专利摘要:
バッテリーは、アノード電流コレクタと、カソード電流コレクタと、カソード電流コレクタ上に位置するカソード物質と、カソード物質をアノード電流コレクタから分離する、境界線を有するカソード物質と、電解物層と共にアノード電流コレクタを上記カソード物質および上記カソード電流コレクタから分離する、境界線を有する絶縁層とを備える。第1パッシベーション層(46)は、少なくとも上記カソード物質の境界線、上記電解物の境界線、および上記絶縁層の境界線に概ね重なる。第1パッシベーション層(46)は、第1電流コレクタに電気的に接続され、上記第1電流コレクタにおける規定された領域の周りで連続する金属−金属間シールを形成する。第1パッシベーション層(46)は、貫通孔(50)を有する。第2パッシベーション層(53)は、第1パッシベーション層(46)の貫通孔(50)を介して上記第2電流コレクタに電気的に接続される。
公开号:JP2011513914A
申请号:JP2010548672
申请日:2009-02-17
公开日:2011-04-28
发明作者:クロエルス,ダレン;ケー. シェイクスピア,スチュアート;ジェイ. スタニスロウスキ,スタンリー;フラットランド,マシュー;エル. フレマー,セオドア;エー. ホルムクヴィスト,デブラ;ジェイ. マッキンリー,スティーヴン
申请人:シンベット・コーポレイションCymbet Corporation;
IPC主号:H01M10-0585
专利说明:

[0001] 本発明は、薄膜固体エネルギー蓄積装置の分野に関し、より具体的には薄膜固体バッテリーの構築および設計に関する。]
背景技術

[0002] エレクトロニクス(電子部品)は、コンピュータ、携帯電話、トラッキングシステム、スキャナ等、多くの携帯型装置に含まれている。携帯型装置においての1つの不利な点は、電源を装置に組み込む必要が生じることである。携帯型装置は、一般に、電源としてバッテリーを用いる。バッテリーは、少なくとも装置が使用される期間だけは装置に電力を供給する十分な容量を有している必要がある。バッテリーは、十分な容量を有していると、装置の他のパーツに比べて、重く、かつ/または規模が大きな電源になり得る。したがって、十分なエネルギーを蓄積でき、より小さく、より軽量のバッテリー(すなわち電源)が望まれている。スーパーコンデンサのような、他のエネルギー蓄積装置と、光電池および燃料セルのようなエネルギー変換装置とは、携帯型エレクトロニクスおよび非携帯型電気アプリケーションにおける電源として用いるためのバッテリーの代わりとなるものである。]
[0003] 従来のバッテリーにおける他の不利な点は、ある種のバッテリーでは、潜在的な毒性物質を含んで製造され、該毒性物質が漏れ出す可能性があり、政府の規制対象になるという事実である。したがって、多くの充電/放電ライフサイクルを通じて、安全であり、固体状態を維持し、再充電可能である電源を提供することが望まれている。]
[0004] エネルギー蓄積装置の一種には、固体薄膜バッテリーがある。薄膜バッテリーの各例は、米国特許第5,314,765号明細書、米国特許第5,338,625号明細書、米国特許第5,445,906号明細書、米国特許第5,512,147号明細書、米国特許第5,561,004号明細書、米国特許第5,567,210号明細書、米国特許第5,569,520号明細書、米国特許第5,597,660号明細書、米国特許第5,612,152号明細書、米国特許第5,654,084号明細書、および米国特許第5,705,293号明細書に記載されている。これらのいずれもが参照として本明細書に含まれている。米国特許第5,338,625号明細書には、薄膜バッテリー、特に薄膜マイクロバッテリーと、バックアップとして、または電子装置用の第1集積電源として応用するための方法とが記載されている。米国特許第5,445,906号明細書には、ウェブ状基板が自動的に複数の蒸着ステーションを通過するときに、上記基板上に連続して薄型バッテリー部品フィルムが形成される上記ステーションを用いる方法で、薄膜バッテリー構造を作成するための方法およびシステムが記載されている。]
[0005] 米国特許出願公開第2005/0147877号公報では、電子回路に接続される、リチウムまたはリチウム化合物を含むような薄膜バッテリーが記載されている。周囲バリアが交互の層として蒸着されるが、上記層のうちの少なくとも1つは平滑化、平坦化、および/またはレベリングを行う物理的構造機能を有し、少なくとも1つの他の層は拡散バリア機能を有している。]
先行技術

[0006] 米国特許第5,314,765号明細書
米国特許第5,338,625号明細書
米国特許第5,445,906号明細書
米国特許第5,512,147号明細書
米国特許第5,561,004号明細書
米国特許第5,567,210号明細書
米国特許第5,569,520号明細書
米国特許第5,597,660号明細書
米国特許第5,612,152号明細書
米国特許第5,654,084号明細書
米国特許第5,705,293号明細書
米国特許出願公開第2005/0147877号公報]
発明が解決しようとする課題

[0007] 信頼性が高く、有効期間が長く、安価に作成し得、大量生産が可能なバッテリーの需要がある。少なくとも1つの機能を達成するためにエレクトロニクスを用いてパッケージ化され得る、十分なエネルギー蓄積が可能な、より小型かつより軽量なバッテリー(すなわち、電源)に対するさらなる需要もある。環境に対してセンシティブな(悪影響を与える)部品の望ましくない露出の保護をよりよく行う必要もある。]
課題を解決するための手段

[0008] 本発明は、第1表面を有する基板と、上記基板における上記第1表面上の第1電流コレクタと、第1表面および境界線(外周)を有する第2電流コレクタとを備える薄膜バッテリーを提供する。上記第1電流クレクタおよび第2電流クレクタのうちの1つはアノード電流コレクタであり、他方はカソード電流コレクタである。上記バッテリーは、また、境界線を有し、カソード電流コレクタに配置されるカソード物質と、境界線を有し、上記カソード物質を上記アノード電流コレクタから分離させる電解物(電解質)と、境界線を有し、上記電解物とともに上記アノード電流コレクタを、上記カソード物質および上記カソード電流コレクタから分離させる絶縁層とを備える。第1パッシベーション層は、少なくともカソード物質の境界線、電解物の境界線、および絶縁層の境界線に概ね重なり、上記第1パッシベーション層は、上記第1電流コレクタと電気的に接続され、上記第1電流コレクタにおける規定された領域の周りのメタルシールに連続する金属を形成する。上記第1パッシベーション層は、貫通孔を有している。第2パッシベーション層は、上記第1パッシベーション層の貫通孔を介して上記第2電流コレクタに電気的に接続される。この薄膜バッテリー構造についての好ましい実施形態では、上記第1電流コレクタは、カソード電流コレクタであり、上記第2電流コレクタは、アノード電流コレクタである。]
[0009] 本発明の他の実施形態では、薄膜バッテリーは、第1表面を有する基板と、上記基板の上記第1表面の上の第1電流コレクタとを備える。第1パッシベーション層は、上記第1電流コレクタに電気的に接続され、上記第1電流コレクタにおける規定された領域の周りのメタルシールに連続する金属を形成し、上記パッシベーション層は、貫通孔を有する。上記パッシベーション層および上記第1電流コレクタは、概ね囲われた領域を規定する。上記バッテリーはさらに、カソード物質と第2電流コレクタとを備え、上記第1電流コレクタおよび第2電流コレクタのうちの1つは、アノード電流コレクタであり、他方は、カソード電流コレクタである。上記カソード物質を上記アノード電流コレクタから分離する電解物層が設けられる。上記電解物層とともに、上記アノード電流コレクタを、上記カソード物質および上記カソード電流コレクタから分離する絶縁層も設けられる。上記カソード物質、第2電流コレクタ、電解物層、および絶縁層が、上記第1パッシベーション層および上記第1電流コレクタによって規定される、囲われた領域内に配置される。バッテリーは、さらに、上記第1パッシベーション層における貫通孔を介して上記第2電流コレクタに電気的に接続される第2パッシベーション層を備える。]
[0010] 薄膜バッテリーにおけるこの独特の構造は、バッテリーの境界線の全域に金属境界シールを全金属(金属のみ)にて設けることにより、特にバッテリーの各側部における、例外的な覆い(カバー)および保護を実現する。このレイアウトによって、金属/非金属の界面に沿うバッテリー構造における、センシティブ部品に直接通じる側方通路を形成する、隣接する金属および非金属層のエッジの望ましくない、環境への露出が防止される。]
[0011] 本明細書に含まれ、本願の一部を構成する添付の図面は、本発明の複数の態様を示し、実施形態の説明とともに、本発明の原理を説明する。この図面の簡単な説明は以下の通りである。]
図面の簡単な説明

[0012] 本発明の実施形態であるバッテリーの断面図である。]
実施例

[0013] 本願は、「フルメタルエッジシールを含むバッテリーレイアウト」と題された、2008年2月27日を出願日とする米国仮特許出願第61/067,288号の利益を請求する。上記仮出願は全て、参照として本明細書に含まれる。]
[0014] (実施形態)
以下に説明する本発明の実施形態は、全てを網羅するものではなく、以下の詳細な説明に開示される特定の形態に本発明を限定するものでもない。選択され説明される実施形態の目的はむしろ、本発明の原理および実施についての当業者の解釈および理解を促すことである。]
[0015] (用語)
この説明において、金属(メタル)という用語は、実質的に純粋な単一金属元素と、少なくとも1つは金属元素である2つ以上の元素の合金または組み合わせとの双方を意味する。]
[0016] 基板またはコアという用語は概ね、様々な処理操作によって所望のマイクロ電子構造に変形される基本的加工物である物理構造を意味する。いくつかの実施形態では、基板は、(サファイア、セラミック、またはプラスティック/ポリマー絶縁体等の)物質、(シリコン等の)半導体物質、非半導体、または半導体および非半導体物質の組み合わせを含んだ導電性物質(銅、ステンレススチール、アルミニウム等)を含む。他のいくつかの実施形態では、基板は、シリコンプロセッサチップ等の隣接構造の熱膨張係数(CTE)により適合するCTEについて選択される物質(例えば鉄-ニッケル合金等)のコアシートまたは断片等の重層構造を含む。このような実施形態では、このような基板コアは、電気的および/または熱伝導性に基づいて選択された物質(例えば銅、アルミニウム合金等)のシートに積層されるが、これは次に、電気的絶縁性、安定性、およびエンボス特性に基づいて選択されたプラスティック層によって覆われる。]
[0017] 電解物質は、電子に対して非伝導性である一方、イオン(プラスの電荷を有するリチウムイオン等)の動きを可能にすることによって電気的に伝導する物質である。電気セルまたはバッテリーは、電解物によって分離されるアノードおよびカソードを有する装置である。誘電体は、例えばプラスティック、セラミック、またはガラス等、電気に対して非導電性の物質である。いくつかの実施形態では、LiPON等の物質は、リチウムのソースおよびシンクがLiPONに隣接するときに電解物として作用し得、LiPONを通過し得るイオンを形成しない、銅またはアルミニウム等の2つの金属層の間に配置されるとき、誘電体として作用し得る。いくつかの実施形態では、プラスティック/ポリマー層(誘電体)を装置が含む。上記プラスティック/ポリマー層は、信号および電力を水平方向に流すワイヤリングの各トレースと、各トレースの各層の間で垂直方向に信号および電力を流すビアとを有する。]
[0018] 本明細書において用いられる貫通孔(ビアオープニング)という用語は、本バッテリー装置の層に形成される溝、ビア、および接触開口部を含む全ての開口部を含むように定義されている。したがって、本発明は従来のビア構造のみに限定されない。]
[0019] 垂直という用語は、基板の主要な表面に対して実質的に直交することを意味するように定義される。高さまたは深さは、基板の主要な表面に対して直交する方向の距離を意味する。]
[0020] 「リチウム化された化合物を含む層」という用語は、金属リチウム、リチウムおよびリチウム含有化合物の合金を含む、任意の形態のリチウムを含む層を意味するように定義される。リチウム化された化合物を含む層の例としては、特に金属リチウムの場合はアノード、特にLiPONの場合は電解物、リチウムイオンのソースとして作用し得るLiCoO2等の物質がカソード層である場合はカソードが挙げられる。好ましい実施形態では、アノード、電解物、およびカソードは全て、リチウム化された化合物である。]
[0021] 本明細書で用いられるように、LiPONは、概ね、リチウム酸窒化リン物質を意味する。一例としてLi3PO4Nが挙げられる。他の例としては、電解物を横切るリチウムイオン移動度を増加するために窒素を高い割合で含むことが挙げられる。]
[0022] 好ましい実施形態では、リチウム化された化合物を含む層は、カソード物質または電解物である。本発明の実施形態では、薄膜バッテリーはまずアノードなしで形成されるが、リチウムイオンのソースとして作用し得るカソード層は用いる。この実施形態における薄膜バッテリーの充電を行うと、電解物とアノード電流コレクタとの間に金属リチウムがめっきされ、アノードが形成される。]
[0023] 本発明の一態様において、上記バッテリーは「ボトムアップ」構造として層の中に形成されるが、カソード電流コレクタと、カソードと、固体電解物と、(上記のように構築段階において任意に用いられる)アノード、アノード電流コレクタ、および1つ以上のカプセル化材を順に用いて基板が形成される。必要に応じて、カソードおよびアノードが横並びに、または他の構成で設けられてもよい。または、バッテリーは、上記とは逆の順で形成されてもよく、アノード電流コレクタは、基板に隣接するバッテリーの底面に配置される。この構成は、充電後にアノードが形成される場合はあまり好ましくない。それは、ある実施形態におけるこのアノード形成では、その促進のためにバッテリーのほとんどの層が移動することが必要となるからである。または、当該分野で通常行われている処理としてここで容易に理解される積層処理によって、上記層は別々に形成され、結合され得る。]
[0024] 図面を参照するが、同様のパーツに同様の数が割り当てられている。図1は、本発明の実施形態であるバッテリー10の断面図を示す。なお、本明細書において用いられている図は尺度を示すものではない。ここで説明されている薄膜バッテリーの垂直厚さは、いくつかの実施形態における装置横幅(例えば、1000ミクロン(=1mm)から10,000ミクロン(=10mm))に比べて極めて低い(例えば、いくつかの実施形態では約10ミクロンよりも低く、他の実施形態では4ミクロンよりもはるかに低い)。また、本発明のいくつかの実施形態における溝は、約10ミクロン以下の幅を有している。ここで示すような実施形態は、基板上に配置されるカソード電流コレクタを示す。上述したように、本開示を参照して、当業者であれば、薄膜バッテリーの具体的な逆構成についても理解できるであろう。] 図1
[0025] バッテリー10は、第1表面22を有する基板20を備える。いくつかの実施形態では、基板20は約500ミクロン(またはより薄い)から約1000ミクロン(またはより厚い)の厚さを有する(例えば、いくつかの実施形態では、525ミクロンまたは625ミクロンのシリコンウェハ)。他の実施形態では、基板20は、25ミクロン以下のポリマー層(例えばKapton)を含む。]
[0026] カソード電流コレクタ24は、基板20の第1表面22上に配置され、導電性物質(例えば、銅、アルミニウム、ニッケル、鉄、金、銀、プラチナ、モリブデン、マンガン、金属合金、導電性セラミックス、重くドープされた多結晶シリコン等)からなり、これがカソード中に移動しないように選択される。本発明の実施形態では、カソード電流コレクタ24は、約5ミクロンから3ミクロンの厚さを有している。]
[0027] カソード物質26(例えば、リチウムコバルト酸化物、LiCoO2、リチウムマンガン酸化物、リチウム燐酸鉄、リチウムバナジウム酸化物、リチウムニッケル酸化物等)は、カソード電流コレクタ24の上に配置され、境界線(外周)28を有する。リチウムニッケルコバルト酸化物などの混合金属酸化物(例えば、上記金属の組み合わせを含むもの)も、カソードを形成するために用いることができる。本発明の実施形態では、カソード物質26は、約1ミクロンから3ミクロンの厚さを有する。]
[0028] 第1表面32、第2表面33、および境界線34を有するアノード電流コレクタ30も設けられる。アノード電流コレクタ30は、銅、アルミニウム、ニッケル、鉄、金、銀、プラチナ、モリブデン、チタン、マンガン、金属合金、導電性セラミックス等の導電性物質、重くドープされた多結晶シリコン等の導電性半導体等からなる。本発明の実施形態では、アノード電流コレクタ30は、約0.1ミクロンから1ミクロン、または好ましくは0.5ミクロンの厚さを有する。]
[0029] アノード36は、アノード電流コレクタ30の第2表面33の上に配置される。アノードは、例えば銅、ニッケル、またはアルミニウム等の金属、および/またはリチウムおよびその合金からなってもよい。本発明の実施形態では、アノード36は、約1ミクロンから3ミクロンの厚さを有する。本発明の実施形態では、アノード36は、最初に、製造時のバッテリー構成のパーツとしては設けられない。この実施形態では、カソード物質25は、例えば、リチウム含有化合物を含んでいてもよく、アノード36は、バッテリーの形成の後、例えばバッテリーの第1充電によって、リチウム金属層である活性アノードとして形成される。他の実施形態では、リチウムイオンは、グラファイト等の物質におけるアノード構造に挿入(インターカレート)される。]
[0030] 電解物層38は、カソード物質26をアノード電流コレクタ(あればアノード36も)から分離する。電解物層38は、境界線40を有する。本発明の実施形態では、電解物層38は、約0.1ミクロンから約10ミクロンの厚さを有する。本発明の実施形態では、電解物層38は、約1ミクロンから約5ミクロンの厚さを有する。電解物層38は、カソード成分およびアノード成分の両方との物理的接触を有し、それらの間でのイオンの移動を可能にしている。電解物は電子を通さない。電解物は液体であってもよい。電解物はまた固体、半固体、またはイオンが通過可能な多孔性固体および液体の組み合わせであってもよい。いくつかの実施形態では、電解物は、単数のイオンまたは複数のイオン、およびバッテリーまたはセル内で電流を生成するために用いられる電極材に対して、略化学的に不活性または無反応性である。リチウムイオンのソースおよびリチウムイオンの目的地点が設けられれば、電解物層38は、LiPON等の任意の電解物材からなってもよい。電解物層38が、1つ以上の電解物材を混合した状態で、または2つ以上の個別層として含んでもよいということは、具体的に考慮される。好ましい多層電解物構造の一例が、「軟質および硬質電解物層を備える薄膜バッテリー、および方法」と題された米国特許出願第11/458,091号に記載されている。これは本明細書における全ての目的について総合的に参照として含まれる。]
[0031] 絶縁層42が設けられ、それは境界線44を有している。本発明の実施形態では、絶縁層42は、約1ミクロンから約10ミクロンの厚さを有している。絶縁層42は、フォトレジスト(例えば、Shipley220フォトレジスト;HD Microsystemsの様々なポリイミドであり、2727、2723、2723を含む2720シリーズ、2770、2772を含む2770シリーズ;2731および2737を含む2730;PIX−1400、PIX−3476、PIX−S200、PIX−6400を含むPIXシリーズ;2525、2555、2575、および2556を含む2500シリーズ;およびDow Chemical CompanyのCyclotene製品番号3022−35、3022−46、3022−57、および3022−63等、様々な他の高分子材料;Dow Chemical CompanyのWL−5351およびWL−3010等の光規定可能なシリコン;Dymax CorporationのUV硬化エポキシ、等)のような電気的絶縁物質からなる。いくつかの実施形態では、絶縁層42は、シリコン酸化物、LiPON、アルミニウム酸化物、ポリマー、窒化珪素、酸窒化珪素、窒化ホウ素、セラミック、サーメット、または他の金属酸化物、窒化金属、金属カーバイド、金属オキボライド、および/または酸窒化金属等の1つ以上の物質を含み、上記金属はアルミニウム、インジウム、錫、インジウム錫、ジルコニウム、ニオビウム、タンタルまたは他の適切な金属、または他の適切な電気絶縁体である。電解物層28とともに、絶縁層42は、カソード成分(カソード物質26およびカソード電流コレクタ24)を、バッテリー10のアノード成分(アノード電流コレクタ30と、あればアノード36も)から分離する。]
[0032] 第1パッシベーション層46は、少なくともカソード物質の境界線28、電解物の境界線40、および絶縁層の境界線44に概ね重なる。本明細書で説明するパッシベーション層は、銅、アルミニウム、ニッケル、鉄、金、銀、プラチナ、モリブデン、マンガン、金属合金、導電性セラミックス等の導電性、重くドープされた多結晶シリコン等の導電性半導体からなる導電性物質を原料とするような導電性金属からなる。本発明の実施形態では、パッシベーション層は、約0.11ミクロンから約5ミクロンの厚さを有する。第1パッシベーション層46は、カソード電流コレクタ24に電気的に接続され、カソード電流コレクタ24における規定された領域の周りで連続する金属−金属間シールをさらに形成する。本発明の実施形態では、第1パッシベーション層46およびカソード電流コレクタ24(または、本発明の代替の実施形態におけるアノード電流コレクタ)は、約20ミクロンから約30ミクロンの幅を有する金属−金属間溶接を用いてシールされる。第1パッシベーション層46は、貫通孔50を有する。]
[0033] 第2パッシベーション層52は、第1パッシベーション層46の貫通孔50を介して、アノード電流コレクタ30に電気的に接続される。]
[0034] 好ましい実施形態では、アノード電流コレクタ30の第1表面32は、基板20における第1表面22に対して略平行である。第2パッシベーション層52は、直接に、または中間パッシベーション層53を介して、第1表面32上のアノード電流コレクタ30に電気的に接続される。単一の金属層を絶縁層42およびアノード電流コレクタ30の上に形成し、次いで上記形成した金属層をパッシベーション層46および中間パッシベーション層53へと分離することによって中間パッシベーション層53を簡便に設けてもよい。]
[0035] バッテリー10は、さらに、第2パッシベーション層52およびバッテリーの他の部材上に設けられるカプセル化材54を有することが好ましい。バッテリーの各物質を、水蒸気、酸素、および他の環境的汚染に曝されることを防ぐために、カプセル化を行うことは望ましい。特に、リチウムは、他の元素や化合物と容易に反応する。薄膜バッテリーの各部品は、露出された周囲の各要素に対して容易に反応するので、バッテリー構造は、製造後に外界から隔離される必要がある。本バッテリーの構造によって達成される付加的な保護、特にカプセル化との組み合わせで得られる保護は非常に有利である。最終的なカプセル化材は、シリコーン、ポリイミド、エポキシ、または上述したような他のポリマー等の有機物質であることが好ましい。本発明の実施形態では、カプセル化材54の厚さは、約8ミクロンから10ミクロンである。本発明の実施形態では、最終的な外部層は、約0.5ミクロンから1ミクロンの厚さを有する窒化珪素であり、これは追加の密閉保護を行い、集積回路梱包材と適合する。この最終的な外部層は、また、摩擦および取り扱いの際に生じるダメージに対する何らかの物理的バリアとして機能する。]
[0036] 露出したプラスのコンタクトパッド56は、1つ以上の電気リードを取り付けるためのものであり、上記1つ以上の電気リードが、第1パッシベーション層46を介して、カソード電流コレクタ24に電気的に接続される。露出したマイナスのコンタクトパッド58は、1つ以上の電気リードを取り付けるためのものであり、上記1つ以上の電気リードが、第2パッシベーション層52および中間パッシベーション層53を介して、アノード電流コレクタ30に電気的に接続される。]
[0037] 本発明の実施形態では、カソード電流コレクタ24の領域は、バッテリーの側方境界60を規定し、プラスのコンタクトパッド56およびマイナスのコンタクトパッド58は、上記規定された側方境界60の上、または側方境界60内に位置する。好ましくは、プラスのコンタクトパッド56およびマイナスのコンタクトパッド58は、カソード、アノード、および電解物材そのものの上の領域の外に配置される(すなわち、これらの物質の上には配置されない)。これは、電気リードを取り付ける処理が、取り付け点の下の物質を損傷し得る物理的力を発生させ得るからである。]
[0038] いくつかの実施形態では、本発明のバッテリーは、ゲッター層(図示せず)を有する。ゲッター層は概ね、米国特許第5,654,084号明細書に記載されており、有害物質によるバリア層への浸透を防ぐ手助けとして、環境における有害物質の少なくとも1つの成分に対して反応する、または該成分を吸収することを目的とした層である。例えば、チタン、タンタル、リン、バリウム、エルビウム、ルビジウム、チタニウム−ジルコニウム合金、酸化コバルト、炭素、ヒドラジン、硫化ナトリウム等を含む層は、バッテリーの保護層を介する水または酸素の移動を低減するために用いられ得る。]
[0039] ここで分かるように、薄膜バッテリーの独特な構造により、特にバッテリーの側部の保護を実現する。これは、第1パッシベーション層46は、カソード電流コレクタ24における規定された領域の周りでシールされ、カソード物質の境界線28、電解物の境界線40、および絶縁層の境界線44にわたって保護ショルダーを形成するからである。この構造は、金属/非金属界面に沿うバッテリー構造における、環境への悪影響を与え易い部分に直接通じる側方通路を形成する、互いに隣接する金属および非金属の各層における不都合な環境露出を防止する。]
[0040] 図1に示すようなバッテリーについては別の説明も可能であるが、薄膜バッテリー10は、
a)第1表面22を有する基板20と、
b)上記基板における上記第1表面22の上のカソード電流コレクタ24と、
c)上記カソード電流コレクタ24に電気的に接続され、上記カソード電流コレクタにおける規定された領域の周りで連続する金属−金属間シール48を形成し、貫通孔50を有する第1パッシベーション層46とを備え、
上記第1パッシベーション層46および上記カソード電流コレクタ24は、概ね囲われた領域を規定する。バッテリー10はさらに、
d)カソード物質26と、
e)アノード電流コレクタ30と、
f)アノード36と、
g)上記カソード物質26を上記アノード電流コレクタ30から分離する電解物層38と、
h)上記電解物層38とともに、上記アノード電流コレクタ30を上記カソード物質26および上記カソード電流コレクタ24から分離する絶縁層42とを備える。上記カソード物質26、アノード電流コレクタ30、電解物層38、および絶縁層42は、上記第1パッシベーション層46および上記カソード電流コレクタ24によって規定される、上記囲われた領域内に配置される。] 図1
[0041] 上記のように、アノード36は第2表面33の上に配置される。本発明の実施形態では、アノード36は、まず、製造時のバッテリー構造のパーツとしては設けられない。この実施形態では、カソード物質25は、例えば、リチウム含有化合物を含んでもよく、アノード36は、バッテリーを充電することによりバッテリーを完成させた後のリチウム金属層である活性アノードとして形成される。]
[0042] バッテリー10は、さらに、第1パッシベーション層46の貫通孔50を介してアノード電流コレクタ30に電気的に接続される第2パッシベーション層52を備える。]
[0043] 上記のように、露出したプラスのコンタクトパッド56およびマイナスのコンタクトパッド58は、それぞれ、カソード成分およびアノード成分に電気的に接続され、バッテリーは、バッテリーの出力を必要とする装置に電気的に接続され得る。いくつかの実施形態では、バッテリーの出力を必要とする装置は回路である。回路は必要に応じて、プロセッサ、メモリ、入力装置、出力装置、およびアンテナのうちの1つ以上を有する。]
[0044] 上記コンタクトパッドは、ワイヤボンド、半田、導電性エポキシを用いた接続など、任意の適切な接続システムによって電気リードが取り付けられる。本発明の実施形態では、電子機器、本明細書において記載されるような薄膜バッテリー、および上記電子機器を保持するハウジングを備える装置を設け、バッテリーセルは上記ハウジング内に位置し、上記電子機器に電力を供給する。]
[0045] 本説明に基づくバッテリーが作成され、温度85℃、湿度85%のチェンバーにおいて未充電状態で1週間保存された。このバッテリーは、従来この種のバッテリーに対して求められていたように、密封したパッケージの中で保存されなかった。保存後、バッテリーは充電され、完全に機能を果たすことが分かった。]
[0046] 本明細書において用いられる全てのパーセントおよび割合は、特に他の記載がなければ重量パーセントおよび重量比を指す。本明細書で引用される全ての特許、特許出願(仮出願も含む)、および刊行物は、それぞれが本明細書の全ての目的について引用されるように、参照として含まれる。本書類によって説明される発明についての多くの特徴および有利な点を、上記の説明で記載してきた。しかしながら、本発明の特定の形態または実施形態が説明されてきた一方、形状の変更、パーツの構成などを含めた様々な変更が、本発明の精神および範囲から逸脱しない程度に行われてもよいということを理解しなくてはならない。]
权利要求:

請求項1
薄膜バッテリーであって、a)第1表面を有する基板と、b)上記基板における上記第1表面の上の第1電流コレクタと、c)第1表面および境界線を有する第2電流コレクタであって、上記第1電流コレクタおよび第2電流コレクタのうちの1つはアノード電流コレクタであり、他方はカソード電流コレクタである、第2電流コレクタと、d)境界線を有し、上記カソード電流コレクタの上に配置されるカソード物質と、e)境界線を有し、上記カソード物質を上記アノード電流コレクタから分離する電解物層と、f)境界線を有し、上記電解物層とともに、上記アノード電流コレクタを、上記カソード物質および上記カソード電流コレクタから分離する絶縁層と、f)少なくとも上記カソード物質の境界線、上記電解物の境界線、および上記絶縁層の境界線に概ね重なる第1パッシベーション層であって、上記第1電流コレクタに電気的に接続され、上記第1電流コレクタにおける規定された領域の周りで連続する金属−金属間シールを形成し、貫通孔を有する第1パッシベーション層と、g)上記第1パッシベーション層の上記貫通孔を介して上記第2電流コレクタに電気的に接続される第2パッシベーション層とを備える、薄膜バッテリー。
請求項2
上記第1電流コレクタは、上記カソード電流コレクタであり、上記第2電流コレクタは、上記アノード電流コレクタである、請求項1に記載の薄膜バッテリー。
請求項3
上記第2電流コレクタの上記第1表面は、上記基板の上記第1表面に対して略平行であり、上記第2パッシベーション層は、上記第2電流コレクタの上記第1表面の上の上記第2電流コレクタに電気的に接続される、請求項1に記載の薄膜バッテリー。
請求項4
上記第1パッシベーション層は、銅、アルミニウム、ニッケル、鉄、金、銀、プラチナ、モリブデン、マンガン、金属合金、導電性セラミックス、および導電性にドープされた多結晶シリコンから選択される、請求項1に記載の薄膜バッテリー。
請求項5
上記薄膜バッテリーを囲むカプセル化材をさらに備え、1つ以上の電気リードを取り付けるための上記第1電流コレクタに電気的に接続される露出された第1コンタクトパッドを有し、かつ、1つ以上の電気リードを取り付けるための上記第2電流コレクタに電気的に接続される露出された第2コンタクトパッドを有する、請求項1に記載の薄膜バッテリー。
請求項6
上記第1電流コレクタにおける上記領域は、上記バッテリーの側方境界を規定し、上記第1コンタクトパッドおよび第2コンタクトパッドは、上記規定された側方境界の上、または上記規定された側方境界内に位置する、請求項5に記載の薄膜バッテリー。
請求項7
電子機器と、請求項1に記載の薄膜バッテリーと、上記電子機器を保持するハウジングとを備え、バッテリーセルは上記ハウジング内に位置し、電力を上記電子機器に供給する、装置。
請求項8
上記カソード物質は、リチウム含有化合物と、上記バッテリーを組み立てた後、上記バッテリーを充電することによって活性アノードとして形成されたリチウム層とを含む、請求項1に記載の薄膜バッテリー。
請求項9
上記電解物は、LiPONを含む、請求項1に記載の薄膜バッテリー。
請求項10
a)第1表面を有する基板と、b)上記基板の上記第1表面の上の第1電流コレクタと、c)上記第1電流コレクタに電気的に接続され、上記第1電流コレクタにおける規定された領域の周りで連続する金属−金属間シールを形成する第1パッシベーション層であって、貫通孔を有し、上記第1電流コレクタとともに概ね囲われた領域を規定する第1パッシベーション層とを備え、さらに、d)カソード物質と、e)第2電流コレクタであって、上記第1電流コレクタおよび第2電流コレクタのうちの1つはアノード電流コレクタであり、他方はカソード電流コレクタである、第2電流コレクタと、f)上記カソード物質を上記アノード電流コレクタから分離する電解物層と、g)上記電解物層とともに、上記アノード電流コレクタを、上記カソード物質および上記カソード電流コレクタから分離する絶縁層であって、上記カソード物質、第2電流コレクタ、電解物層、および絶縁層は、上記第1パッシベーション層および上記第1電流コレクタによって規定される上記囲われた領域内に配置される、絶縁層とを備え、さらに、h)上記第1パッシベーション層における上記貫通孔を介して上記第2電流コレクタに電気的に接続される第2パッシベーション層を備える、薄膜バッテリー。
請求項11
上記第1電流コレクタは、上記カソード電流コレクタであり、上記第2電流コレクタは、上記アノード電流コレクタである、請求項10に記載の薄膜バッテリー。
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