被覆物品
专利摘要:
本発明は、被覆物品、特に熱CVD法によって堆積させた少なくとも0.1μmの厚さの少なくとも1つの二ホウ化チタン層を有する切削加工工具、に関する。本発明によれば、前記二ホウ化チタン層が平均粒径最高50nmの超微粒組織を有する。 公开号:JP2011505261A 申请号:JP2010536281 申请日:2008-12-04 公开日:2011-02-24 发明作者:ヴァルグラム、ヴォルフガング;ギーグル、カール;シュラインコッファー、ウヴェ;トゥルナー、ヨーゼフ 申请人:セラティチット オーストリア ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング; IPC主号:B23C5-16
专利说明:
[0001] 本発明は、基板材料と単層又は多層の硬質材料層とから成り、硬質材料層が熱CVD法によって堆積された少なくとも0.1μmの厚さを有する少なくとも1層の二ホウ化チタン層を含む被覆物品に関する。] 背景技術 [0002] 少なくとも1層の二ホウ化チタン層を含む単層又は多層の硬質材料層を、PVD(物理気相成長)、CVD(化学気相成長)又はプラズマCVD(P−CVD、ICP−PVD)法等の様々な被覆法によって、堆積させることは知られている。] [0003] 一般にCVD法に言及するとき、普通、これは熱CVD法を意味しており、この方法では、容器内で700℃より高く750℃までの温度範囲で標準圧力又は負圧のもとで、被覆温度で分解する反応成分の混合ガスを使用して、対応する硬質材料層が基板上に堆積される。] [0004] プラズマCVD法では、反応室内に印加されるプラズマ及び温度作用によって、混合ガスの反応成分が分解する。プラズマは、例えば高周波(P−CVD)又は誘導(ICP−CVD=誘導結合プラズマCVD)によって生成することができる。その際、熱CVD法におけるよりもかなり低い約400〜600℃の範囲内の温度が発生し、過度に高い温度作用によってその組織が変化し得るような基板も被覆することができる。プラズマCVD法は、高いプロセス技術上及び装置上の支出と結び付いており、例えば切削のためのスローアウェイチップといった耐摩耗性大量生産品の経済的被覆には、今日に至るまで実際には用いられてこなかった。] [0005] PVD法では、被覆すべき基板が、300〜500℃の温度範囲内で好適な被覆源の物理的除去及び反応性ガス成分の導入によって、所望する硬質材料層で被覆される。] [0006] これまで二ホウ化チタン層を有する硬質材料層が熱CVD法によって製造されてきた耐摩耗性物品では、基板材料と二ホウ化チタン層との間に、また、しばしば二ホウ化チタン層とその下にある別の硬質材料層との間に、ホウ素含有拡散域がある。この拡散域は、場合によっては、二ホウ化チタン層の付着強度劣化と合せて、この領域の脆化をもたらし、従って、被覆物品の耐摩耗強度低下をもたらす。この理由から、耐摩耗性部品、特に二ホウ化チタン層を有する切削加工用切削インサート、は、PVD法が熱CVD法と比べて一般に高い製造費と結び付いているにも拘らず、圧倒的にPVD法によって被覆されてきた。] [0007] PVD法で堆積される二ホウ化チタン層は、柱状組織を備えたテクスチャ積層構造を有する。これらの層の硬さは約3.000(HV0.03)であるが、この硬さは、チタン等の、特別に切削困難な素材の切削において、耐摩耗性に関してしばしば限定的にしか十分でない。] [0008] 特許文献1に述べられた耐摩耗性成形品は、超硬金属本体及び硬質材料層から成り、硬質材料層は、重ねられた2つの部分層で構成されており、そのうち外側部分層は、酸化アルミニウム及び/又は酸化ジルコニウムから成り、内側部分層は、1種類以上のホウ化物、特にチタン、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、タンタル、クロム、モリブデン、タングステン等の元素の二ホウ化物、から成る。一実施例において、超硬金属体には、第1工程において3μm厚の二ホウ化チタン層が与えられる。この層の堆積は、1,000℃及び50トルの圧力において、1時間、1,900lの水素、20mlのTiCl4及び4gのBCl3とから成る混合ガスを用いて行われる。次に、第2反応工程において、TiB2で被覆した超硬金属体が5μm厚の酸化アルミニウム層で被覆される。この超硬金属体の欠点として、二ホウ化チタン層を堆積させるための選択された被覆条件によってホウ素が超硬金属内に拡散することがある。同時に、強イータ相及び/又はホウ素含有脆性相が生じ、これらが被覆超硬金属体の寿命を著しく低下させる。更に、二ホウ化チタン層は、μm範囲内の平均粒径を有する粒状乃至柱状の組織構造を有する。] [0009] 特許文献2に述べられた被覆超硬金属物品は、ホウ化チタン、ホウ化ハフニウム、ホウ化ジルコニウム及びホウ化タンタルから選択されたホウ化物から成る5〜20μm厚の外側層を有する多層硬質材料層を備えている。一製造例において、3.3容量%のBCl3、2容量%のTiCl4及び残り水素の混合ガスから約800℃と105Paの圧力とにおいて90分の時間内に堆積させることによる約10μm厚の二ホウ化チタン層の製造が記載されている。この方法で被覆した被覆超硬金属物品でも、二ホウ化チタン層は、μm範囲内の平均粒径を有する粒状乃至柱状の組織構造を有する。] [0010] 特許文献3は、基板と少なくとも1つの二ホウ化チタン層を有する硬質材料層とから成る切削インサートを開示している。この文献の製造例によれば、二ホウ化チタン層がPVD法によって製造される。この二ホウ化チタン層は、5〜50nmの範囲内の直径と260nm超の長さとを有する円筒状粒子を備えた繊維状微細組織を有する。円筒状粒子は、基板表面に対して実質垂直に、配置されている。] 先行技術 [0011] 独国特許発明第2525185号明細書 欧州特許発明第0015451号明細書 欧州特許発明第1245693号明細書] 発明が解決しようとする課題 [0012] 本発明の課題は、硬質材料層で被覆され、その硬質材料層が二ホウ化チタン層を含み、経済的に製造可能であり、二ホウ化チタン層を有する公知硬質材料層と比較して著しく改善された耐摩耗強度を有する物品を提供することである。] 課題を解決するための手段 [0013] 本発明によれば、この課題は、二ホウ化チタン層が平均粒径最高50nmの超微粒組織を有することによって達成される。] [0014] 本発明によれば、意外なことに、二ホウ化チタン層を備えた硬質材料層を有する耐摩耗性物品において、これらの物品が本発明に係る組織構造を有することによって耐摩耗強度を高めることができることが認識された。] [0015] 本発明に係る二ホウ化チタン層は、4300(HV0.03)超の硬さを有し、これにより、耐摩耗強度が飛躍的に上昇する。更に、極端な微粒性によって表面が極めて平滑であり、特に、チタン合金等の切削困難な素材の切削時に、落下する切屑が表面に付着することが殆どなく、これにより加工安全性が著しく高まる。その際に重要なことは、二ホウ化チタン層の平均粒径が最高50nmを超えないことである。というのも、それを超えると有利な効果が再び失われるからである。] [0016] 更に、二ホウ化チタン層が実質的に単相で存在すると有利である。実質的にとは、通常の相検出法では他の相成分を全く検出できないことである。] [0017] 本発明に係る硬質材料層は、単層二ホウ化チタン層として製作しておくことができ、又は単数又は複数の二ホウ化チタン層と、窒化チタン、炭化チタン、炭窒化チタン、炭ホウ素窒化チタン、酸化アルミニウム等の別の一般的硬質材料層とを、交互に有する多層硬質材料層として製作しておくこともできる。基板材料として、特に超硬金属及びサーメットが適しているが、鋼及びセラミックも適している。] [0018] 二ホウ化チタン層の層厚が0.1μm〜15μmの範囲内、特に1μm〜10μmの範囲内、であると、特別有利である。0.1μm未満の層厚では、基板材料の耐摩耗強度をさして高めることができず、一方、15μm超の層厚では、なかんずく、金属切削における利用時に、その靭性が過度に脆くなるであろう。] [0019] 基板材料として超硬金属が使用され、被覆物品が工具、特に切削加工用スローアウェイチップ、である場合が特に実証された。] [0020] 被覆物品が切削加工工具として製作されている場合、硬質材料層が多層に製作されており、二ホウ化チタン層が単数又は複数の一般的硬質材料層と交互に設けられていると、特に有利なことがある。] [0021] 特別有利な切削加工工具は、硬質材料層の積層構造を有し、この積層構造は基板表面から出発して、窒化チタン、炭窒化チタン及び炭ホウ素窒化チタンの群から成る0.1μm〜3μmの範囲内の総層厚を有する単数又は複数の層と、それに続く1μm〜5μm厚の二ホウ化チタン層と、から成る。] [0022] 別の特別有利な切削加工工具は、上に述べたような硬質材料層の積層構造を有し、付加的に二ホウ化チタン層上に、なお、窒化チタン、炭窒化チタン及び炭ホウ素窒化チタンの群から成る0.1μm〜3μmの範囲内の総層厚を有する単数又は複数の層から成る表層が被着されている。] [0023] 硬質材料被覆がアルミニウム、銅、亜鉛、チタン、ニッケル及びスズの群から成る1種類以上の金属又はこれら金属の基合金でブラスト処理を施されることも有利である。これにより、表面の減摩特性が更に改善され、これにより落下する切屑の粘着傾向は、更に減らされる。] [0024] 本発明に係る硬質材料層を備えた切削加工工具は、特別有利には、チタン、アルミニウム又はそれらの合金等の、鉄を含まない素材の切削に利用することができる。これらの素材の加工時において、特に、本発明に係る硬質材料層の二ホウ化チタン層の微粒構造から生じる平滑度は、これら材料の切削にとって、特別好ましい。] [0025] 本発明に係る硬質材料層を700〜900℃の範囲内の温度で製造するための熱CVD法では、2.5〜50容量%の水素、0.1〜10容量%のTiCl4、0.2〜20容量%のBCl3及び残り希ガス、好ましくはアルゴン、から成る混合ガスが、二ホウ化チタン層の製造に使用される。この方法により、先行技術に比べて著しく微粒な硬質材料層構造が達成される。] [0026] ガス組成において、反応成分の上限を上回ると、不均一な粗粒積層構造が生じる。限界を下回ると、被覆すべき基板の縁域に望ましくない相が発生する。] [0027] 本発明に係る方法の特別有利な応用において、5〜20容量%の水素、0.2〜1容量%のTiCl4、0.4〜2容量%のBCl3及び残り希ガス、好ましくはアルゴン、の組成を有する混合ガスが、二ホウ化チタン層の製造に使用され、被覆は標準圧力のもとで行われる。本発明に係る硬質材料層を製造するための被覆方法の他の有利な一態様において、二ホウ化チタン層の堆積前に混合ガスが、先ず、BCl3成分なしに反応室に導入され、0.5〜5分の時間後にBCl3成分が添加される。これらの手法により、その下にある素材内にホウ素がごく僅かでも拡散することが、こうして回避される。] [0028] 以下、図と製造例とに基づいて本発明が詳しく説明される。] 図面の簡単な説明 [0029] 実施例1で本発明により被覆したスローアウェイチップを光学顕微鏡検査で約1,500倍に拡大した切削面写真である。 図1によるスローアウェイチップの組織を走査電子顕微鏡検査で約6,000倍に拡大した破面写真である。 図1によるスローアウェイチップを走査電子顕微鏡検査で約6,000倍に拡大した表面写真である。 図1によるスローアウェイチップの被覆を透過電子顕微鏡(TEM)検査で約200,000倍に拡大した組織写真である。 図1によるスローアウェイチップの被覆の電子回折写真である。 実施例2で先行技術により被覆したスローアウェイチップを光学顕微鏡検査で約1,500倍に拡大した切削面写真である。 実施例1により被覆したスローアウェイチップと実施例2により被覆したスローアウェイチップとの間のフライス切削比較試験の摩耗線図である。 実施例3で先行技術によりPVD法で被覆したスローアウェイチップの組織を走査電子顕微鏡検査で約6,000倍に拡大した破面写真である。 実施例1により被覆したスローアウェイチップと実施例3により被覆したスローアウェイチップとの間のフライス切削比較試験の摩耗線図である。 実施例4で本発明により被覆したスローアウェイチップの組織を走査電子顕微鏡検査で約6,000倍に拡大した破面写真である。 実施例6で先行技術により被覆したスローアウェイチップの組織を走査電子顕微鏡検査で約6,000倍に拡大した破面写真である。 図11のスローアウェイチップを走査電子顕微鏡検査で約6,000倍に拡大した表面写真である。 実施例7で本発明により被覆したスローアウェイチップを光学顕微鏡検査で約1,500倍に拡大した切削面写真である。 実施例8で先行技術により被覆したスローアウェイチップを光学顕微鏡検査で約1,500倍に拡大した切削面写真である。 図14のスローアウェイチップの組織を走査電子顕微鏡検査で約6,000倍に拡大した破面写真である。 図14のスローアウェイチップを走査電子顕微鏡検査で約6,000倍に拡大した表面写真である。 実施例7により被覆したスローアウェイチップと実施例8により被覆したスローアウェイチップとの間のフライス切削比較試験の摩耗線図である。] 図1 図11 図14 [0030] 直径200mm、高さ280mmの黒鉛サセプタ内で超硬金属から成るスローアウェイチップを、本発明により10容量%の水素、0.4容量%のTiCl4、0.7容量%のBCl3及び88.9容量%のアルゴンから成るガス組成で、1時間、標準圧力、温度800℃において、熱CVD法によって被覆した。その際、スローアウェイチップ上に約2.5μm厚のごく均一な二ホウ化チタン層が形成された。図1からはっきり認めることができるように、二ホウ化チタン層に向かう超硬金属基板の縁域は、η相又はホウ素含有拡散域を全く含まない。図2から被覆の微粒性を既にはっきり認めることができ、粒径は、もはや、認めることができない。図3から表面の微粒性をやはり認めることができ、この微粒性は、厳密な粒径をこの図から読み取ることができない程度に、進んでいる。粒径を厳密に確定できるようにするために、本発明により被覆したスローアウェイチップを付加的にTEM(透過電子顕微鏡)で検査した。図4から10〜30nm範囲内の平均粒径を有する結晶構造の極端な微粒性を認めることができる。試料の電子回折は図5に認めることができ、結晶構造の均一性も示している。] 図1 図2 図3 図4 図5 [0031] 比較の目的で、実施例1により被覆したのと同一のスローアウェイチップを、特許文献1の先行技術により、熱CVD被覆法で被覆した。この被覆は、実施例1と同じ黒鉛サセプタ内で、99.74容量%の水素、0.22容量%のTiCl4及び0.04容量%のBCl3から成るガス組成で、2時間、標準圧力、温度1,000℃において、行った。その際、実施例1により製造した本発明に係る層の層厚に概ね一致した平均層厚のごく不規則な二ホウ化チタン層が形成された。図6に、この層の不規則性と不均一性とをはっきり認めることができる。更に超硬金属基板の縁域が顕著なη相を有する。] 図6 [0032] 実施例1及び実施例2で被覆したスローアウェイチップを、フライス切削試験で、互いに比較した。図7は、切削条件vc=50m/分、fz=0.12mm、ap=5mm、ae=49.9mmのもとで、TiAl6V4チタン合金を冷却してフライス加工したときの当該スローアウェイチップの寿命を示す。先行技術により実施例2で被覆したスローアウェイチップでは、27分のフライス加工時間後に既に0.3mmの限界摩耗量VB[max]に達したのに対して、本発明により実施例1で被覆したスローアウェイチップは、30分のフライス加工時間後に、初めて、0.2mmの摩耗を有する。即ち、先行技術によるスローアウェイチップの摩耗は、本発明により被覆したものよりも30%超だけ多い。] 図7 [0033] 比較の目的で、実施例1により被覆したのと同一のスローアウェイチップを、先行技術によりPVD法で、実施例1による層厚に匹敵する約2.5μm厚の二ホウ化チタン層で被覆した。図8がこの二ホウ化チタン層の柱状構造を示す。] 図8 [0034] 実施例1及び2と比較して先に述べたのと同じ条件のもとでのフライス切削試験において、実施例1と実施例3とにより被覆したスローアウェイチップの寿命を図9に相応して互いに比較した。その際、0.3mmの限界逃げ面摩耗幅VB[max]に関して、先行技術により実施例3で被覆したスローアウェイチップでは6.4分の寿命を達成したのに対して、本発明により実施例1で被覆したスローアウェイチップでは32.3分の寿命が達成された。これは5倍の耐摩耗強度上昇に相当する。] 図9 [0035] 実施例1と同一のスローアウェイチップを、実施例1と同じ被覆設備内で、本発明により熱CVD法によって、第1工程において約1μm厚の窒化チタン層で被覆した。引き続き、この実施例では被覆時間を75分としたほかは、実施例1と同じ条件のもとで約3μm厚の本発明に係る二ホウ化チタン層を堆積させた。図10は窒化チタン層の公知の柱状構造とその上にある二ホウ化チタン層の超微粒構造とを示す。] 図10 [0036] 実施例1と同一のスローアウェイチップを、実施例1と同じ被覆設備内で本発明により、実施例4と同じ熱CVD法によって、第1工程において約1μm厚の窒化チタン層で被覆した。引き続き、この実施例では被覆時間を65分としたほかは、実施例1と同じ条件のもとで、約2.6μm厚の本発明に係る二ホウ化チタン層を堆積させた。引き続き、二ホウ化チタン層上に、なお、約1μm厚の窒化チタン層を堆積させた。このように被覆したスローアウェイチップを最後に、銅合金でブラスト処理することによって、約0.2μm厚の対応する表層で被覆した。] [0037] 実施例1及び2と比較して先に述べたのと同じ条件のもとでのフライス切削試験において、実施例4及び実施例5により被覆したスローアウェイチップの寿命を確定した。0.3mmの限界逃げ面摩耗幅VB[max]に関して、本発明により実施例4で被覆したスローアウェイチップでは30.3分の寿命を達成したのに対して、本発明により実施例5で被覆したスローアウェイチップでは37.8分の寿命が達成された。] [0038] 比較の目的で、実施例1で被覆したのと同一のスローアウェイチップを、特許文献2の先行技術により熱CVD被覆法で、実施例1と同じ被覆設備において約3μm厚の二ホウ化チタン層で被覆した。このため、94.7容量%の水素、3.3容量%のBCl3及び2容量%のTiCl4から成る組成の混合ガスが使用された。被覆時間は、温度800℃において45分であった。図11、特に図12、は、粒径約0.5〜1μmを有する層の粗粒構造をはっきり示す。] 図11 図12 [0039] 実施例1と同一のスローアウェイチップを、本発明により熱CVD法によって、実施例1と同じガス組成で、30分間、標準圧力、温度800℃において被覆した。スローアウェイチップ上に約1.2μm厚の極めて均一な二ホウ化チタン層が形成された。図13が被覆の均一性を示す。更に認めることができるように、超硬金属基板の縁域はη相を全く含んでおらず、ホウ素含有拡散域も有していない。] 図13 [0040] 比較の目的で、実施例1で被覆したのと同一のスローアウェイチップを、熱CVD被覆法によって、実施例1と同じ被覆設備内で特許文献1の先行技術によって被覆した。この被覆は、実施例1と同じ黒鉛サセプタ内で、被覆時間を僅か1時間としたほかは、実施例2と同じガス組成及び同じ被覆条件で行われた。その際、最大層厚1.4μmを有するごく不規則な二ホウ化チタン層が形成された。図14及び図15が、層の強い不規則性を示す。図14から、更に、超硬金属基板の縁域に顕著なη域を認めることができる。図16が表面の粗粒構造を示しており、粒径は0.5〜1μmの範囲内である。] 図14 図15 図16 実施例 [0041] フライス切削試験において、先行フライス切削試験と同じ条件のもとで、実施例7及び実施例8で被覆したスローアウェイチップの寿命を確定した。図17から明らかとなるように、400mmのフライス加工長さ後の逃げ面摩耗幅VBが、本発明により実施例7で被覆したスローアウェイチップでは0.1mmであるのに対して、先行技術により実施例8で被覆したスローアウェイチップでは0.2mmである。これは、先行技術によるスローアウェイチップが2倍早く摩耗することを意味する。] 図17
权利要求:
請求項1 基板材料と単層又は多層の硬質材料層とから成り、前記硬質材料層が熱CVD法によって堆積された少なくとも0.1μmの厚さを有する少なくとも1層の二ホウ化チタン層を含む被覆物品であって、前記二ホウ化チタン層が平均粒径最高50nmの微粒組織を有する被覆物品。 請求項2 前記二ホウ化チタン層の層厚が0.1μm〜15μmの範囲内、特に1μm〜10μmの範囲内、である請求項1に記載の被覆物品。 請求項3 前記基板材料が超硬金属である請求項1又は2に記載の被覆物品。 請求項4 前記物品が切削加工工具である請求項1ないし3のいずれか1つに記載の被覆物品。 請求項5 前記工具がスローアウェイチップである請求項4に記載の切削加工工具。 請求項6 前記硬質材料層が多層であり、前記二ホウ化チタン層が単数又は複数の別の硬質材料層と交互に設けられている請求項4又は5に記載の切削加工工具。 請求項7 前記硬質材料層の積層構造が、基板表面から出発して、窒化チタン、炭窒化チタン及び炭ホウ素窒化チタンの群から成る0.1μm〜3μmの範囲内の総層厚を有する単数又は複数の層とそれに続く1μm〜5μm厚の二ホウ化チタン層とから成る請求項6に記載の切削加工工具。 請求項8 前記二ホウ化チタン層上になお窒化チタン、炭窒化チタン及び炭ホウ素窒化チタンの群から成る0.1μm〜3μmの範囲内の総層厚を有する単数又は複数の層から成る表層が被着されている請求項6に記載の切削加工工具。 請求項9 前記硬質材料被覆の表面がアルミニウム、銅、亜鉛、チタン、ニッケル及びスズの群又はこれら金属の基合金から成る1種類以上の金属でブラスト処理することによって処理されている請求項4ないし8のいずれか1つに記載の切削加工工具。 請求項10 請求項4ないし9のいずれか1つに記載の切削加工工具の、チタン、アルミニウム及びそれらの合金等の鉄を含まない素材を切削加工することへの使用。 請求項11 請求項1ないし9のいずれか1つに記載の被覆物品を製造するための方法において、被覆が700℃〜950℃の範囲内の温度で熱CVD法によって製造されるものであり、前記二ホウ化チタン層の製造に2.5〜50容量%の水素、0.1〜10容量%のTiCl4、0.2〜20容量%のBCl3、残り希ガス、好ましくはアルゴン、から成る混合ガスが使用される方法。 請求項12 5〜20容量%の水素、0.2〜1容量%のTiCl4、0.4〜2容量%のBCl3及び残り希ガス、好ましくはアルゴン、の組成を有する混合ガスが前記二ホウ化チタン層の製造に使用され、被覆が標準圧力のもとで行われる請求項11に記載の被覆物品製造方法。 請求項13 前記混合ガスが、先ず、BCl3成分なしに反応室に導入され、0.5〜5分の時間後にBCl3成分が添加される請求項11又は12に記載の被覆物品製造方法。
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