能な取り付け部材によって開口部を密閉する。さらに、そのような選択的な遮断はコンテナ部の内部と管状要素の内部との間の開口部のサイズを変化させることによって調節可能である。]
[0010] ある実施形態の特徴及び利点は、開口部を有する管状要素は、パージ入口がそこへ連結される水平オフセット形状であり得ることである。これはウエハーに対する間隔を提供する。さらに、排出開口部を後部の凹部又はコンパートメントにおける管状要素に配置することは、パージガスに対するより良い流体特性を提供すると考えられている。管状要素を後部の凹部において配置することは、突然の又は不慮の接触からパージ要素を保護する利点をもたらす。]
[0011] ある実施形態の特徴及び利点は、制御要素を後方コンパートメントにおいて取り付ける方法である。これらのコンパートメントは、ウエハーコンテナの後壁において一組の垂直外部突部によって形成される内部構造を反映し、それはコンテナ部が後に９０°回転したときに足部又は着座特性として利用される。これらの内部コンパートメントは一般的に後方に被覆する壁を有する。ある実施形態では、柔軟な弾性取り付け部材は管状制御要素の上部とコンテナ部のポリマー壁との中間に固定される。そのような弾性取り付け部材は壁を通過する開口部なしで所定の位置に塔を固定し、及びポリカーボネートコンテナ部壁と弾性材料との間の摩擦の高い共同作用を最適に利用する。部材は伸長要素を共に固定する有利な機能をさらに提供するキャップとして形成され、伸長要素は管状制御要素の閉じ込め部を含む。管状要素は弾性部材の高度な共同作用による摩擦又は圧縮を利用するために両端においてそのような部材を有するため、全体的又は部分的に後方コンパートメント内で前記管状制御要素を保持可能である。他の実施形態では、金属又は剛性ポリマーから形成される剛性ブラケットはコンパートメントの対向する壁との間にブラケットを押し込ませるためのスプリングティースを有し得、ティースはコンテナ部壁の表面に食い込む。これらの取り付け方法及び構造の特徴及び利点は、取り付けがウエハーコンテナの壁を通過して伸びる別個の構造又は留め具を使用せずに、取り付け要素を係合させるよう対向する壁を利用することである。従って、ウエハーコンテナは製品に対して修正なしで又は減少した修正で直ちに組み込み可能である。]
[0012] 管状ゲッター媒体を利用する実施形態の特徴及び利点は、比較的広範囲の媒体がウエハーコンテナの閉じ込められた領域において効率的に暴露されることである。さらに、後方コンパートメントは媒体を有さずに純粋なパージのために利用される管状要素のために有効に働く。]
[0013] ある実施形態のさらなる特徴及び利点は、パージガスが塔を通過して消耗されたときに、管状ゲッター媒体はそこの環境が固定されているとき、その時に効果的に再充填され得ることである。]
[0014] 本明細書において実施形態のさらなる特徴及び利点は、３００のウエハーコンテナが存在する構成における発明の内容は、そのようなコンテナにおける最小限の変化を要求することである。さらなる特徴及び利点は、発明の側面は、より大きなウエハーコンテナのために非常に適していることである。]
図面の簡単な説明

[0015] 発明の実施形態に基づく前面開放ウエハーコンテナの斜視図である。
図１のウエハーコンテナの底面図である。
コンテナ部の異なる実施形態における開放前面の正面斜視図である。
コンテナ部の壁とそこのウエハーに関連する管状要素及びパージポートの配置を示した図３の実施形態における詳細な上面斜視図である。
管状要素の立面図である。
塔要素を前面開放ウエハーコンテナのコンテナ部の底壁に固定するために適した取り付け特性の詳細図である。
ブラケットと共にそこへ取り付けられるフィルターカートリッジとして構成される一組の管状制御要素を有するコンテナ部の正面図である。
本発明の実施形態に基づく吸収性フィルターカートリッジとして構成される管状制御要素の斜視図である。
図４及び５において示されるように、管状制御要素をウエハーコンテナの後部領域に取り付けるために適したブラケットである。
ウエハーコンテナの管状制御要素のための取り付け手段を示す水平断面図である。
ブラケット内のフィルターカートリッジの斜視図である。
図１１のブラケットの斜視図である。
図４の１３−１３線における断面図である。
発明の実施形態に基づく管状制御要素の分解図である。
図１４の管状制御要素における管状制御要素の分解図である。
管状制御要素の正面斜視図である。
図１６の管状制御要素の後面図である。
遮断部材がそこに係合された図１６及び１７の管状制御要素の正面斜視図である。
発明の実施形態に基づく管状制御要素の正面斜視図である。
リビングヒンジが開いて露出された管状制御要素の詳細図である。
発明の実施形態に基づくコンテナ部である。
本発明に基づく遮断部材８００の代替実施形態の斜視図である。] 図１ 図１１ 図１４ 図１６ 図３ 図４
実施例

[0016] 図１及び２を参照すると、前面開放ウエハーコンテナ２０が示されており、一般的にドア２４及びコンテナ部２６を含む。コンテナ部２６は開放内部３２に通じる前面開放部３０を有しており、開放内部３２には複数のウエハーＷがウエハー棚３５に保持されている。ドア２４はラッチ機構３８と共にキー接続穴３６を有しており、ラッチ機構３８はラッチチップ４１と共にドアエンクロージャの内側において部分的に示されている。ラッチチップ４１はコンテナ部ドアフレーム４０において凹部３９と係合する。ウエハーコンテナはパージグロメット５０を有する一組の前方パージポート４８及び後方のパージポート５４と共にパージ機能を有しており、パージグロメット５０はコンテナ部の底部５２におけるグロメット受容構造５１内で固定される。チェック弁５６はパージングガス流体の方向を制御するために、グロメット内に挿入可能である。パージ塔６０として構成される管状制御要素が示されており、それもまたグロメット６２及びチェック弁６４を使用可能である。パージポートの例示的な配置はウエハーＷと関連して図２に示されている。] 図１ 図２
[0017] 図３、４及び１３を参照すると、発明を具体化する異なる構成の部分６４を有するウエハーコンテナのさらなる詳細が適切な構成要素の配置と共に示されている。コンテナ部６４はシェル６５及び閉鎖上部６６、閉鎖底部６６．１、閉鎖左側６６．２、閉鎖右側６６．３、開放前面６７、及び閉鎖後部６７．１を有する。コンテナの内部は複数の棚７０を有しており、それはコンテナ部のその上部及び底部に固定され得る。運動学的連結プレート７４（図４に図示されない）は、コンテナ部の底部に配置され、後部ポート５４において前側グロメット及び後側グロメット７７を受容するための適切な開口部を有する。開口部はシェル６５を通過して伸び得る。コンテナ部は２つの後方開口部８０を有し、それはウエハーの内部３２から外側へ伸びる。] 図３ 図４
[0018] 図３及び１３において示されるように、塔要素として構成される管状制御要素７８は内部から開口部８０へコンテナ部６４内に挿入される。管状要素は閉じ込め部８１、オフセット部８３、及びポート部８５を有する。弾性グロメット７７は管状要素の下部９４に密閉するように配置され、チェック弁６２はその中へ配置され得る。円筒形状のフィルター及び／又はゲッター媒体材料１００は閉じ込め部に含まれ、管状要素の内部に適合するように構成される。前記管状要素は、そこにおいて開示されている水平スロットとして構成される複数の軸方向に広がる開口部１１０を有する。好ましい実施形態では、それぞれのウエハーの表面にわたってパージガスを放出するために、スリット位置を有するそれぞれのウエハーのためのスリットを備えていてもよい。媒体材料が閉じ込め部内にある場合、前記軸方向に伸びる開口部によってウエハーコンテナの内部に露出される。このコンテナ部６４の特に注目すべきは、後方コンパートメント１１１であり、それは後部６７．１において後方突出部１１２によって規定される。壁１１３は２つの足部１１４を提供するように構成されることで、輸送のためなどコンテナが９０°後方に傾いたときにドア２４を有する前面が上方を向く。それぞれのコンパートメント１１１は一組の側壁部１１５、後壁部１１６及びコンパートメント開放部１１７を有する。] 図３
[0019] 図５及び６を参照すると、本実施形態における管状要素１１９は垂直スリットを有し、並びにシェル及び運動学的連結プレート７４を通過して開口部８０へ下方に伸びる複数のフィンガー１２２を有する。前記フィンガーは、コンテナ部の底部の開口部において、弾性的に半径方向へ内側に屈曲して安定に固定可能である。フランジ１１３は要素の適切な配置を促進し得る。] 図５
[0020] 図７から１１を参照すると、追加の実施形態が一組の管状制御要素と共に示されており、それは後方３面コンパートメント２０２において、ほぼ同位置に取り付けられるフィルターカートリッジ２００として構成され、及び図１−４に示されるコンテナと関連する能動的パージ機能を有さないゲッターとして構成される。そのようなカートリッジはそこに配置される媒体２１１と共に、ポリマー又はその他の適した材料から形成される外側ハウジング２１０を有し得る。好ましい実施形態では、カートリッジ及び媒体は管状形状であり得る。図８のカートリッジの突部２１２は、外壁を通過して伸びるネジによってカートリッジをコンテナ部壁に直接取り付けるために使用可能である。あるいは、図９及び図７に示されるように、ブラケット２２０がコンテナ部の後壁に取り付けられて、そこにカートリッジが固定され得る。] 図１ 図７ 図８ 図９
[0021] 特に図１０、１１及び１２を参照すると、フィルターカートリッジ３００のさらなる実施形態が示されており、また、ハウジング３０８内に閉じ込められた媒体３０４を有する。カートリッジ３００はタブ３２２を備えた弾性捕捉レッグ３３０を有するクランプ３２０内で固定され、タブ３２２は単にそこへ挿入されることによってコンテナの壁に食い込むことが可能なため、さらなる取り付け機構を必要としない。スプリングアーム３３５はブラケットにカートリッジを固定する。] 図１０
[0022] 本明細書において示されるカートリッジ及び塔において使用され得る特定のゲッター媒体は、国際公開第２００７／１４９５１３号 Ａ２において開示されており、それは本明細書において参照により援用される。同様に、図２、３及び４において本明細書に示されるように、ウエハーコンテナ内のパージシステムの一部であるゲッターを再充填するための方法及びシステムは、前記公報における主にレチクルポッドを参照して詳細に説明される。前記システム及び方法及び装置もまた本明細書及び前記参照において適用可能で、それらはそこへ直接関連して開示のために援用される。] 図２
[0023] 図１４—１８を参照すると、本明細書における発明に基づく管状制御要素４００の詳細が示されている。要素は一組の伸長部４０２、４０６を有しており、それらは互いに組みつけられて閉じ込め内部４１４と共に閉じ込め部４１０を形成可能である。閉じ込め部は軸４１８を有しており、パージポート部４２８に接続されるオフセット部４２２に接続される。弾性グロメット４３２はグロメット受容部４４０において固定可能である。２つの伸長部は細長いクラムシェル部として構成される。後方部４０６はループとして構成されるラッチ部４４８を備えるエッジ部４４４を有する。前方部４０２もまたループと係合するためのタブとして構成されるラッチ部４５２を備えるエッジ部４４８を有する。ラッチ部は、伸長部を共に固定するように操作される一方で、洗浄又は媒体の配置又は取替えのために分解可能である。前方部４０２は複数の開口部４５３を有する開口部４５１を有し、複数の開口部４５３は閉じ込め内部４１４とコンテナ部の開放内部との間の連通を提供する。] 図１４
[0024] 特に図１３−１８を参照すると、弾性伸長遮断部材４６０は、タブ４６４を開口部４５３に固定して密閉させることによって開口部と係合させるためにストリップとして構成される。図１３及び１８は遮断位置における部材４６０を示している。従って、遮断部材は閉じ込め部の内部をコンテナ部の内部と選択選択的に遮断するか又は露出することができる。] 図１３
[0025] さらに図１３−１８を参照すると、弾性キャップ５００として構成される弾性保持具は管状要素４００の上端部５０６上に弾性的に拡張して固定される。キャップ５００はドーム形状であり、上部でコンテナ部の内表面５２０と係合するように構成される延長部５１６を有する。キャップは伸長部を共に固定し、さらにコンテナ部を弾性的に係合させる機能を有するため、管状要素の振動及びプラスチックとプラスチックとの接触、プラスチック要素部とシェルとの接触は最小限化される。管状要素は圧力下でキャップを被せられて挿入されて、キャップの弾性材料とシェルの硬質材料、一般的にはポリカーボネート、との間の高い摩擦によって管状要素を所定の位置に保持する。] 図１３
[0026] 図１９及び２０を参照すると、管状制御要素６００の他の実施形態が示されている。要素は２つのクラムシェル部６０４、６０６を有しており、それらはリビングヒンジ（living hinge）６１０又は同類のものによってヒンジで連結される。２つのシェル部はラッチ部により掛け金がかけられる。開口部６３０はカプセル部又は閉じ込め部６４４の内部６３４とウエハーコンテナの開放内部との間の連結を提供する。また、閉じ込め部はオフセット部６５０と接続されて、その後パージポート部６５４へ接続される。] 図１９
[0027] 図２１を参照すると、管状制御要素７００を有するウエハーコンテナ６９２の実施形態が示されており、管状制御要素７００はコンテナ部７１８の裏面壁７１４において凹部７１０に配置される。凹部は開口部を有しており、それは上部７２０から底部７２２に配置されて間隔を有する。オフセット部７２６は閉じ込め部７３０と内部に配置されるパージポート部（図示されない）との間の連通を提供し得る。この配置は管状制御要素がその他の実施形態と同水準でコンテナ部の内部に分配されずに変更されることを可能とする。] 図２１
[0028] 図２２を参照すると、遮断部材８００の代替の実施形態が示されている。例えばポリカーボネートなどのこの剛性のプラスチックは、図１９の構成のように管状制御要素まわりでクランプをつなげている。保持フィンガー８１０は楔形歯８１２を後方角６７０で固定することによって部材を管状部材に固定可能である。さらなる実施形態では、遮断部材は管状要素の開口部６３０に対応する開口部８２０を有し得る。この要素は垂直に滑らせることによって管状制御要素とスライドして係合可能であり、管状要素の内部とコンテナ部の内部との間の連通を開放、閉鎖又は調整可能である。同様に、成形剛性遮断要素は円筒状又は横断面が楕円形の管状要素のまわりを部分的に覆う弓状フィンガーを有し得る。] 図１９ 図２２
[0029] 本発明はそれらの本質的な特性の精神から逸脱することなくその他の特定の形態において具現化され得る。したがって、示された実施形態は例示的に及び制限されずに全ての側面が考慮されるべきで、発明の範囲を示すために上述した説明よりも添付の特許請求の範囲が参照される。]

权利要求:

請求項1
３００ｍｍ以上のウエハーのための前面開放ウエハーコンテナであって、開放内部を規定する閉鎖左側、閉鎖右側、閉鎖底部、閉鎖上部、及び閉鎖背面まわりに広がるコンテナ壁を有するコンテナ部と、一組の向かい合う側壁部、後壁部、２つの内部垂直角部、上壁部及び底壁部を有するそれぞれのコンパートメントと、開放前面に適合してドアフレームに掛け金をかけ得るドアと、前記コンパートメントの１つ内で固定されて、一組の側壁部及び背面部から離れている少なくとも１つの細長い管状制御要素とを含み、コンテナ部は、間隔の開いた複数の水平ウエハー棚と、開放前面を規定するドアフレームとを有し、水平ウエハー棚はコンテナ部に取り付けられて開放内部において一般的な円筒状ウエハー受容領域を規定するため、水平に間隔を開けて大量のウエハーを棚に位置させて保持可能であり、背面のコンテナ部壁はコンテナ部の上部からコンテナ部の底部まで伸びて内側に拡大する凹部を有し、凹部の両方の側面において、シェルの突出部はウエハーコンテナの開放前面が上方へ向きながら後方へ回転するときにウエハーコンテナを着座させるための一組の直立足部を規定し、足部は内部コンパートメントを規定しており、細長い管状制御要素は長さを有しており、その長さは上壁部と底壁部との間の距離で十分に伸びる前面開放ウエハーコンテナ。
請求項2
請求項１の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は２つの伸長部から構成されており、それぞれの伸長部は伸長部を共に固定するための複数のラッチによって接続され、２つの伸長部は閉じ込め領域を規定する前面開放ウエハーコンテナ。
請求項3
請求項２の前面開放ウエハーコンテナであって、２つの伸長部はヒンジで連結されることで閉じ込め部を規定し、閉じ込め部はフィルター材料又は蒸気吸収材料の少なくとも１つを含む前面開放ウエハーコンテナ。
請求項4
請求項１の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は内部を有する閉じ込め部と、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を提供する複数の開口部とを有し、細長い管状制御要素は直立の軸を有し、及び細長い管状制御要素はパージポートにおいてコンテナ部の底部に接続されて、パージポートは管状制御要素の軸から外れて配置される前面開放ウエハーコンテナ。
請求項5
請求項４の前面開放ウエハーコンテナであって、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を選択的に遮断するために管状制御部材に配置可能である細長い遮断部材をさらに含む前面開放ウエハーコンテナ。
請求項6
請求項５の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い遮断部材は弾性材料で形成され、管状制御要素は複数の開口部まわりに広がる取り付け構造を有し、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を密閉して遮断するために、前記遮断部材は前記取り付け構造に弾性的に係合する前面開放ウエハーコンテナ。
請求項7
請求項５の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い遮断部材は閉じ込め部とスライド可能に係合して、遮断位置と開口部開放位置との間をスライドして移動できる前面開放ウエハーコンテナ。
請求項8
請求項１の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は閉じ込め部を規定する２つの伸長部から構成されており、細長い管状制御要素は閉じ込め部の上部を粘着的に被覆するために弾性的に拡張する弾性キャップをさらに含む前面開放ウエハーコンテナ。
請求項9
請求項１の前面開放ウエハーコンテナであって、内部コンパートメントに配置される追加の細長い管状制御要素をさらに含み、２つの細長い管状制御要素は両方ともウエハーコンテナの底部でパージ入口に接続されて、ウエハーコンテナはドアフレームに近接してウエハーコンテナの底部に配置されるパージ入口をさらに有し、ドアフレームに近接してウエハーコンテナの底部にパージ出口をさらに含む前面開放ウエハーコンテナ。
請求項10
請求項１の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は閉じ込め部の上部を粘着的に被覆するために弾性的に拡張する弾性キャップを含み、キャップがシェル係合部を有することによって、管状制御要素は２つの対向する端部を有して両方の端部でコンテナ部に固定される前面開放ウエハーコンテナ。
請求項11
請求項１の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は蒸気吸収材料から構成されており、ウエハーコンテナはスプリングアームを有するブラケットをさらに含むため、コンパートメントの１つの一組の側壁の中間にブラケットを固定可能であり、細長い管状制御要素はブラケットに取り外し可能に取り付けられる側壁前面開放ウエハーコンテナ。
請求項12
３００ｍｍ以上のウエハーのための前面開放ウエハーコンテナであって、開放内部を規定する閉鎖左側、閉鎖右側、閉鎖底部、閉鎖上部、及び閉鎖背面まわりに広がるコンテナ壁を有するコンテナ部と、開放前面に適合してドアフレームに掛け金をかけ得るドアと、角領域に配置される一組の細長い管状制御要素とを含み、コンテナ部は、間隔の開いた複数の水平ウエハー棚と、開放前面を規定するドアフレームとを有し、水平ウエハー棚はコンテナ部に取り付けられて開放内部において一般的な円筒状ウエハー受容領域を規定するため、水平に間隔を開けて大量のウエハーを棚に位置させて保持可能であり、背面のコンテナ部壁はコンテナ部の上部からコンテナ部の底部まで伸びる一組の角領域を有しており、それぞれの細長い管状制御要素は内部を有する閉じ込め部と、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を提供する複数の開口部を有し、それぞれの細長い管状制御要素は直立の軸を有し、細長い管状制御要素はパージポートにおいてコンテナ部の底部に接続されて、パージポートは管状制御要素の軸から外れて配置される前面開放ウエハーコンテナ。
請求項13
請求項１２の前面開放ウエハーコンテナであって、一組の細長い管状制御要素は両方とも背面において外側にさらされる前面開放ウエハーコンテナ。
請求項14
請求項１２の前面開放ウエハーコンテナであって、一組の細長い管状制御要素は壁部及び背面から離れており、細長い管状制御要素は長さを有しており、その長さは上壁部から底壁部との間の距離で十分に伸びる前面開放ウエハーコンテナ。
請求項15
請求項１２の前面開放ウエハーコンテナであって、それぞれの細長い管状制御要素は２つの伸長部から構成されており、それぞれの伸長部は複数のラッチの少なくとも１つによってもう一方に接続され、２つの伸長部は閉じ込め部を規定する前面開放ウエハーコンテナ。
請求項16
請求項１５の前面開放ウエハーコンテナであって、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を選択的に遮断するために管状制御部材の少なくとも１つに配置可能である細長い遮断部材をさらに含む管状前面開放ウエハーコンテナ。
請求項17
請求項１６の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い遮断部材は弾性材料で形成され、管状制御要素は複数の開口部まわりに広がる取り付け構造を有し、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を密閉して遮断するために、前記遮断部材は前記取り付け構造に弾性的に係合する前面開放ウエハーコンテナ。
請求項18
請求項１６の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い遮断部材は閉じ込め部の１つとスライド可能に係合して、前記閉じ込め部において遮断位置と開口部開放位置との間をスライドして移動できる前面開放ウエハーコンテナ。
請求項19
請求項１２の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素はそれぞれ閉じ込め部を規定する２つの伸長部から構成されており、細長い管状制御要素は閉じ込め部の上部を粘着的に被覆するために弾性的に拡張する弾性キャップをさらに含む前面開放ウエハーコンテナ。
請求項20
請求項８の前面開放ウエハーコンテナであって、キャップはシェル係合部を有することによって、管状制御要素は２つの対向する端部を有して両方の端部でコンテナ部に固定される前面開放ウエハーコンテナ。
請求項21
請求項１２の前面開放ウエハーコンテナであって、それぞれの閉じ込め部はそこにフィルター材料及び吸収材料の少なくとも１つを有する前面開放ウエハーコンテナ。
請求項22
３００ｍｍ以上のウエハーのための前面開放ウエハーコンテナであって、開放内部を規定する閉鎖左側、閉鎖右側、閉鎖底部、閉鎖上部、及び閉鎖背面まわりに広がるコンテナ壁を有するコンテナ部と、開放前面に適合してドアフレームに掛け金をかけ得るドアと、角領域の１つに配置される細長い管状制御要素とを含み、コンテナ部は、間隔の開いた複数の水平ウエハー棚と、開放前面を規定するドアフレームとを有し、水平ウエハー棚はコンテナ部に取り付けられて開放内部において一般的な円筒状ウエハー受容領域を規定するため、水平に間隔を開けて大量のウエハーを棚に位置させて保持可能であり、背面のコンテナ部壁はコンテナ部の上部からコンテナ部の底部まで伸びる一組の角領域を有しており、前記細長い管状制御要素は内部を有する閉じ込め部と、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を提供する複数の開口部を有し、前記細長い管状制御要素は直立の軸を有し、細長い管状制御要素はパージポートにおいてコンテナ部の底部に接続されて、パージポートは管状制御要素の軸から外れて配置され、細長い管状制御要素は２つの伸長部から構成されて、それぞれの伸長部は複数のラッチ及びヒンジの少なくとも１つによってもう一方に連結され、２つの伸長部は閉じ込め部を規定する前面開放ウエハーコンテナ。
請求項23
請求項２２の前面開放ウエハーコンテナであって、閉じ込め部はそこにフィルター材料及び吸収材料の少なくとも１つを有する前面開放ウエハーコンテナ。
請求項24
請求項２２の前面開放ウエハーコンテナであって、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を選択的に遮断するために管状制御部材に配置可能である細長い遮断部材をさらに含む前面開放ウエハーコンテナ。
請求項25
請求項２４の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い遮断部材は弾性部材で形成され、管状制御要素は複数の開口部まわりに広がる取り付け構造を有し、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を密閉して遮断するために、前記遮断部材は前記取り付け構造に弾性的に係合する前面開放ウエハーコンテナ。
請求項26
請求項２２の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い遮断部材は閉じ込め部の１つとスライド可能に係合して、前記閉じ込め部において少なくとも遮断位置と開口部開放位置との間をスライドして移動できる前面開放ウエハーコンテナ。
請求項27
請求項２２の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は閉じ込め部の上部を粘着的に被覆するために弾性的に拡張する弾性キャップをさらに含む前面開放ウエハーコンテナ。
請求項28
請求項２７の前面開放ウエハーコンテナであって、キャップはシェル係合部を有することによって、管状制御要素は２つの対向する端部を有して両方の端部でコンテナ部に固定される前面開放ウエハーコンテナ。
請求項29
請求項１の前面開放ウエハーコンテナであって、それぞれの閉じ込め部はフィルター材料及び吸収材料の少なくとも１つをそこに有する前面開放ウエハーコンテナ。
請求項30
前面開放ウエハーコンテナであって、開放内部を規定する閉鎖左側、閉鎖右側、閉鎖底部、閉鎖上部、及び閉鎖背面まわりに広がるコンテナ壁を有するコンテナ部と、開放前面に適合してドアフレームに掛け金をかけ得るドアと、コンテナ部に配置されてコンテナ部の底部からコンテナ部の上部まで十分に伸びる細長い管状制御要素とを含み、コンテナ部は、間隔の開いた複数の水平ウエハー棚と、開放前面を規定するドアフレームとを有し、水平ウエハー棚はコンテナ部に取り付けられて開放内部において一般的な円筒状ウエハー受容領域を規定するため、水平に間隔を開けて大量のウエハーを棚に位置させて保持可能であり、背面のコンテナ部壁はコンテナ部の上部からコンテナ部の底部まで伸びる一組の角領域を有しており、前記細長い管状制御要素は内部を有する閉じ込め部と、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を提供する複数の開口部を有し、前記細長い管状制御要素は直立の軸を有し、パージポートにおいてコンテナ部の底部に接続されて、細長い管状制御要素は閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を選択的に遮断するために管状制御部材に配置可能である細長い遮断部材をさらに含む管状前面開放ウエハーコンテナ。
請求項31
請求項３０の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い遮断部材は弾性部材で形成され、管状制御部材は複数の開口部まわりに広がる取り付け構造を有し、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を密閉して遮断するために、前記遮断部材は前記取り付け構造に弾性的に係合する前面開放ウエハーコンテナ。
請求項32
請求項３０の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い遮断部材は剛性のポリマーで形成されて閉じ込め部の１つとスライド可能に係合可能であり、前記閉じ込め部において少なくとも遮断位置と開口部開放位置との間をスライドして移動できる前面開放ウエハーコンテナ。
請求項33
請求項３０の前面開放ウエハーコンテナであって、細長い管状制御要素は弾性材料から形成されるキャップをさらに含み、それは閉じ込め部の上部を粘着的に被覆するために弾性的に拡張する前面開放ウエハーコンテナ。
請求項34
請求項３３の前面開放ウエハーコンテナであって、キャップはシェル係合部を有することによって、管状制御要素は２つの対向する端部を有して両方の端部でコンテナ部に固定される前面開放ウエハーコンテナ。
請求項35
前面開放ウエハーコンテナであって、開放内部を規定する閉鎖左側、閉鎖右側、閉鎖底部、閉鎖上部、及び閉鎖背面まわりに広がるコンテナ壁を有するコンテナ部と、開放前面に適合してドアフレームに掛け金をかけ得るドアと、１つがそれぞれの角領域でコンテナ部の底部からコンテナ部の上部まで十分に伸びて、コンテナ部に配置される一組の細長い管状制御要素とを含み、コンテナ部は、間隔の開いた複数の水平ウエハー棚と、開放前面を規定するドアフレームとを有し、水平ウエハー棚はコンテナ部に取り付けられて、開放内部において一般的な円筒状ウエハー受容領域を規定するため、水平に間隔を開けて大量のウエハーを棚に位置させて保持可能であり、背面のコンテナ部壁はコンテナ部の上部からコンテナ部の底部まで伸びる一組の角領域を有しており、それぞれの前記細長い管状制御要素は内部を有する閉じ込め部と、閉じ込め部の内部とコンテナ部の開放内部との間の連通を提供する複数の開口部を有し、前記管状制御要素はパージポート入口においてコンテナ部の底部に接続されており、コンテナ部は追加のパージポート入口を有し、コンテナ部はパージポート出口をさらに有する前面開放ウエハーコンテナ。